P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioniertisch

Hochpräziser Nanopositionierer für bis zu 3 Achsen

Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik in den Achsen X und Y
Stellwege bis 300 × 300 × 300 µm
Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Exzellente Scan-Ebenheit
Hochdynamische XYZ-Version
Freie Apertur 66 mm × 66 mm
Überlegene Lebensdauer dank PICMA^® Piezoaktoren
UHV-Versionen bis 10^-9 hPa

Angebot / Bestellung

Ansprechverhalten des P-562.3CD: Einschwingen in weniger als 10 ms in X, Y und Z.

P-56x.3CD und P-56x.3CL, Abmessungen in mm

P-561.3DD, Abmessungen in mm

Einsatzgebiete

Scanning-Mikroskopie
Masken- / Waferpositionierung
Interferometrie
Messtechnik
Biotechnologie
Scanning und Screening

Überragende Lebensdauer dank PICMA^® Piezoaktoren

Die PICMA^® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA^® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung

Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-11

pdf - 776 KB

Version / Datum

2023-12-11

pdf - 779 KB

Version / Datum

2018-06-20

pdf - 856 KB

Version / Datum

2018-07-02

pdf - 932 KB

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Wählen Sie einen Stellweg:

Bewegen	P-561.3CD	P-561.3CL	P-562.3CD	P-562.3CL	P-563.3CD	P-563.3CL	P-561.3DD	Toleranz
Aktive Achsen	X Y Z	X Y Z	X Y Z	X Y Z	X Y Z	X Y Z	X Y Z
Stellweg in X	100 µm	100 µm	200 µm	200 µm	300 µm	300 µm	45 µm
Stellweg in Y	100 µm	100 µm	200 µm	200 µm	300 µm	300 µm	45 µm
Stellweg in Z	100 µm	100 µm	200 µm	200 µm	300 µm	300 µm	15 µm
Stellweg in X, ungeregelt, bei -20 bis 120 V	150 µm	150 µm	300 µm	300 µm	340 µm	340 µm	58 µm	+20 / -0 %
Stellweg in Y, ungeregelt, bei -20 bis 120 V	150 µm	150 µm	300 µm	300 µm	340 µm	340 µm	58 µm	+20 / -0 %
Stellweg in Z, ungeregelt, bei -20 bis 120 V	150 µm	150 µm	300 µm	300 µm	340 µm	340 µm	18 µm	+20 / -0 %
Linearitätsabweichung in X	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	max.
Linearitätsabweichung in Y	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	max.
Linearitätsabweichung in Z	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,08 %	max.
Ebenheit (Lineares Übersprechen in X bei Bewegung in Z)	± 30 nm	± 30 nm	± 50 nm	± 50 nm	± 50 nm	± 50 nm	± 20 nm	typ.
Geradheit (Lineares Übersprechen in Y bei Bewegung in Z)	± 30 nm	± 30 nm	± 50 nm	± 50 nm	± 50 nm	± 50 nm	± 20 nm	typ.
Ebenheit (Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in X)	± 15 nm	± 15 nm	± 20 nm	± 20 nm	± 25 nm	± 25 nm	± 10 nm	typ.
Ebenheit (Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in Y)	± 15 nm	± 15 nm	± 20 nm	± 20 nm	± 25 nm	± 25 nm	± 10 nm	typ.
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Y)	± 1 µrad	± 1 µrad	± 2 µrad	± 2 µrad	± 2 µrad	± 2 µrad	± 3 µrad	typ.
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Z)	± 15 µrad	± 15 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 25 µrad	± 25 µrad	± 3 µrad	typ.
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X)	± 1 µrad	± 1 µrad	± 2 µrad	± 2 µrad	± 2 µrad	± 2 µrad	± 3 µrad	typ.
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z)	± 15 µrad	± 15 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 25 µrad	± 25 µrad	± 3 µrad	typ.
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X)	± 6 µrad	± 6 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 3 µrad	typ.
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Y)	± 6 µrad	± 6 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 3 µrad	typ.
Positionieren	P-561.3CD	P-561.3CL	P-562.3CD	P-562.3CL	P-563.3CD	P-563.3CL	P-561.3DD	Toleranz
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	typ.
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	typ.
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z	± 2 nm	± 2 nm	± 4 nm	± 4 nm	± 4 nm	± 4 nm	± 2 nm	typ.
