Neue Perspektiven
Bei Inspektions- und Fertigungssystemen der Halbleiterindustrie sind heute mechanische Präzisionsführungen oder Luftlagertechnik mit magnetischen Linearmotoren Stand der Technik. Bei steigenden Anforderungen an die Präzision bis hinunter zu einigen Nanometern und wenn unter Vakuum oder in Stickstoffatmosphäre gearbeitet werden soll, stoßen solche Systeme jedoch an ihre Grenzen.
Neue Perspektiven bieten hochpräzise magnetische Direktantriebe, da sie weitgehend auf mechanische Komponenten verzichten: weniger Reibung und Spiel, mehr Präzision!
Eigenschaften des magnetischen Schwebens (Magnetic Levitation)
Das magnetische Schweben ("Magnetic Levitation") ermöglicht hervorragende Führungsgenauigkeit in der Ebene sowohl linear als auch rotativ: Der passive Läufer schwebt auf einem magnetischen Feld und wird durch dieses aktiv geführt. Ablauffehler werden von hochgenauen berührungslosen Sensoren gemessen und ausgeregelt. Im Gegensatz zu den ebenfalls hochgenauen Luftlagern können magnetische Lager auch im Vakuum verwendet werden.
Neue Perspektiven für hochpräzise Positioniersysteme: Der PIMag® 6D ist eine Studie für ein planares Positioniersystem mit magnetischem Antrieb und 6D-Sensor. Das System kann Abweichungen von der idealen Bahn in allen sechs Bewegungsachsen detektieren und kompensieren.
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