P-518.TCD
Piezo-Hub- und Kipptisch; 100 µm Stellweg; 1 mrad × 1 mrad Rotationswinkel (θX × θY); Kapazitiv, indirekte Positionsmessung; D-Sub 25W3 (m); 1,5 m Kabellänge
P-518 • P-528 Piezo-Hub- und Kipptisch
Hochdynamisch, mit großer Apertur
- Hub- und Kipptische mit 3 Achsen / Hubtische mit 1 Achse
- Stellweg in Z / Kippwinkel bis 200 µm / 2 mrad geregelt (bis 240 µm / 2,4 mrad ungeregelt)
- Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
- Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- Freie Apertur 66 mm × 66 mm
- Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
Hub- und Kipptisch P-518 • P-528, Abmessungen in mm
Hubtisch P-518 • P-528, Abmessungen in mm
P-518 • P-528 Piezo-Hub- und Kipptisch
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Einsatzgebiete
- Messtechnik
- Interferometrie
- Photonik / integrierte Optik
- Lithografie
- Nanopositionierung
- Scanning-Mikroskopie
- Probenausrichtung
- Mikrobearbeitung
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch
Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.
Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung
Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh. von der Bandbreite) ausgeregelt werden (aktive Führung). Auch im dynamischen Betrieb wird damit eine hohe Bahntreue im Nanometerbereich erreicht.
Spezifikationen
Spezifikationen
| Bewegen | P-518.TCD | P-518.ZCD | P-518.ZCL | P-528.TCD | P-528.ZCD | P-528.ZCL | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | Z θX θY | Z | Z | Z θX θY | Z | Z | |
| Stellweg in Z | 100 µm | 100 µm | 100 µm | 200 µm | 200 µm | 200 µm | |
| Stellweg in Z, ungeregelt | 140 µm | 140 µm | 140 µm | 240 µm | 240 µm | 240 µm | ±20 % |
| Rotationsbereich in θX | 1 mrad | 2 mrad | |||||
| Rotationsbereich in θY | 1 mrad | 2 mrad | |||||
| Rotationsbereich in θX, ungeregelt | 1,4 mrad | 2,4 mrad | ±20 % | ||||
| Rotationsbereich in θY, ungeregelt | 1,4 mrad | 2,4 mrad | ±20 % | ||||
| Linearitätsabweichung in Z | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | typ. |
| Linearitätsabweichung in θX | 0,15 % | 0,15 % | typ. | ||||
| Linearitätsabweichung in θY | 0,15 % | 0,15 % | typ. | ||||
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Z) | ± 25 µrad | ± 25 µrad | ± 25 µrad | ± 50 µrad | ± 50 µrad | ± 50 µrad | max. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z) | ± 25 µrad | ± 25 µrad | ± 25 µrad | ± 50 µrad | ± 50 µrad | ± 50 µrad | max. |
| Rollen (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Z) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | max. |
| Positionieren | P-518.TCD | P-518.ZCD | P-518.ZCL | P-528.TCD | P-528.ZCD | P-528.ZCL | Toleranz |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | 5 nm | 5 nm | 5 nm | 10 nm | 10 nm | 10 nm | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in θX | 0,05 µrad | 0,1 µrad | typ. | ||||
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in θY | 0,05 µrad | 0,1 µrad | typ. | ||||
| Auflösung in Z, ungeregelt | 0,4 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,6 nm | 0,6 nm | 0,6 nm | typ. |
| Auflösung in θX, ungeregelt | 0,04 µrad | 0,06 µrad | typ. | ||||
| Auflösung in θY, ungeregelt | 0,04 µrad | 0,06 µrad | typ. | ||||
| Integrierter Sensor | Kapazitiv, indirekte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, indirekte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | |
| Systemauflösung in Z | 0,8 nm | 0,8 nm | 0,8 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm | |
| Systemauflösung in θX | 0,05 µrad | 0,1 µrad | |||||
| Systemauflösung in θY | 0,05 µrad | 0,1 µrad | |||||