Auflösung in X, ungeregelt	0,2 nm	0,2 nm	0,4 nm	0,4 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,1 nm	typ.
Auflösung in Y, ungeregelt	0,2 nm	0,2 nm	0,4 nm	0,4 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,1 nm	typ.
Auflösung in Z, ungeregelt	0,2 nm	0,2 nm	0,4 nm	0,4 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,1 nm	typ.
Integrierter Sensor	Kapazitiv, indirekte Positionsmessung	Kapazitiv, indirekte Positionsmessung	Kapazitiv, indirekte Positionsmessung	Kapazitiv, indirekte Positionsmessung	Kapazitiv, indirekte Positionsmessung	Kapazitiv, indirekte Positionsmessung	Kapazitiv, indirekte Positionsmessung
Systemauflösung in X	0,8 nm	0,8 nm	1 nm	1 nm	2 nm	2 nm	0,2 nm
Systemauflösung in Y	0,8 nm	0,8 nm	1 nm	1 nm	2 nm	2 nm	0,2 nm
Systemauflösung in Z	0,8 nm	0,8 nm	1 nm	1 nm	2 nm	2 nm	0,2 nm
Antriebseigenschaften	P-561.3CD	P-561.3CL	P-562.3CD	P-562.3CL	P-563.3CD	P-563.3CL	P-561.3DD	Toleranz
Antriebstyp	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Elektrische Kapazität in X	5,2 µF	5,2 µF	7,4 µF	7,4 µF	7,4 µF	7,4 µF	38 µF	±20 %
Elektrische Kapazität in Y	5,2 µF	5,2 µF	7,4 µF	7,4 µF	7,4 µF	7,4 µF	38 µF	±20 %
Elektrische Kapazität in Z	10,4 µF	10,4 µF	14,8 µF	14,8 µF	14,8 µF	14,8 µF	6 µF	±20 %
Mechanische Eigenschaften	P-561.3CD	P-561.3CL	P-562.3CD	P-562.3CL	P-563.3CD	P-563.3CL	P-561.3DD	Toleranz
Resonanzfrequenz in X, unbelastet	190 Hz	190 Hz	160 Hz	160 Hz	140 Hz	140 Hz	920 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 350 g	150 Hz	150 Hz	125 Hz	125 Hz	93 Hz	93 Hz	640 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, unbelastet	190 Hz	190 Hz	160 Hz	160 Hz	140 Hz	140 Hz	920 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 350 g	150 Hz	150 Hz	125 Hz	125 Hz	93 Hz	93 Hz	640 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Z, unbelastet	380 Hz	380 Hz	315 Hz	315 Hz	250 Hz	250 Hz	1050 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 350 g	260 Hz	260 Hz	211 Hz	211 Hz	148 Hz	148 Hz	695 Hz	±20 %
Zulässige Druckkraft in X	60 N	60 N	50 N	50 N	40 N	40 N	200 N	max.
Zulässige Druckkraft in Y	60 N	60 N	50 N	50 N	40 N	40 N	200 N	max.
Zulässige Druckkraft in Z	100 N	100 N	60 N	60 N	30 N	30 N	250 N	max.
Zulässige Zugkraft in X	40 N	40 N	40 N	40 N	30 N	30 N	70 N	max.
Zulässige Zugkraft in Y	40 N	40 N	40 N	40 N	30 N	30 N	70 N	max.
Zulässige Zugkraft in Z	100 N	100 N	60 N	60 N	30 N	30 N	60 N	max.
Führung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Direktantrieb
Gesamtmasse	1450 g	1450 g	1450 g	1450 g	1450 g	1450 g	1550 g	±5 %
Material	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 100 g			145 Hz	145 Hz	120 Hz	120 Hz	860 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 100 g			145 Hz	145 Hz	120 Hz	120 Hz	860 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 100 g			275 Hz	275 Hz	215 Hz	215 Hz	950 Hz	±20 %
Anschlüsse und Umgebung	P-561.3CD	P-561.3CL	P-562.3CD	P-562.3CL	P-563.3CD	P-563.3CL	P-561.3DD	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C
Anschluss	D-Sub 25W3 (m)	LEMO LVPZT	D-Sub 25W3 (m)	LEMO LVPZT	D-Sub 25W3 (m)	LEMO LVPZT	D-Sub 25W3 (m)
Kabellänge	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	+50 / -0 mm
Empfohlene Controller / Treiber	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727

Linearitätsabweichung des P-561.3DD: Mit Digitalcontroller. Die mit Analogcontrollern gemessene Linearitätsabweichung von direkt getriebenen Positionierern beträgt typischerweise bis zu 0,1 %.

Parallelkinematik nur für die Achsen X und Y verfügbar (nicht in Z).

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Superinvar- und Titan-Versionen verfügbar.

Sonderausführungen auf Anfrage.

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Produktmitteilung

Version / Datum

2021-04-19

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Englisch

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-11