P-611.1 Linearer Piezopositionierer

Kompakter und preisgünstiger Lineartisch

Kompakte Bauform: Grundfläche 44 mm × 44 mm
Stellweg 120 µm
Auflösung bis 0,2 nm
Besonders kostengünstige Systeme (Mechanik und Controller)
Überlegene Lebensdauer dank PICMA^® Piezoaktoren
Auch als Hubtisch, XY-, XZ- und XYZ-Version erhältlich

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P-611.1S, Abmessungen in mm

Einsatzgebiete

Mikroskopie
Nanopositionierung
Biotechnologie
Testanwendungen
Halbleitertechnik
Photonik
Faserpositionierung

Überragende Lebensdauer dank PICMA^® Piezoaktoren

Die PICMA^® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA^® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-11

pdf - 415 KB

Version / Datum

2023-12-11

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Version / Datum

2019-01-18

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Version / Datum

2019-01-18

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Bewegen	P-611.10	P-611.1S	Toleranz
Aktive Achsen	X	X
Stellweg in X, ungeregelt, bei -20 bis 120 V	120 µm	120 µm	+20 / -0 %
Ebenheit (Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in X)	10 nm	10 nm	typ.
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X)	± 5 µrad	± 5 µrad	typ.
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X)	± 20 µrad	± 20 µrad	typ.
Stellweg in X		100 µm
Linearitätsabweichung in X		0,1 %	typ.
Positionieren	P-611.10	P-611.1S	Toleranz
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X	± 10 nm	± 10 nm	typ.
Auflösung in X, ungeregelt	0,2 nm	0,2 nm	typ.
Integrierter Sensor		DMS, indirekte Positionsmessung
Systemauflösung in X		2 nm
Antriebseigenschaften	P-611.10	P-611.1S	Toleranz
Antriebstyp	PICMA®	PICMA®
Elektrische Kapazität in X	1,5 µF	1,5 µF	±20 %
Mechanische Eigenschaften	P-611.10	P-611.1S	Toleranz
Steifigkeit in X	0,2 N/µm	0,2 N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz in X, unbelastet	400 Hz	400 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 30 g	300 Hz	300 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 100 g	195 Hz	195 Hz	±20 %
Zulässige Druckkraft in X	15 N	15 N	max.
Zulässige Druckkraft in Z	15 N	15 N	max.
Zulässige Zugkraft in X	10 N	10 N	max.
Führung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung
Gesamtmasse	135 g	135 g	±5 %
Material	Aluminium, Stahl	Aluminium, Stahl
Anschlüsse und Umgebung	P-611.10	P-611.1S	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C
Anschluss	LEMO FFS.00.250.CTCE24	LEMO FFS.00.250.CTCE24
Kabellänge	1,5 m	1,5 m	±10 mm
Empfohlene Controller / Treiber	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-836	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-836
Sensoranschluss		LEMO FFA.0S.304.CLAC32

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

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Produktmitteilung

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2021-04-19

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2023-12-11

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