D-510 PISeca Kapazitive Sensoren
Einelektrodensensoren mit hervorragender Positionsauflösung
- Berührungslose Wegmessung
- Abstandsmessung auf Absolutwerte
- Vibrationsmessung
- Hochauflösend im Sub-Nanometer-Bereich
- Flexibler Messbereich
- Einfach zu integrieren
Höchste Genauigkeit und Lebensdauer durch kapazitive Positionssensoren
In Kombination mit der Elektronik zur Signalaufbereitung kann für quasi-statische Anwendungen eine Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich erreicht werden. Für hochdynamische Anwendungen kann die Bandbreite auf bis zu 10 kHz erhöht werden, wobei noch immer eine Auflösung im 1 nm-Bereich erreichbar ist. Die Linearitätsabweichung liegt dabei unter 0,1%.
Einfache Handhabung und Integration
Alle PISeca-Sensorköpfe sind mit einem LEMO-Stecker versehen, so dass sie einfach montiert und ausgetauscht werden können. Die einheitliche Schaftdicke sorgt für Kompatibilität und Flexibilität. Das Kabel für den Anschluss an die Auswerteelektronik steht in mehreren Varianten zur Verfügung und ist deshalb separat mitzubestellen.
Sonderausführungen / Zweielektroden-Sensoren
Neben den hier aufgeführten Standardsensoren bietet PI eine Reihe von anwendungsspezifischen Sonderausführungen an, die z. B. in Bezug auf Messbereich, Geometrie oder Material an Kundenanforderungen angepasst sind. Auch Sonderausführungen der Elektronik sind verfügbar.
Für allerhöchste Ansprüche an Linearität und Auflösung stehen die Zweielektroden-Sensoren der Serie D-100 zur Verfügung.
Einsatzgebiete
Industrie und Forschung. Halbleiterfertigung und -inspektion. Nanometrologie. Aktive Schwingungsdämpfung. Präzisionsbearbeitung.
Spezifikationen
Spezifikationen
Messgenauigkeit | D-510.021 | D-510.051 | D-510.101 |
---|---|---|---|
Nominaler Messbereich* | 20 µm | 50 µm | 100 µm |
Kleinster Messabstand im nominalen Messbereich* | 10 µm | 25 µm | 50 µm |
Größter Messabstand im 5-fach erweiterten Messbereich* | 150 µm | 375 µm | 750 µm |
Statische Auflösung** | <0,001 % des Messbereichs (RMS) | <0,001 % des Messbereichs (RMS) | <0,001 % des Messbereichs (RMS) |
Dynamische Auflösung** | <0,002 % des Messbereichs (RMS) | <0,002 % des Messbereichs (RMS) | <0,002 % des Messbereichs (RMS) |
Linearitätsabweichung*** | <0,2 % | <0,1 % | <0,1 % |
Umgebung | D-510.021 | D-510.051 | D-510.101 |
---|---|---|---|
Betriebstemperaturbereich | -20 bis 100 °C | -20 bis 100 °C | -20 bis 100 °C |
Material | Edelstahl | Edelstahl | Edelstahl |
Masse | 8 g (±5 %) | 10 g (±5 %) | 16 g (±5 %) |
Geeignetes Anschlusskabel | D-891.01x, D-891.02x | D-891.01x, D-891.02x | D-891.01x, D-891.02x |
Empfohlene Elektroniken | E-852.10, E-852.10A1, E-711.SE3, E-509, E-509.E03, E-509.E3 | E-852.10, E-852.10A1, E-711.SE3, E-509.E03, E-509.E3 | E-852.10, E-852.10A1, E-711.SE3, E-509, E-509.E03, E-509.E3 |
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch D510T0001
D-510 PISeca kapazitiver 1-Elektroden-Sensor
3-D-Modelle
D-510 STEP
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