Piezohubtisch; 120 µm Stellweg (ungeregelt); LEMO-Stecker; 1,5 m Kabellänge
P-611.Z Piezohubtisch
Kompakter Nanopositionierer
- Kompakt: Grundfläche nur 44 mm × 44 mm
- Stellweg 100 µm
- Auflösung bis 0,2 nm
- Besonders kostengünstige Systeme (Mechanik und Controller)
- Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- X-, XY-, XZ- und XYZ-Versionen
Einsatzgebiete
- Mikrobearbeitung
- Photonik
- Faserpositionierung
- Prüfverfahren und Qualitätssicherung
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Spezifikationen
Spezifikationen
| Bewegen | P-611.Z0 | P-611.ZS | Toleranz |
|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | Z | Z | |
| Stellweg in Z | — | 100 µm | |
| Stellweg in Z, ungeregelt | 120 µm | 120 µm | ±20 % |
| Linearitätsabweichung in Z | — | 0,1 % | typ. |
| Winkelabweichung um X | ± 20 µrad | ± 20 µrad | typ. |
| Winkelabweichung um Y | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Winkelabweichung um Z | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Bandbreite, 10-%-Schritt in Z | 40 Hz | 40 Hz | |
| Positionieren | P-611.Z0 | P-611.ZS | Toleranz |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | — | 5 nm | typ. |
| Auflösung in Z, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | typ. |
| Integrierter Sensor | — | DMS, indirekte Positionsmessung | |
| Systemauflösung in Z | — | 2 nm | |
| Einschwingzeit für 10-%-Schritt in Z | 25 ms | 25 ms | |
| Antriebseigenschaften | P-611.Z0 | P-611.ZS | Toleranz |
| Antriebstyp | PICMA® | PICMA® | |
| Elektrische Kapazität in Z | 1,5 µF | 1,5 µF | ±20 % |
| Mechanische Eigenschaften | P-611.Z0 | P-611.ZS | Toleranz |
| Steifigkeit in Z | 0,45 N/µm | 0,45 N/µm | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, unbelastet | 460 Hz | 460 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 30 g | 375 Hz | 375 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 100 g | 265 Hz | 265 Hz | ±20 % |
| Zulässige Druckkraft in Z | 15 N | 15 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Z | 10 N | 10 N | max. |
| Führung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | |
| Gesamtmasse | 176 g | 176 g | |
| Material | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | |
| Anschlüsse und Umgebung | P-611.Z0 | P-611.ZS | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | |
| Anschluss | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | |
| Sensoranschluss | — | LEMO FFA.0S.304.CLAC32 | |
| Kabellänge | 1,5 m | 1,5 m | |
| Empfohlene Controller/Treiber | E-610, E-625, E-665, E-836 | E-610, E-625, E-665, E-709.SRG, E-836 |
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Systemeigenschaften
Systemkonfiguration: P-611.ZS und E-665.SR Controller mit 30 g Last
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ253
P-611 Nanopositioniersysteme mit DMS-Sensor / ohne Sensor
Auspackanweisung P611T0006
Auspacken und Handhabung von P-611 Positionierern
3-D-Modelle
P-611.Z 3D-Modell
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