|
Aktive Achsen
|
X ǀ Y
|
|
|
Stellweg in X
|
100 µm
|
|
|
Stellweg in Y
|
100 µm
|
|
|
Stellweg in X, ungeregelt, bei -20 bis 120 V
|
130 µm
|
+20 / -0 %
|
|
Stellweg in Y, ungeregelt, bei -20 bis 120 V
|
130 µm
|
+20 / -0 %
|
|
Linearitätsabweichung
|
0,4 %
|
typ.
|
|
Winkelabweichung E_AY (Nicken)
|
± 10 µrad
|
typ.
|
|
Winkelabweichung E_BX (Nicken)
|
± 10 µrad
|
typ.
|
|
Winkelabweichung E_CX (Gieren)
|
± 10 µrad
|
typ.
|
|
Winkelabweichung E_CY (Gieren)
|
± 50 µrad
|
typ.
|
|
Positionieren
|
P-612.2SL
|
Toleranz
|
|
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X
|
± 10 nm
|
typ.
|
|
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y
|
± 10 nm
|
typ.
|
|
Auflösung in X, ungeregelt
|
0,8 nm
|
typ.
|
|
Auflösung in Y, ungeregelt
|
0,8 nm
|
typ.
|
|
Integrierter Sensor
|
DMS, indirekte Positionsmessung
|
|
|
Systemauflösung in X
|
5 nm
|
|
|
Systemauflösung in Y
|
5 nm
|
|
|
Antriebseigenschaften
|
P-612.2SL
|
Toleranz
|
|
Antriebstyp
|
PICMA®
|
|
|
Elektrische Kapazität
|
1,5 µF
|
±20 %
|
|
Mechanische Eigenschaften
|
P-612.2SL
|
Toleranz
|
|
Steifigkeit in X
|
0,15 N/µm
|
±20 %
|
|
Steifigkeit in Y
|
0,15 N/µm
|
±20 %
|
|
Resonanzfrequenz in X, unbelastet
|
400 Hz
|
±20 %
|
|
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 100 g
|
200 Hz
|
±20 %
|
|
Resonanzfrequenz in Y, unbelastet
|
400 Hz
|
±20 %
|
|
Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 100 g
|
200 Hz
|
±20 %
|
|
Zulässige Druckkraft in X
|
15 N
|
max.
|
|
Zulässige Druckkraft in Y
|
15 N
|
max.
|
|
Zulässige Druckkraft in Z
|
15 N
|
max.
|
|
Zulässige Zugkraft in X
|
5 N
|
max.
|
|
Zulässige Zugkraft in Y
|
5 N
|
max.
|
|
Führung
|
Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung
|
|
|
Gesamtmasse
|
150 g
|
±5 %
|
|
Material
| Aluminium, Stahl |
|
|
Anschlüsse und Umgebung
|
P-612.2SL
|
Toleranz
|
|
Betriebstemperaturbereich
|
-20 bis 80 °C
|
|
|
Anschluss
|
LEMO FFA.00.250.CTAC22
|
|
|
Sensoranschluss
|
LEMO FFA.0S.304.CLAC32
|
|
|
Kabellänge
|
1,5 m
|
±10 mm
|
|
Empfohlene Controller / Treiber
| E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665 |
|
