P-611.1 Linearer Piezopositionierer

Kompakter und preisgünstiger Lineartisch

Kompakte Bauform: Grundfläche 44 mm × 44 mm
Stellweg 120 µm
Auflösung bis 0,2 nm
Besonders kostengünstige Systeme (Mechanik und Controller)
Überlegene Lebensdauer dank PICMA^® Piezoaktoren
Auch als Hubtisch, XY-, XZ- und XYZ-Version erhältlich

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P-611.1S, Abmessungen in mm

Einsatzgebiete

Mikroskopie
Nanopositionierung
Biotechnologie
Testanwendungen
Halbleitertechnik
Photonik
Faserpositionierung

Überragende Lebensdauer dank PICMA^® Piezoaktoren

Die PICMA^® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA^® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-11

pdf - 415 KB

Version / Datum

2023-12-11

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Version / Datum

2026-07-15

pdf - 662 KB

Version / Datum

2019-01-18

pdf - 906 KB

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Wählen Sie einen Stellweg:

Bewegen	P-611.10	P-611.1S	Toleranz
Aktive Achsen	X	X
Stellweg in X	—	100 µm
Stellweg in X, ungeregelt, bei -20 bis 120 V	120 µm	120 µm	+20 % / -0 %
Linearitätsabweichung in X	—	0,1 %	typ.
Geradheitsabweichung in Z (Ebenheit)	10 nm	10 nm	typ.
Winkelabweichung um Y (Nicken)	± 5 µrad	± 5 µrad	typ.
Winkelabweichung um Z (Gieren)	± 20 µrad	± 20 µrad	typ.
Positionieren	P-611.10	P-611.1S	Toleranz
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X	± 10 nm	± 10 nm	typ.
Auflösung in X, ungeregelt	0,2 nm	0,2 nm	typ.
Integrierter Sensor	—	DMS, indirekte Positionsmessung
Systemauflösung in X	—	2 nm
Antriebseigenschaften	P-611.10	P-611.1S	Toleranz
Antriebstyp	PICMA®	PICMA®
Elektrische Kapazität in X	1,5 µF	1,5 µF	±20 %
Mechanische Eigenschaften	P-611.10	P-611.1S	Toleranz
Steifigkeit in X	0,2 N/µm	0,2 N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz in X, unbelastet	400 Hz	400 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 30 g	300 Hz	300 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 100 g	195 Hz	195 Hz	±20 %
Zulässige Druckkraft in X	15 N	15 N	max.
Zulässige Druckkraft in Z	15 N	15 N	max.
Zulässige Zugkraft in X	10 N	10 N	max.
Führung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung
Gesamtmasse	135 g	135 g	±5 %
Material	Aluminium, Stahl	Aluminium, Stahl
Anschlüsse und Umgebung	P-611.10	P-611.1S	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C
Anschluss	LEMO FFS.00.250.CTCE24	LEMO FFS.00.250.CTCE24
Sensoranschluss	—	LEMO FFA.0S.304.CLAC32
Kabellänge	1,5 m	1,5 m	±10 mm
Empfohlene Controller/Treiber	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-836	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665, E-836

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.

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Produktmitteilung

Version / Datum

2021-04-19

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2023-12-11

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