P-620.2 – P-629.2 PIHera Piezokreuztisch

Hochpräziser XY-Nanopositionierer mit variablen Stellwegen

Stellwege 50 bis 1800 µm
Auflösung bis 0,1 nm
Positioniergenauigkeit 0,02 %
Direkte Positionsmessung mit kapazitiven Sensoren
X-, XY-, Z-, XYZ-Versionen

Angebot / Bestellung

P-62x.2CD/.2CL/.20L, Abmessungen in mm.

Einsatzgebiete

Interferometrie
Mikroskopie
Nanopositionierung
Biotechnologie
Prüfverfahren und Qualitätssicherung
Photonik
Faserpositionierung
Halbleitertechnik

Überragende Lebensdauer dank PICMA^® Piezoaktoren

Die PICMA^® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA^® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-12

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Version / Datum

2023-12-12

pdf - 769 KB

Version / Datum

2018-05-17

pdf - 773 KB

Version / Datum

2018-07-03

pdf - 859 KB

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Wählen Sie einen Stellweg:

Bewegen	P-620.20L	P-620.2CD	P-620.2CL	P-621.20L	P-621.2CD	P-621.2CL	P-622.20L	P-622.2CD	P-622.2CL	P-625.20L	P-625.2CD	P-625.2CL	P-628.20L	P-628.2CD	P-628.2CL	P-629.2CD	P-629.2CL	Toleranz
Aktive Achsen	X Y	X Y	X Y	X Y	X Y	X Y	X Y	X Y	X Y	X Y	X Y	X Y	X Y	X Y	X Y	X Y	X Y
Stellweg in X, ungeregelt	60 µm	60 µm	60 µm	120 µm	120 µm	120 µm	300 µm	300 µm	300 µm	600 µm	600 µm	600 µm	1000 µm	1000 µm	1000 µm	1800 µm	1800 µm	±20 %
Stellweg in Y, ungeregelt	60 µm	60 µm	60 µm	120 µm	120 µm	120 µm	300 µm	300 µm	300 µm	600 µm	600 µm	600 µm	1000 µm	1000 µm	1000 µm	1800 µm	1800 µm	±20 %
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Y)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 30 µrad	± 30 µrad	typ.
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 30 µrad	± 30 µrad	typ.
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	typ.
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Y)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	typ.
Stellweg in X		50 µm	50 µm		100 µm	100 µm		250 µm	250 µm		500 µm	500 µm		800 µm	800 µm	1500 µm	1500 µm
Stellweg in Y		50 µm	50 µm		100 µm	100 µm		250 µm	250 µm		500 µm	500 µm		800 µm	800 µm	1500 µm	1500 µm
Linearitätsabweichung in X		0,02 %	0,02 %		0,02 %	0,02 %		0,02 %	0,02 %		0,03 %	0,03 %		0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	typ.
Linearitätsabweichung in Y		0,02 %	0,02 %		0,02 %	0,02 %		0,02 %	0,02 %		0,03 %	0,03 %		0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	typ.
Positionieren	P-620.20L	P-620.2CD	P-620.2CL	P-621.20L	P-621.2CD	P-621.2CL	P-622.20L	P-622.2CD	P-622.2CL	P-625.20L	P-625.2CD	P-625.2CL	P-628.20L	P-628.2CD	P-628.2CL	P-629.2CD	P-629.2CL	Toleranz
Auflösung in X, ungeregelt	0,1 nm	0,1 nm	0,1 nm	0,2 nm	0,2 nm	0,2 nm	0,4 nm	0,4 nm	0,4 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	2 nm	2 nm	typ.
Auflösung in Y, ungeregelt	0,1 nm	0,1 nm	0,1 nm	0,2 nm	0,2 nm	0,2 nm	0,4 nm	0,4 nm	0,4 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	2 nm	2 nm	typ.
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X		2 nm	2 nm		2 nm	2 nm		2 nm	2 nm		5 nm	5 nm		10 nm	10 nm	14 nm	14 nm	typ.
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y		2 nm	2 nm		2 nm	2 nm		2 nm	2 nm		5 nm	5 nm		10 nm	10 nm	14 nm	14 nm	typ.
Integrierter Sensor		Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung		Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung		Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung		Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung		Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung
Systemauflösung in X		0,2 nm	0,2 nm		0,4 nm	0,4 nm		0,7 nm	0,7 nm		1,4 nm	1,4 nm		3,5 nm	3,5 nm	3,5 nm	3,5 nm
Systemauflösung in Y		0,2 nm	0,2 nm		0,4 nm	0,4 nm		0,7 nm	0,7 nm		1,4 nm	1,4 nm		3,5 nm	3,5 nm	3,5 nm	3,5 nm
Antriebseigenschaften	P-620.20L	P-620.2CD	P-620.2CL	P-621.20L	P-621.2CD	P-621.2CL	P-622.20L	P-622.2CD	P-622.2CL	P-625.20L	P-625.2CD	P-625.2CL	P-628.20L	P-628.2CD	P-628.2CL	P-629.2CD	P-629.2CL	Toleranz
Antriebstyp	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Maximale Leistungsaufnahme	2 W	2 W	2 W	6 W	6 W	6 W	7 W	7 W	7 W	9 W	9 W	9 W	15 W	15 W	15 W	38 W	38 W
Elektrische Kapazität in X	0,35 µF	0,35 µF	0,35 µF	1,5 µF	1,5 µF	1,5 µF	3,1 µF	3,1 µF	3,1 µF	6,2 µF	6,2 µF	6,2 µF	19 µF	19 µF	19 µF	52 µF	52 µF	±20 %
