P-620.1 – P-629.1 PIHera Linearer Präzisionspositionierer

Variabel in Stellweg und Achskonfiguration

Stellwege 50 bis 1800 µm
Auflösung bis 0,1 nm
Linearitätsabweichung 0,02 %
X-, XY-, Z-Versionen; XYZ-Kombination möglich

Schnelle Scanbewegung eines P-621.1CD (Anstiegszeitvorgabe: 5 ms) mit einem Digitalcontroller mit 16-Bit-Sensorauflösung und DDL-Option. Die digitale dynamische Linearisierung reduziert den Trackingfehler während des Scans auf <20 nm. Die Verbesserung gegenüber einem Standard-PID-Regler beträgt bis zu 3 Größenordnungen und nimmt mit der Frequenz zu.

P-62x.1CD/.1CL/.10L, Abmessungen in mm.

Einsatzgebiete

Interferometrie
Mikroskopie
Nanopositionierung
Biotechnologie
Testanwendungen
Halbleitertechnik
Photonik
Faserpositionierung

Überragende Lebensdauer dank PICMA^® Piezoaktoren

Die PICMA^® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA^® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-12

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Version / Datum

2023-12-12

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Version / Datum

2018-06-06

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Version / Datum

2018-06-08

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Wählen Sie einen Stellweg:

Bewegen	P-620.10L	P-620.1CD	P-620.1CL	P-621.10L	P-621.1CD	P-621.1CL	P-622.10L	P-622.1CD	P-622.1CL	P-625.10L	P-625.1CD	P-625.1CL	P-628.10L	P-628.1CD	P-628.1CL	P-629.10L	P-629.1CD	P-629.1CL	Toleranz
Aktive Achsen	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X
Stellweg in X, ungeregelt	60 µm	60 µm	60 µm	120 µm	120 µm	120 µm	300 µm	300 µm	300 µm	600 µm	600 µm	600 µm	950 µm	950 µm	950 µm	1800 µm	1800 µm	1800 µm	±20 %
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 30 µrad	± 30 µrad	± 30 µrad	typ.
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	typ.
Stellweg in X		50 µm	50 µm		100 µm	100 µm		250 µm	250 µm		500 µm	500 µm		800 µm	800 µm		1500 µm	1500 µm
Linearitätsabweichung in X		0,02 %	0,02 %		0,02 %	0,02 %		0,02 %	0,02 %		0,03 %	0,03 %		0,03 %	0,03 %		0,03 %	0,03 %	typ.
Positionieren	P-620.10L	P-620.1CD	P-620.1CL	P-621.10L	P-621.1CD	P-621.1CL	P-622.10L	P-622.1CD	P-622.1CL	P-625.10L	P-625.1CD	P-625.1CL	P-628.10L	P-628.1CD	P-628.1CL	P-629.10L	P-629.1CD	P-629.1CL	Toleranz
Auflösung in X, ungeregelt	0,1 nm	0,1 nm	0,1 nm	0,2 nm	0,2 nm	0,2 nm	0,4 nm	0,4 nm	0,4 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	2 nm	2 nm	2 nm	typ.
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X		1 nm	1 nm		1 nm	1 nm		1 nm	1 nm		5 nm	5 nm		10 nm	10 nm		14 nm	14 nm	typ.
Integrierter Sensor		Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung		Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung		Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung		Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung		Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung		Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung
Systemauflösung in X		0,2 nm	0,2 nm		0,4 nm	0,4 nm		0,7 nm	0,7 nm		1,4 nm	1,4 nm		1,8 nm	1,8 nm		3 nm	3 nm
Antriebseigenschaften	P-620.10L	P-620.1CD	P-620.1CL	P-621.10L	P-621.1CD	P-621.1CL	P-622.10L	P-622.1CD	P-622.1CL	P-625.10L	P-625.1CD	P-625.1CL	P-628.10L	P-628.1CD	P-628.1CL	P-629.10L	P-629.1CD	P-629.1CL	Toleranz
Antriebstyp	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Maximale Leistungsaufnahme	3 W	3 W	3 W	9 W	9 W	9 W	9 W	9 W	9 W	10 W	10 W	10 W	18 W	18 W	18 W	49 W	49 W	49 W
Elektrische Kapazität in X	0,35 µF	0,35 µF	0,35 µF	1,5 µF	1,5 µF	1,5 µF	3,1 µF	3,1 µF	3,1 µF	6,2 µF	6,2 µF	6,2 µF	19 µF	19 µF	19 µF	52 µF	52 µF	52 µF	±20 %
Maximale Betriebsfrequenz kurzzeitig	367 Hz	367 Hz	367 Hz	267 Hz	267 Hz	267 Hz	133 Hz	133 Hz	133 Hz	72 Hz	72 Hz	72 Hz	42 Hz	42 Hz	42 Hz	42 Hz	42 Hz	42 Hz
Mechanische Eigenschaften	P-620.10L	P-620.1CD	P-620.1CL	P-621.10L	P-621.1CD	P-621.1CL	P-622.10L	P-622.1CD	P-622.1CL	P-625.10L	P-625.1CD	P-625.1CL	P-628.10L	P-628.1CD	P-628.1CL	P-629.10L	P-629.1CD	P-629.1CL	Toleranz
Steifigkeit in X	0,42 N/µm	0,42 N/µm	0,42 N/µm	0,35 N/µm	0,35 N/µm	0,35 N/µm	0,2 N/µm	0,2 N/µm	0,2 N/µm	0,1 N/µm	0,1 N/µm	0,1 N/µm	0,12 N/µm	0,12 N/µm	0,12 N/µm	0,13 N/µm	0,13 N/µm	0,13 N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz in X, unbelastet	1100 Hz	1100 Hz	1100 Hz	800 Hz	800 Hz	800 Hz	400 Hz	400 Hz	400 Hz	215 Hz	215 Hz	215 Hz	125 Hz	125 Hz	125 Hz	125 Hz	125 Hz	125 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 20 g	550 Hz	550 Hz	550 Hz	520 Hz	520 Hz	520 Hz	340 Hz	340 Hz	340 Hz	180 Hz	180 Hz	180 Hz	115 Hz	115 Hz	115 Hz	120 Hz	120 Hz	120 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 120 g	260 Hz	260 Hz	260 Hz	240 Hz	240 Hz	240 Hz	185 Hz	185 Hz	185 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	90 Hz	90 Hz	90 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	±20 %
Zulässige Druckkraft in X	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Zulässige Druckkraft in Y	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	8 N	8 N	8 N	max.
Zulässige Druckkraft in Z	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Zulässige Zugkraft in X	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Führung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung
Gesamtmasse	110 g	110 g	110 g	160 g	160 g	160 g	200 g	200 g	200 g	240 g	240 g	240 g	380 g	380 g	380 g	720 g	720 g	720 g
Material	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium
Anschlüsse und Umgebung	P-620.10L	P-620.1CD	P-620.1CL	P-621.10L	P-621.1CD	P-621.1CL	P-622.10L	P-622.1CD	P-622.1CL	P-625.10L	P-625.1CD	P-625.1CL	P-628.10L	P-628.1CD	P-628.1CL	P-629.10L	P-629.1CD	P-629.1CL	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 150 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 150 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 150 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 150 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 150 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 150 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C
Anschluss	LEMO LVPZT	D-Sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	D-Sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	D-Sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	D-Sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	D-Sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	D-Sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT
Kabellänge	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m
Empfohlene Controller / Treiber	E-503, E-505, E-610, E-665	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-709.1C1L, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-709.1C1L, E-754	E-503, E-505, E-610, E-665	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-709.1C1L, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-709.1C1L, E-754	E-503, E-505, E-610, E-665	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-709.1C1L, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-709.1C1L, E-754	E-503, E-505, E-610, E-665	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-709.1C1L, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-709.1C1L, E-754	E-503, E-505, E-610, E-665	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-709.1C1L, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-709.1C1L, E-754	E-503, E-505, E-610, E-665	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-709.1C1L, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-709.1C1L, E-754
Sensoranschluss			LEMO für kapazitive Sensoren			LEMO für kapazitive Sensoren			LEMO für kapazitive Sensoren			LEMO für kapazitive Sensoren			LEMO für kapazitive Sensoren			LEMO für kapazitive Sensoren

