E-509 Sensorauswertung / Regler
Servocontroller-Modul für bis zu 3 Achsen, Piezocontrollersystem E-500
- Positionsregelung für Piezos mit DMS- und kapazitiven Sensoren
- Linearitätsabweichung wird verbessert
- Eliminiert Drift u. Hysterese
- Notchfilter für höhere Bandbreite
- Erhöht die Piezosteifigkeit
- Hervorragende Linearität durch integrierte Linearisierungsfunktion (ILS)
Positionsregelmodul mit Sensorauswerteelektronik
E-509 ist ein Positionsregelmodul mit Sensorauswerteelektronik für Nanopositioniersysteme mit integrierten Positionssensoren. Es eliminiert automatisch Drift bzw. Hysterese, die im spannungsgesteuerten Piezobetrieb auftreten, und gleicht Positionsänderungen des Piezoaktors im Falle eines Lastwechsels durch augenblickliche Anpassung der Piezospannung aus.
Nanometergenaue Piezopositionierung
Der Proportional-Integral-Positionsregler der E-509 Servocontroller-Module ist speziell für den Piezobetrieb optimiert. Sowohl Proportional- und Integralterm als auch die Regelbandbreite können individuell angepasst werden. Die integrierten Notchfilter (achsenselektiv einstellbar) verbessern die Stabilität und ermöglichen einen breitbandigeren Betrieb näher an der mechanischen Resonanzfrequenz des Piezosystems. Abhängig von der angeschlossenen Piezomechanik und von der Sensorart ist dabei eine Positioniergenauigkeit und Wiederholbarkeit im Nanometerbereich möglich.
Für hochauflösende kapazitive Einplattensensoren der Reihe PISeca stehen die Modelle E-509.E03 zur Signalauswertung und E-509.E3 als Servocontroller-Modul zur Verfügung.
Spezifikationen
Spezifikationen
Sensor | E-509.C1A / E-509.C2A / E-509.C3A | E-509.S1 / E-509.S3 |
---|---|---|
Reglertyp | P-I (analog) + Notchfilter | P-I (analog) + Notchfilter |
Sensortyp | Kapazitiv | DMS |
Sensorkanäle | 1 / 2 /3 | 1 / 3 |
Sensorbandbreite | 0,3 bis 3 kHz (m. Jumper einstellbar); bis 10 kHz auf Anfrage | 0,3; 1; 3 kHz |
Rauschfaktor | 0,115 ppm/√Hz | - |
Thermische Drift | <0,3 mV/°C | <3 mV/°C |
Linearitätsabweichung | <0,05 % | <0,2 % |
Schnittstellen und Bedienung | E-509.C1A / E-509.C2A / E-509.C3A | E-509.S1 / E-509.S3 |
---|---|---|
Sensoranschluss | LEMO EPL.00.250.NTD | LEMO ERA.0S.304.CLL |
Sensormonitorausgang | 0 – 10 V | 0 – 10 V |
Sensormonitorbuchse | LEMO 6-pol. FGG.0B.306.CLAD56 | BNC (1-kan.) / 3-pol. LEMO (3-kan.) |
Unterstützte Funktionen | ILS | ILS |
Display und Anzeigen | Overflow LED | Overflow LED |
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ62
E-500 / E-501 Serie modularer Piezocontroller: Gehäuse mit Stromversorgung, Verstärkermodule (E-503, E-504, E-505, E-506, E-508), Sensor- und Sensorcontrollermodule (E-509), Display- und Interfacemodule (E-515, E-517).
Benutzerhandbuch PZ77
E-509 Sensor / Servocontrollermodule
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