P-517 • P-527 Mehrachsen-Piezoscanner

Hochdynamischer Nanopositionierer / Scanner mit direkter Positionsmessung

2- und 3-Achsenversionen (XY und XYθ_Z)
Stellwege bis 200 µm
Sub-nm-Auflösung

Angebot / Bestellung

P-517 / P-527, Abmessungen in mm

Einsatzgebiete

Messtechnik
Interferometrie
Photonik / integrierte Optik
Lithografie
Nanopositionierung
Scanning-Mikroskopie
Probenausrichtung
Mikrobearbeitung

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch

Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.

Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung

Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-11

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Version / Datum

2023-12-11

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Version / Datum

2018-06-20

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Version / Datum

2018-07-02

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Wählen Sie einen Stellweg:

Bewegen	P-517.2CD	P-517.2CL	P-517.3CD	P-517.3CL	P-517.RCD	P-527.2CD	P-527.2CL	P-527.3CD	P-527.3CL	P-527.RCD	Toleranz
Aktive Achsen	X Y	X Y	X Y Z	X Y Z	X Y θZ	X Y	X Y	X Y Z	X Y Z	X Y θZ
Stellweg in X	100 µm	100 µm	100 µm	100 µm	100 µm	200 µm	200 µm	200 µm	200 µm	200 µm
Stellweg in Y	100 µm	100 µm	100 µm	100 µm	100 µm	200 µm	200 µm	200 µm	200 µm	200 µm
Stellweg in X, ungeregelt	130 µm	130 µm	130 µm	130 µm	130 µm	250 µm	250 µm	250 µm	250 µm	250 µm	±20 %
Stellweg in Y, ungeregelt	130 µm	130 µm	130 µm	130 µm	130 µm	250 µm	250 µm	250 µm	250 µm	250 µm	±20 %
Linearitätsabweichung in X	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	typ.
Linearitätsabweichung in Y	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	typ.
Stellweg in Z			20 µm	20 µm				20 µm	20 µm
Stellweg in Z, ungeregelt			25 µm	25 µm				25 µm	25 µm		±20 %
Linearitätsabweichung in Z			0,03 %	0,03 %				0,03 %	0,03 %		typ.
Rotationsbereich in θZ					1 mrad					2 mrad
Rotationsbereich in θZ, ungeregelt					2,6 mrad					5 mrad	±20 %
Linearitätsabweichung in θZ					0,15 %					0,15 %	typ.
Positionieren	P-517.2CD	P-517.2CL	P-517.3CD	P-517.3CL	P-517.RCD	P-527.2CD	P-527.2CL	P-527.3CD	P-527.3CL	P-527.RCD	Toleranz
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X	5 nm	5 nm	5 nm	5 nm	5 nm	10 nm	10 nm	10 nm	10 nm	10 nm	typ.
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y	5 nm	5 nm	5 nm	5 nm	5 nm	10 nm	10 nm	10 nm	10 nm	10 nm	typ.
Auflösung in X, ungeregelt	0,3 nm	0,3 nm	0,3 nm	0,3 nm	0,3 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	typ.
Auflösung in Y, ungeregelt	0,3 nm	0,3 nm	0,3 nm	0,3 nm	0,3 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	0,5 nm	typ.
Integrierter Sensor	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, indirekte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, indirekte Positionsmessung
Systemauflösung in X	1 nm	1 nm	1 nm	1 nm	1 nm	2 nm	2 nm	2 nm	2 nm	2 nm
Systemauflösung in Y	1 nm	1 nm	1 nm	1 nm	1 nm	2 nm	2 nm	2 nm	2 nm	2 nm
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z			1 nm	1 nm				1 nm	1 nm		typ.
Auflösung in Z, ungeregelt			0,1 nm	0,1 nm				0,1 nm	0,1 nm		typ.
Systemauflösung in Z			0,1 nm	0,1 nm				0,1 nm	0,1 nm
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in θZ					0,5 µrad					1 µrad	typ.
Auflösung in θZ, ungeregelt					0,1 µrad					0,1 µrad	typ.
Systemauflösung in θZ					0,3 µrad					0,3 µrad
Antriebseigenschaften	P-517.2CD	P-517.2CL	P-517.3CD	P-517.3CL	P-517.RCD	P-527.2CD	P-527.2CL	P-527.3CD	P-527.3CL	P-527.RCD	Toleranz
Antriebstyp	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Elektrische Kapazität in X	9,2 µF	9,2 µF	9,2 µF	9,2 µF	4,6 µF	9,2 µF	9,2 µF	9,2 µF	9,2 µF	4,6 µF	±20 %
Elektrische Kapazität in Y	9,2 µF	9,2 µF	9,2 µF	9,2 µF	4,6 µF	9,2 µF	9,2 µF	9,2 µF	9,2 µF	4,6 µF	±20 %
Elektrische Kapazität in Z			6 µF	6 µF				6 µF	6 µF		±20 %
Mechanische Eigenschaften	P-517.2CD	P-517.2CL	P-517.3CD	P-517.3CL	P-517.RCD	P-527.2CD	P-527.2CL	P-527.3CD	P-527.3CL	P-527.RCD	Toleranz
Steifigkeit in X	2 N/µm	2 N/µm	2 N/µm	2 N/µm	2 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	±20 %
Steifigkeit in Y	2 N/µm	2 N/µm	2 N/µm	2 N/µm	2 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz in X, unbelastet	450 Hz	450 Hz	450 Hz	450 Hz	450 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 500 g	250 Hz	250 Hz	250 Hz	250 Hz	250 Hz	190 Hz	190 Hz	190 Hz	190 Hz	190 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 2500 g	140 Hz	140 Hz	140 Hz	140 Hz	140 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, unbelastet	450 Hz	450 Hz	450 Hz	450 Hz	450 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 500 g	250 Hz	250 Hz	250 Hz	250 Hz	250 Hz	190 Hz	190 Hz	190 Hz	190 Hz	190 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 2500 g	140 Hz	140 Hz	140 Hz	140 Hz	140 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	±20 %
Zulässige Druckkraft in Z	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	max.
Zulässige Zugkraft in Z	20 N	20 N	20 N	20 N	20 N	20 N	20 N	20 N	20 N	20 N	max.
Führung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung
Gesamtmasse	1400 g	1400 g	1450 g	1450 g	1400 g	1400 g	1400 g	1450 g	1450 g	1400 g
Material	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium	Aluminium
Steifigkeit in Z			15 N/µm	15 N/µm				15 N/µm	15 N/µm		±20 %
Resonanzfrequenz in Z, unbelastet			1100 Hz	1100 Hz				1100 Hz	1100 Hz		±20 %
Steifigkeit in θZ					2 N·m/µrad					1 N·m/µrad	±20 %
Resonanzfrequenz in θZ, unbelastet					400 Hz					300 Hz	±20 %
Anschlüsse und Umgebung	P-517.2CD	P-517.2CL	P-517.3CD	P-517.3CL	P-517.RCD	P-527.2CD	P-527.2CL	P-527.3CD	P-527.3CL	P-527.RCD	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C
Anschluss	D-Sub 25W3 (m)	LEMO LVPZT	D-Sub 25W3 (m)	LEMO LVPZT	D-Sub 25W3 (m)	D-Sub 25W3 (m)	LEMO LVPZT	D-Sub 25W3 (m)	LEMO LVPZT	D-Sub 25W3 (m)
Kabellänge	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m
Empfohlene Controller / Treiber	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727	E-503, E-505, E-621, E-712, E-727