Elektrische Kapazität in Y	0,35 µF	0,35 µF	0,35 µF	1,5 µF	1,5 µF	1,5 µF	3,1 µF	3,1 µF	3,1 µF	6,2 µF	6,2 µF	6,2 µF	19 µF	19 µF	19 µF	52 µF	52 µF	±20 %
Maximale Betriebsfrequenz kurzzeitig	267 Hz	267 Hz	267 Hz	178 Hz	178 Hz	178 Hz	100 Hz	100 Hz	100 Hz	65 Hz	65 Hz	65 Hz	35 Hz	35 Hz	35 Hz	33 Hz	33 Hz
Mechanische Eigenschaften	P-620.20L	P-620.2CD	P-620.2CL	P-621.20L	P-621.2CD	P-621.2CL	P-622.20L	P-622.2CD	P-622.2CL	P-625.20L	P-625.2CD	P-625.2CL	P-628.20L	P-628.2CD	P-628.2CL	P-629.2CD	P-629.2CL	Toleranz
Steifigkeit in X	0,22 N/µm	0,22 N/µm	0,22 N/µm	0,25 N/µm	0,25 N/µm	0,25 N/µm	0,2 N/µm	0,2 N/µm	0,2 N/µm	0,1 N/µm	0,1 N/µm	0,1 N/µm	0,05 N/µm	0,05 N/µm	0,05 N/µm	0,1 N/µm	0,1 N/µm	±20 %
Steifigkeit in Y	0,22 N/µm	0,22 N/µm	0,22 N/µm	0,25 N/µm	0,25 N/µm	0,25 N/µm	0,2 N/µm	0,2 N/µm	0,2 N/µm	0,1 N/µm	0,1 N/µm	0,1 N/µm	0,05 N/µm	0,05 N/µm	0,05 N/µm	0,1 N/µm	0,1 N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz in X, unbelastet	575 Hz	575 Hz	575 Hz	420 Hz	420 Hz	420 Hz	225 Hz	225 Hz	225 Hz	135 Hz	135 Hz	135 Hz	75 Hz	75 Hz	75 Hz	60 Hz	60 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 50 g	285 Hz	285 Hz	285 Hz	285 Hz	285 Hz	285 Hz	180 Hz	180 Hz	180 Hz	120 Hz	120 Hz	120 Hz	60 Hz	60 Hz	60 Hz	55 Hz	55 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 100 g	270 Hz	270 Hz	270 Hz	220 Hz	220 Hz	220 Hz	160 Hz	160 Hz	160 Hz	105 Hz	105 Hz	105 Hz	55 Hz	55 Hz	55 Hz	50 Hz	50 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, unbelastet	800 Hz	800 Hz	800 Hz	535 Hz	535 Hz	535 Hz	300 Hz	300 Hz	300 Hz	195 Hz	195 Hz	195 Hz	105 Hz	105 Hz	105 Hz	100 Hz	100 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 50 g	395 Hz	395 Hz	395 Hz	365 Hz	365 Hz	365 Hz	215 Hz	215 Hz	215 Hz	150 Hz	150 Hz	150 Hz	85 Hz	85 Hz	85 Hz	85 Hz	85 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 100 g	300 Hz	300 Hz	300 Hz	285 Hz	285 Hz	285 Hz	175 Hz	175 Hz	175 Hz	125 Hz	125 Hz	125 Hz	75 Hz	75 Hz	75 Hz	80 Hz	80 Hz	±20 %
Zulässige Druckkraft in X	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Zulässige Druckkraft in Y	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Zulässige Druckkraft in Z	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Zulässige Zugkraft in X	5 N	5 N	5 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	max.
Zulässige Zugkraft in Y	5 N	5 N	5 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	max.
Zulässige Zugkraft in Z	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Führung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung
Gesamtmasse	195 g	195 g	195 g	295 g	295 g	295 g	348 g	348 g	348 g	430 g	430 g	430 g	700 g	700 g	700 g	1370 g	1370 g
Material	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium
Anschlüsse und Umgebung	P-620.20L	P-620.2CD	P-620.2CL	P-621.20L	P-621.2CD	P-621.2CL	P-622.20L	P-622.2CD	P-622.2CL	P-625.20L	P-625.2CD	P-625.2CL	P-628.20L	P-628.2CD	P-628.2CL	P-629.2CD	P-629.2CL	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 150 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 150 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 150 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 150 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 150 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C
Anschluss	LEMO LVPZT	2 × D-Sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	2 × D-Sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	2 × D-Sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	2 × D-Sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	2 × D-Sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	2 × D-Sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT
Kabellänge	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m
Empfohlene Controller / Treiber	E-503, E-505, E-663	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-663	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-663	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-663	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-663	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727
Sensoranschluss			LEMO für kapazitive Sensoren			LEMO für kapazitive Sensoren			LEMO für kapazitive Sensoren			LEMO für kapazitive Sensoren			LEMO für kapazitive Sensoren		LEMO für kapazitive Sensoren

