Piezohubtisch; 100 µm Stellweg; DMS, indirekte Positionsmessung; LEMO-Stecker; 1,5 m Kabellänge
P-612.Z Piezohubtisch
Kompakter Nanopositionierer mit Apertur
- Stellweg 100 µm
- Auflösung bis 0,2 nm
- Linearitätsabweichung 0,2 %
- Kompakt: Grundfläche 60 mm × 60 mm
- Besonders kostengünstige Systeme (Mechanik und Controller)
- Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Einsatzgebiete
- Interferometrie
- Mikroskopie
- Nanopositionierung
- Biotechnologie
- Prüfverfahren und Qualitätssicherung
- Halbleitertechnik
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen | P-612.ZSL | Toleranz |
---|---|---|
Aktive Achsen | Z | |
Stellweg in Z | 100 µm | |
Stellweg in Z, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 110 µm | +20 / -0 % |
Linearitätsabweichung in Z | 0,2 % | typ. |
Ebenheit (Lineares Übersprechen in X bei Bewegung in Z) | ± 20 nm | typ. |
Geradheit (Lineares Übersprechen in Y bei Bewegung in Z) | ± 20 nm | typ. |
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Z) | ± 10 µrad | typ. |
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z) | ± 10 µrad | typ. |
Positionieren | P-612.ZSL | Toleranz |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | ± 4 nm | typ. |
Auflösung in Z, ungeregelt | 0,2 nm | typ. |
Integrierter Sensor | DMS, indirekte Positionsmessung | |
Systemauflösung in Z | 1,5 nm | |
Antriebseigenschaften | P-612.ZSL | Toleranz |
Antriebstyp | PICMA® | |
Elektrische Kapazität in Z | 3 µF | ±20 % |
Mechanische Eigenschaften | P-612.ZSL | Toleranz |
Steifigkeit in Z | 0,63 N/µm | ±20 % |
Resonanzfrequenz in Z, unbelastet | 490 Hz | ±20 % |
Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 30 g | 420 Hz | ±20 % |
Zulässige Druckkraft in Z | 15 N | max. |
Zulässige Zugkraft in Z | 10 N | max. |
Führung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | |
Gesamtmasse | 280 g | ±5 % |
Material | Aluminium | |
Anschlüsse und Umgebung | P-612.ZSL | Toleranz |
Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 °C | |
Anschluss | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | |
Sensoranschluss | LEMO FFA.0S.304.CLAC32 | |
Kabellänge | 1,5 m | ±10 mm |
Empfohlene Controller / Treiber | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-665 |
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Downloads
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ280
P-612 XY-Nanopositioniersysteme und Nanopositionier-Hubtische
3-D-Modelle
P-612.ZSL 3-D-Modell
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