Zulässige Druck-/Zugkraft in Z: Bei horizontaler Einbaulage (auf Oberfläche stehend, nicht hängend).

Elektrische Kapazität: Angabe pro Kanal (siehe Pinbelegung im Benutzerhandbuch).

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).

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Produktmitteilung

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2021-04-19

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-11

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2023-12-11

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2018-06-20

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2018-07-02

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Dokumentation

Piezopositioniersysteme: P-5xx / P-6xx / P-7xx

Version / Datum

6.2.0 03/2024

pdf - 561 KB

Version / Datum

6.2.0 03/2024

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Dokumentation

Unpacking and Packing P-5xx Positioners

Version / Datum

2019-03-04

pdf - 448 KB

Englisch

Dokumentation

P-517, P-518, P-527, P-528, P-558 Präzise Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren

Version / Datum

3.3.0 2024-07-22

pdf - 2 MB

Version / Datum

3.3.0 2024-07-22

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3-D-Modelle

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P-517.2CD

Präziser XY-Nanopositionierer, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

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P-517.2CL

Präziser XY-Nanopositionierer, 100 µm × 100 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker

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P-517.3CD

Präziser XYZ-Nanopositionierer, 100 µm × 100 µm × 20 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

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P-517.3CL

Präziser XYZ-Nanopositionierer, 100 µm × 100 µm × 20 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker

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P-517.RCD

Präziser XY- und Rotations-Nanopositionierer, 100 µm × 100 µm, 2 mrad, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

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P-527.2CD

Präziser XY-Nanopositionierer, 200 µm × 200 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

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P-527.2CL

Präziser XY-Nanopositionierer, 200 µm × 200 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker

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P-527.3CD

Präziser XYZ-Nanopositionierer, 200 µm × 200 µm × 20 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

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P-527.3CL

Präziser XYZ-Nanopositionierer, 200 µm × 200 µm × 20 µm, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker

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P-527.RCD

Präziser XY- und Rotations-Nanopositionierer, 200 µm × 200 µm, 4 mrad, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

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