P-628.2CD / P-628.2CL: Linearitätsabweichung in X, Y (typ.) 0,03 % mit Digitalcontroller. Mit analogen Controllern 0,05 %.

P-629.2CD / P-629.2CL: Linearitätsabweichung in X, Y (typ.) 0,03 % mit Digitalcontroller. Mit analogen Controllern 0,08 %.

X: untere Achse; Y: obere Achse.

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

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Produktmitteilung

Version / Datum

2021-04-19

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-12

pdf - 731 KB

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2023-12-12

pdf - 769 KB

Version / Datum

2018-05-17

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Version / Datum

2018-07-03

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Dokumentation

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum

6.2.0 03/2024

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Version / Datum

6.2.0 03/2024

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Dokumentation

P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren

Version / Datum

1.3.0 2021-11-03

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Version / Datum

1.3.0 2021-11-03

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3-D-Modelle

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Angebot / Bestellung

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P-620.20L

PIHera Piezokreuztisch; 60 µm × 60 µm Stellweg (ungeregelt) (X × Y); LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-620.2CD

PIHera Piezokreuztisch; 50 µm × 50 µm Stellweg (X × Y); Kapazitiv, direkte Positionsmessung; 2 × D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge

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P-620.2CL

PIHera Piezokreuztisch; 50 µm × 50 µm Stellweg (X × Y); Kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-621.20L

PIHera Piezokreuztisch; 120 µm × 120 µm Stellweg (ungeregelt) (X × Y); LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-621.2CD

PIHera Piezokreuztisch; 100 µm × 100 µm Stellweg (X × Y); Kapazitiv, direkte Positionsmessung; 2 × D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge

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P-621.2CL

PIHera Piezokreuztisch; 100 µm × 100 µm Stellweg (X × Y); Kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-622.20L

PIHera Piezokreuztisch; 300 µm × 300 µm Stellweg (ungeregelt) (X × Y); LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-622.2CD

PIHera Piezokreuztisch; 250 µm × 250 µm Stellweg (X × Y); Kapazitiv, direkte Positionsmessung; 2 × D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge

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P-622.2CL

PIHera Piezokreuztisch; 250 µm × 250 µm Stellweg (X × Y); Kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

Auf die Anfrageliste Von der Anfrageliste entfernen

P-625.20L

PIHera Piezokreuztisch; 600 µm × 600 µm Stellweg (ungeregelt) (X × Y); LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-625.2CD

PIHera Piezokreuztisch; 500 µm × 500 µm Stellweg (X × Y); Kapazitiv, direkte Positionsmessung; 2 × D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge

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P-625.2CL

PIHera Piezokreuztisch; 500 µm × 500 µm Stellweg (X × Y); Kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-628.20L

PIHera Piezokreuztisch; 1000 µm × 1000 µm Stellweg (ungeregelt) (X × Y); LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-628.2CD

PIHera Piezokreuztisch; 800 µm × 800 µm Stellweg (X × Y); Kapazitiv, direkte Positionsmessung; 2 × D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge

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P-628.2CL

PIHera Piezokreuztisch; 800 µm × 800 µm Stellweg (X × Y); Kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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P-629.2CD

PIHera Piezokreuztisch; 1500 µm × 1500 µm Stellweg (X × Y); Kapazitiv, direkte Positionsmessung; 2 × D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge

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P-629.2CL

PIHera Piezokreuztisch; 1500 µm × 1500 µm Stellweg (X × Y); Kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge

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