P-628.1CD / P-628.1CL: Linearitätsabweichung in X (typ.) 0,03 % mit Digitalcontroller. Mit analogen Controllern 0,05 %.

P-629.1CD / P-629.1CL: Linearitätsabweichung in X (typ.) 0,03 % mit Digitalcontroller. Mit analogen Controllern 0,08 %.

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Vakuumversionen bis 10^-9 hPa sind unter den Bestellnummern P-62x.1U erhältlich.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

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Produktmitteilung

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2021-04-19

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-12

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2023-12-12

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Version / Datum

2018-06-06

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Version / Datum

2018-06-08

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Dokumentation

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum

6.2.0 03/2024

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Version / Datum

6.2.0 03/2024

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Dokumentation

P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren

Version / Datum

1.3.0 2021-11-03

pdf - 3 MB

Version / Datum

1.3.0 2021-11-03

pdf - 3 MB

3-D-Modelle

Version / Datum

---

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Success Story

Profiltreue Wiedergabe feinster Strukturen dank Piezotechnologie und Konfokaltechnik. Autor: Gernot Hamann

Version / Datum

pi1135E

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Version / Datum

pi1135D

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Angebot / Bestellung

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P-620.10L

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 60 µm Stellweg (ungeregelt); LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-620.1CD

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 50 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge

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P-620.1CL

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 50 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-621.10L

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 120 µm Stellweg (ungeregelt); LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-621.1CD

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 100 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge

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P-621.1CL

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 100 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-622.10L

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 300 µm Stellweg (ungeregelt); LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-622.1CD

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 250 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge

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P-622.1CL

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 250 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-625.10L

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 600 µm Stellweg (ungeregelt); LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-625.1CD

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 500 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge

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P-625.1CL

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 500 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-628.10L

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 950 µm Stellweg (ungeregelt); LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-628.1CD

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 800 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge

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P-628.1CL

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 800 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-629.10L

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 1800 µm Stellweg (ungeregelt); LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-629.1CD

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 1500 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge

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P-629.1CL

PIHera Linearer Präzisionspositionierer; 1500 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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