E-509 Sensorauswertung / Regler

Servocontrollermodul für bis zu 3 Achsen, Piezocontrollersystem E-500

Positionsregelung für Piezos mit DMS-und kapazitiven Sensoren
Linearitätsabweichung wird verbessert
Eliminiert Drift und Hysterese
Kerbfilter für höhere Bandbreite
Erhöht die Piezosteifigkeit
Hervorragende Linearität durch integrierte Linearisierungsfunktion (ILS)

E-509 ist ein Positionsregelmodul mit Sensorauswerteelektronik für Nanopositioniersysteme mit integrierten Positionssensoren. Es eliminiert automatisch Drift bzw. Hysterese, die im spannungsgesteuerten Piezobetrieb auftreten, und gleicht Positionsänderungen des Piezoaktors im Falle eines Lastwechsels durch augenblickliche Anpassung der Piezospannung aus.

Technologie

Der Proportional-Integral-Positionsregler der E-509 Servocontrollermodule ist speziell für den Piezobetrieb optimiert. Sowohl Proportional- und Integralterm als auch die Regelbandbreite können individuell angepasst werden. Die integrierten Kerbfilter (für jede Achse einstellbar) verbessern die Stabilität und ermöglichen einen breitbandigeren Betrieb näher an der mechanischen Resonanzfrequenz des Piezosystems. Abhängig vom angeschlossenen Piezoprodukt und von der Sensorart ist dabei eine Positioniergenauigkeit und Wiederholbarkeit im Nanometerbereich möglich.

Für hochauflösende kapazitive Einplattensensoren der Reihe PISeca stehen die Modelle E-509.E03 zur Signalauswertung und E-509.E3 als Servo-Controllermodul zur Verfügung.

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Datenblatt

Version / Datum

2026-10-12

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Version / Datum

2026-10-12

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Version / Datum

2026-10-12

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Version / Datum

2026-10-12

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	E-509.C1A / E-509.C2A / E-509.C3A	E-509.S1 / E-509.S3
Funktion	Sensorauswertung- und Positionsregelelektronik für Piezoprodukte	Sensorauswertung- und Positionsregelelektronik für Piezoprodukte
Achsen	1 / 2 / 3	1 / 3

Sensor	E-509.C1A / E-509.C2A / E-509.C3A	E-509.S1 / E-509.S3
Reglertyp	P-I (analog) + Kerbfilter	P-I (analog) + Kerbfilter
Sensortyp	Kapazitiv	DMS
Sensorkanäle	1 / 2 /3	1 / 3
Sensorbandbreite	0,3 kHz bis 3 kHz (mit Jumper einstellbar); bis 10 kHz auf Anfrage	0,3 kHz; 1 kHz; 3 kHz
Rauschfaktor	0,115 ppm/√Hz	—
Thermische Drift	< 0,3 mV/°C	< 3 mV/°C
Linearitätsabweichung	< 0,05 %	< 0,2 %

Schnittstellen und Bedienung	E-509.C1A / E-509.C2A / E-509.C3A	E-509.S1 / E-509.S3
Sensoranschluss	LEMO EPL.00.250.NTD	LEMO ERA.0S.304.CLL
Sensormonitorausgang	0 V bis 10 V	0 V bis 10 V
Sensormonitorbuchse	LEMO 6-polig FGG.0B.306.CLAD56	BNC (1-kanalig) / LEMO 3-polig (3-kanalig)
Unterstützte Funktionen	ILS	ILS
Display und Anzeigen	Overflow LED	Overflow LED

Umgebung	E-509.C1A / E-509.C2A / E-509.C3A	E-509.S1 / E-509.S3
Betriebstemperaturbereich	5 °C bis 50 °C	5 °C bis 50 °C
Abmessungen	7 TE / 3 HE	7 TE / 3 HE
Masse	350 g	350 g
Betriebsspannung	System E-500	System E-500
Max. Leistungsaufnahme	4 W bis 8 W	4 W bis 8 W

Sonderausführungen auf Anfrage.

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Datenblatt

Version / Datum

2026-10-12

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2026-10-12

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2026-10-12

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2026-10-12

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Dokumentation

E-500 / E-501 Serie modularer Piezocontroller: Gehäuse mit Stromversorgung, Verstärkermodule (E-503, E-504, E-505, E-506, E-508), Sensor- und Sensorcontrollermodule (E-509), Display- und Interfacemodule (E-515, E-517).

Version / Datum

2.17.0 2025-08-27

pdf - 4 MB

Englisch

Dokumentation

E-509 Sensor / Servocontrollermodule

Version / Datum

2009-02-20

pdf - 1 MB

Englisch

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