P-733.3CD
XYZ-Piezonanopositionierer; 100 µm × 100 µm × 10 µm Stellweg (X × Y × Z); kapazitiv, indirekte Positionsmessung; D-Sub 25W3 (m); 1,5 m Kabellänge
P-733.3 XYZ-Piezo-Nanopositionierer
Hochpräziser XYZ-Scanner mit Apertur
- Stellwege bis 100 µm × 100 µm in X, Y und bis 10 µm in Z
- Auflösung bis 0,1 nm durch kapazitive Sensoren
- Hochgeschwindigkeitsversionen mit Direktantrieb
- Ultrahochvakuumtaugliche und unmagnetische Versionen auf Anfrage
- Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
- Parallelmetrologie für die aktive Kompensation von Führungsfehlern
- Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
- Freie Apertur 50 mm × 50 mm für Durchlicht-Anwendungen
P-733.3CD / .3CL, Abmessungen in mm
P-733.3DD, Abmessungen in mm
P-733.3 XYZ-Piezo-Nanopositionierer
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Einsatzgebiete
- Scanning-Mikroskopie
- Konfokale Mikroskopie
- Masken- / Waferpositionierung
- Oberflächenmesstechnik
- Nanoimprint
- Mikromanipulation
- Bildverarbeitung / -stabilisierung
- Nanopositionierung mit hoher Ebenheit und Geradheit der Bewegung
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch
Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.
Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung
Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.
Spezifikationen
Spezifikationen
Wählen Sie einen Stellweg:
| Bewegen | P-733.3CD | P-733.3CL | P-733.3DD | Toleranz |
|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X Y Z | X Y Z | X Y Z | |
| Stellweg in X | 100 µm | 100 µm | 30 µm | |
| Stellweg in Y | 100 µm | 100 µm | 30 µm | |
| Stellweg in Z | 10 µm | 10 µm | 10 µm | |
| Stellweg in X, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 115 µm | 115 µm | 33 µm | +20 / -0 % |
| Stellweg in Y, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 115 µm | 115 µm | 33 µm | +20 / -0 % |
| Stellweg in Z, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 12 µm | 12 µm | 14 µm | +20 / -0 % |
| Linearitätsabweichung in X | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | typ. |
| Linearitätsabweichung in Y | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | typ. |
| Linearitätsabweichung in Z | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Y) | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X) | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X) | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Y) | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Positionieren | P-733.3CD | P-733.3CL | P-733.3DD | Toleranz |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | ± 1 nm | ± 1 nm | ± 1 nm | typ. |
| Auflösung in X, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,1 nm | typ. |
| Auflösung in Y, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,1 nm | typ. |
| Auflösung in Z, ungeregelt | 0,1 nm | 0,1 nm | 0,1 nm | typ. |
| Integrierter Sensor | Kapazitiv, indirekte Positionsmessung | Kapazitiv, indirekte Positionsmessung | Kapazitiv, indirekte Positionsmessung | |
| Systemauflösung in X | 0,3 nm | 0,3 nm | 0,1 nm | typ. |
| Systemauflösung in Y | 0,3 nm | 0,3 nm | 0,1 nm | typ. |
| Systemauflösung in Z | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,1 nm | typ. |
| Antriebseigenschaften | P-733.3CD | P-733.3CL | P-733.3DD | Toleranz |
| Antriebstyp | PICMA® | PICMA® | PICMA® | |
| Elektrische Kapazität in X | 6 µF | 6 µF | 6,2 µF | ±20 % |
| Elektrische Kapazität in Y | 6 µF | 6 µF | 6,2 µF | ±20 % |
| Elektrische Kapazität in Z | 2,4 µF | 2,4 µF | 3,3 µF | ±20 % |
| Mechanische Eigenschaften | P-733.3CD | P-733.3CL | P-733.3DD | Toleranz |
| Steifigkeit in X | 1,4 N/µm | 1,4 N/µm | 4 N/µm | ±20 % |
| Steifigkeit in Y | 1,4 N/µm | 1,4 N/µm | 4 N/µm | ±20 % |
| Steifigkeit in Z | 9 N/µm | 9 N/µm | 10 N/µm | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, unbelastet | 460 Hz | 460 Hz | 1200 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 120 g | 340 Hz | 340 Hz | ±20 % | |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 200 g | 295 Hz | 295 Hz | 530 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, unbelastet | 460 Hz | 460 Hz | 1200 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 120 g | 340 Hz | 340 Hz | ±20 % | |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 200 g | 295 Hz | 295 Hz | 530 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, unbelastet | 1400 Hz | 1400 Hz | 1100 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 120 g | 1060 Hz | 1060 Hz | ±20 % | |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 200 g | 650 Hz | 650 Hz | 635 Hz | ±20 % |
| Zulässige Druckkraft in X | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Y | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in X | 20 N | 20 N | 20 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Y | 20 N | 20 N | 20 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Z | 20 N | 20 N | 20 N | max. |
| Gesamtmasse | 675 g | 675 g | 675 g | ±5 % |
| Material | Aluminium | Aluminium | Aluminium | |
| Anschlüsse und Umgebung | P-733.3CD | P-733.3CL | P-733.3DD | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | |
| Anschluss | D-Sub 25W3 (m) | LEMO FFA.00.250.CTAC22 | D-Sub 25W3 (m) | |
| Kabellänge | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | ±10 mm |
| Empfohlene Controller / Treiber | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727 | |
| Sensoranschluss | LEMO FFA.00.250.CTLC31 |
P-733.3DD: Linearitätsabweichung mit Digitalcontroller. Mit Analogcontrollern kann die Linearitätsabweichung für direkt getriebene Positionierer typ. bis 0,1 % betragen.
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
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Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ103
P-733, P-734 Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
Version / Datum
1.2.0 2024-05-16
pdf - 2 MB
Version / Datum
1.2.0 2024-05-16
pdf - 2 MB
3-D-Modelle
3-D-Modelle
P-733 3D Modell
zip - 2 MB
Broschüre
Broschüre
Mikroskoptisch-Konfigurator
Probentische und -halter für inverse Mikroskope
Version / Datum
BRO70E
pdf - 3 MB
Englisch
Angebot / Bestellung
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P-733.3CL
XYZ-Piezonanopositionierer; 100 µm × 100 µm × 10 µm Stellweg (X × Y × Z); kapazitiv, indirekte Positionsmessung; LEMO-Stecker; 1,5 m Kabellänge
P-733.3DD
XYZ-Piezonanopositionierer; 30 µm × 30 µm × 10 µm Stellweg (X × Y × Z); kapazitiv, indirekte Positionsmessung; D-Sub 25W3 (m); 1,5 m Kabellänge
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Hohe Zuverlässigkeit und überlegene Lebensdauer durch das patentierte Herstellungsverfahren für Multilayer-Aktoren.
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Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.
Flexure Festkörpergelenke
Festkörpergelenksführungen von PI führen den Piezoaktor und dienen der geradlinigen Bewegung ohne Verkippung oder seitlichen Versatz.
Digitale Motion Controller
Digitale Controller haben gegenüber analogen Verstärkerelektroniken Vorteile, die vor allem bei hochpräzisen Positionieraufgaben zum Tragen kommen.
Kapazitive Sensoren
Präzision und Reproduzierbarkeit sind undenkbar ohne Einsätze höchstauflösender Messverfahren. Hier bieten kapazitive Sensoren die besten Ergebnisse.
Piezopositioniersysteme mit paralleler Kinematik
Der Vorteil eines Parallelkinematik-Mehrachsensystem ist, dass es kompakter gebaut werden kann, da nur es nur eine bewegte Plattform gibt.