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Aktive Achsen
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Z
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Z
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Stellweg in Z, ungeregelt
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120 µm
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120 µm
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±20 %
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Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Z)
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± 20 µrad
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± 20 µrad
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typ.
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Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z)
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± 5 µrad
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± 5 µrad
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typ.
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Rollen (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Z)
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± 5 µrad
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± 5 µrad
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typ.
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Bandbreite, 10%-Schritt in Z
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40 Hz
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40 Hz
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Stellweg in Z
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100 µm
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Linearitätsabweichung in Z
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0,1 %
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typ.
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Positionieren
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P-611.Z0
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P-611.ZS
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Toleranz
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Auflösung in Z, ungeregelt
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0,2 nm
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0,2 nm
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typ.
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Einschwingzeit für 10-%-Schritt in Z
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25 ms
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25 ms
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Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z
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5 nm
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typ.
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Integrierter Sensor
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DMS, indirekte Positionsmessung
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Systemauflösung in Z
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2 nm
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Antriebseigenschaften
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P-611.Z0
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P-611.ZS
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Toleranz
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Antriebstyp
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PICMA®
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PICMA®
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Elektrische Kapazität in Z
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1,5 µF
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1,5 µF
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±20 %
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Mechanische Eigenschaften
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P-611.Z0
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P-611.ZS
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Toleranz
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Steifigkeit in Z
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0,45 N/µm
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0,45 N/µm
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±20 %
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Resonanzfrequenz in Z, unbelastet
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460 Hz
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460 Hz
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±20 %
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Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 30 g
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375 Hz
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375 Hz
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±20 %
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Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 100 g
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265 Hz
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265 Hz
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±20 %
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Zulässige Druckkraft in Z
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15 N
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15 N
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max.
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Zulässige Zugkraft in Z
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10 N
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10 N
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max.
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Führung
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Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung
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Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung
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Gesamtmasse
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176 g
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176 g
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Material
| Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl |
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Anschlüsse und Umgebung
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P-611.Z0
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P-611.ZS
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Toleranz
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Betriebstemperaturbereich
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-20 bis 80 °C
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-20 bis 80 °C
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Anschluss
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LEMO FFS.00.250.CTCE24
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LEMO FFS.00.250.CTCE24
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Kabellänge
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1,5 m
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1,5 m
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Empfohlene Controller / Treiber
| E-610, E-625, E-665, E-836 | E-610, E-625, E-665, E-709.SRG, E-836 |
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Sensoranschluss
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LEMO FFA.0S.304.CLAC32
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