| Antriebseigenschaften | P-518.TCD | P-518.ZCD | P-518.ZCL | P-528.TCD | P-528.ZCD | P-528.ZCL | Toleranz |
| Antriebstyp | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | |
| Elektrische Kapazität in Z | 2,1 µF | 8,4 µF | 8,4 µF | 3,7 µF | 14,8 µF | 14,8 µF | ±20 % |
| Mechanische Eigenschaften | P-518.TCD | P-518.ZCD | P-518.ZCL | P-528.TCD | P-528.ZCD | P-528.ZCL | Toleranz |
| Steifigkeit in Z | 2,7 N/µm | 2,7 N/µm | 2,7 N/µm | 1,5 N/µm | 1,5 N/µm | 1,5 N/µm | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, unbelastet | 500 Hz | 500 Hz | 500 Hz | 350 Hz | 350 Hz | 350 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 500 g | 350 Hz | 350 Hz | 350 Hz | 210 Hz | 210 Hz | 210 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 2500 g | 200 Hz | 200 Hz | 200 Hz | 130 Hz | 130 Hz | 130 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in θX, unbelastet | 530 Hz | 390 Hz | ±20 % | ||||
| Resonanzfrequenz in θX, belastet mit 500 g | 370 Hz | 250 Hz | ±20 % | ||||
| Resonanzfrequenz in θX, belastet mit 2500 g | 190 Hz | 115 Hz | ±20 % | ||||
| Resonanzfrequenz in θY, unbelastet | 530 Hz | 390 Hz | ±20 % | ||||
| Resonanzfrequenz in θY, belastet mit 500 g | 370 Hz | 250 Hz | ±20 % | ||||
| Resonanzfrequenz in θY, belastet mit 2500 g | 190 Hz | 115 Hz | ±20 % | ||||
| Zulässige Druckkraft in Z | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Z | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | max. |
| Führung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | |
| Gesamtmasse | 1400 g | 1400 g | 1400 g | 1420 g | 1420 g | 1420 g | |
| Material | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | Aluminium | |
| Anschlüsse und Umgebung | P-518.TCD | P-518.ZCD | P-518.ZCL | P-528.TCD | P-528.ZCD | P-528.ZCL | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | |
| Anschluss | D-Sub 25W3 (m) | D-Sub 7W2 (m) | LEMO LVPZT | D-Sub 25W3 (m) | D-Sub 7W2 (m) | LEMO LVPZT | |
| Kabellänge | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | |
| Empfohlene Controller / Treiber | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754 |
Zulässige Druck-/Zugkraft in Z: Bei horizontaler Einbaulage (auf Oberfläche stehend, nicht hängend).
Elektrische Kapazität: Angabe pro Kanal (siehe Pinbelegung im Benutzerhandbuch).
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).
Downloads
Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Technical Note P500T0002
Unpacking and Packing P-5xx Positioners
Version / Datum
2019-03-04
pdf - 448 KB
Englisch
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ82
P-517, P-518, P-527, P-528, P-558 Präzise Piezo-Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
Version / Datum
3.3.0 2024-07-22
pdf - 2 MB
Version / Datum
3.3.0 2024-07-22
pdf - 2 MB
3-D-Modelle
3-D-Modelle
P-5x8 3D-Modell
zip - 338 KB
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P-518.ZCD
Piezo-Hub- und Kipptisch; 100 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge
P-518.ZCL
Piezo-Hub- und Kipptisch; 100 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge
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Piezo-Hub- und Kipptisch; 200 µm Stellweg; 2 mrad × 2 mrad Rotationswinkel (θX × θY); Kapazitiv, indirekte Positionsmessung; D-Sub 25W3 (m); 1,5 m Kabellänge
P-528.ZCD
Piezo-Hub- und Kipptisch; 200 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge
P-528.ZCL
Piezo-Hub- und Kipptisch; 200 µm Stellweg; Kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO LVPZT; 1,5 m Kabellänge
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