E-509 Sensorauswertung / Regler

Servocontroller-Modul für bis zu 3 Achsen, Piezocontrollersystem E-500

  • Positionsregelung für Piezos mit DMS- und kapazitiven Sensoren
  • Linearitätsabweichung wird verbessert
  • Eliminiert Drift u. Hysterese
  • Notchfilter für höhere Bandbreite
  • Erhöht die Piezosteifigkeit
  • Hervorragende Linearität durch integrierte Linearisierungsfunktion (ILS)
E-509 Sensorauswertung / Regler
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Positionsregelmodul mit Sensorauswerteelektronik

E-509 ist ein Positionsregelmodul mit Sensorauswerteelektronik für Nanopositioniersysteme mit integrierten Positionssensoren. Es eliminiert automatisch Drift bzw. Hysterese, die im spannungsgesteuerten Piezobetrieb auftreten, und gleicht Positionsänderungen des Piezoaktors im Falle eines Lastwechsels durch augenblickliche Anpassung der Piezospannung aus.

Nanometergenaue Piezopositionierung

Der Proportional-Integral-Positionsregler der E-509 Servocontroller-Module ist speziell für den Piezobetrieb optimiert. Sowohl Proportional- und Integralterm als auch die Regelbandbreite können individuell angepasst werden. Die integrierten Notchfilter (achsenselektiv einstellbar) verbessern die Stabilität und ermöglichen einen breitbandigeren Betrieb näher an der mechanischen Resonanzfrequenz des Piezosystems. Abhängig von der angeschlossenen Piezomechanik und von der Sensorart ist dabei eine Positioniergenauigkeit und Wiederholbarkeit im Nanometerbereich möglich.

Für hochauflösende kapazitive Einplattensensoren der Reihe PISeca stehen die Modelle E-509.E03 zur Signalauswertung und E-509.E3 als Servocontroller-Modul zur Verfügung.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt E-509

Version / Datum
2018-02-13
pdf - 111 KB
Version / Datum
2018-02-13
pdf - 112 KB
Version / Datum
2018-03-29
pdf - 488 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt E-509

Version / Datum
2018-02-13
pdf - 111 KB
Version / Datum
2018-02-13
pdf - 112 KB
Version / Datum
2018-03-29
pdf - 488 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ62

E-500 / E-501 Serie modularer Piezocontroller: Gehäuse mit Stromversorgung, Verstärkermodule (E-503, E-504, E-505, E-506, E-508), Sensor- und Sensorcontrollermodule (E-509), Display- und Interfacemodule (E-515, E-517).

Version / Datum
2.16.0 2024-04-26
pdf - 3 MB
Englisch
Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ77

E-509 Sensor / Servocontrollermodule

Version / Datum
2009-02-20
pdf - 1 MB
Englisch

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