D-510 PISeca Kapazitive Sensoren

Einelektrodensensoren mit hervorragender Positionsauflösung

Berührungslose Wegmessung
Abstandsmessung auf Absolutwerte
Vibrationsmessung
Hochauflösend im Sub-Nanometer-Bereich
Flexibler Messbereich
Einfach zu integrieren

D-510.021, D-510.051 und D-510.101, Abmessungen in mm. Anschluss: LEMO FFC00.650.CLA.543, triaxial. Die aktive Sensorfläche ist durch den schraffierten Bereich in der Sensormitte gekennzeichnet.

D-510.021: Einfach zu montieren durch LEMO-Steckverbindung

Höchste Genauigkeit und Lebensdauer durch kapazitive Positionssensoren

In Kombination mit der Elektronik zur Signalaufbereitung kann für quasi-statische Anwendungen eine Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich erreicht werden. Für hochdynamische Anwendungen kann die Bandbreite auf bis zu 10 kHz erhöht werden, wobei noch immer eine Auflösung im 1-nm-Bereich erreichbar ist. Die Linearitätsabweichung liegt dabei unter 0,1 %.

Einfache Handhabung und Integration

Alle PISeca-Sensorköpfe sind mit einem LEMO-Stecker versehen, so dass sie einfach montiert und ausgetauscht werden können. Die einheitliche Schaftdicke sorgt für Kompatibilität und Flexibilität. Das Kabel für den Anschluss an die Auswerteelektronik steht in mehreren Varianten zur Verfügung und ist deshalb separat mitzubestellen.

Sonderausführungen / Zweielektroden-Sensoren

Neben den hier aufgeführten Standardsensoren bietet PI eine Reihe von anwendungsspezifischen Sonderausführungen an, die z. B. in Bezug auf Messbereich, Geometrie oder Material an Kundenanforderungen angepasst sind. Auch Sonderausführungen der Elektronik sind verfügbar.

Für allerhöchste Ansprüche an Linearität und Auflösung stehen die Zweielektroden-Sensoren der Serie D-100 zur Verfügung.

Einsatzgebiete

Industrie und Forschung. Halbleiterfertigung und -inspektion. Nanometrologie. Aktive Schwingungsdämpfung. Präzisionsbearbeitung.

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Datenblatt

Version / Datum

2025-03-20

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Version / Datum

2025-03-20

pdf - 406 KB

Version / Datum

2021-01-19

pdf - 372 KB

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Sensor	D-510.021	D-510.051	D-510.101
Temperaturstabilität	—	53 nm/K	—
Sensortyp	Einelektroden, kapazitiv	Einelektroden, kapazitiv	Einelektroden, kapazitiv
Nominaler Messbereich	20 µm	50 µm	100 µm
Linearitätsabweichung im nominalen Messbereich	0,2 %	0,1 %	0,1 %
Kleinster Messabstand im nominalen Messbereich	10 µm	25 µm	50 µm
Größter Messabstand im 5-fach erweiterten Messbereich	150 µm	375 µm	750 µm
Statische Auflösung im nominalen Messbereich, Effektivwert	< 0,001 %	< 0,001 %	< 0,001 %
Dynamische Auflösung im nominalen Messbereich, Effektivwert	0,002 %	0,002 %	0,002 %
Aktive Sensorfläche	11,2 mm²	27,9 mm²	56,1 mm²
Anschlüsse und Umgebung	D-510.021	D-510.051	D-510.101
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 100 °C	-20 bis 100 °C	-20 bis 100 °C
Gesamtmasse	8 g	10 g	16 g
Geeignetes Anschlusskabel	D-891.01E, D-891.02E, D-891.01A, D-891.02A	D-891.01E, D-891.02E, D-891.01A, D-891.02A	D-891.01E, D-891.02E, D-891.01A, D-891.02A
Material	Edelstahl	Edelstahl	Edelstahl
Empfohlene Auswerteelektronik	E-852.10, E-852.10A1, E-711.SE3	E-852.10, E-852.10A1, E-711.SE3	E-852.10, E-852.10A1, E-711.SE3

Nominaler Messbereich und Messabstände: Mit E-852.10 sind erweiterte Messbereiche verfügbar, jeweils zwei Messbereiche werden kalibriert. Erweiterungsfaktoren: 1, 2, 2,5, 5.

Statische Auflösung: Bandbreite 10 Hz mit E-852 Auswerteelektronik.

Dynamische Auflösung: Bandbreite 10 kHz mit E-852 Auswerteelektronik.

Toleranzen:

Linearitätsabweichung im nominalen Messbereich: max.

Dynamische Auflösung im nominalen Messbereich, Effektivwert: max.

Gesamtmasse: ±5 %

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Datenblatt

Version / Datum

2025-03-20

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