P-611.3O
NanoCube® XYZ-Nanopositionierer; 120 µm × 120 µm × 120 µm Stellweg (ungeregelt) (X × Y × Z); ohne Sensor; D-Sub 25 (m)-Stecker; 1,5 m Kabellänge
P-611.3 NanoCube® XYZ-Nanopositionierer
Kompakter mehrachsiger Piezopositionierer für die Nanopositionierung und Faserjustage
- Stellweg bis 120 µm × 120 µm × 120 µm
- Ultrakompakt: 44 mm × 44 mm × 44 mm
- Auflösung bis 0,2 nm
- Schnelles Ansprechverhalten
- Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- Für schnelles Scannen
- Version mit integriertem Faserhalter
- Besonders kostengünstige Systeme
P-611.3 NanoCube® XYZ-Nanopositionierer
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Einsatzgebiete
- Photonik / integrierte Optik
- Mikromanipulation
- Biotechnologie
- Halbleitertests
- Faserpositionierung
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Spezifikationen
Spezifikationen
Wählen Sie einen Stellweg:
| Bewegen | P-611.3O | P-611.3OF | P-611.3S | P-611.3SF | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X ǀ Y ǀ Z | X ǀ Y ǀ Z | X ǀ Y ǀ Z | X ǀ Y ǀ Z | |
| Stellweg in X | — | — | 100 µm | 100 µm | |
| Stellweg in Y | — | — | 100 µm | 100 µm | |
| Stellweg in Z | — | — | 100 µm | 100 µm | |
| Stellweg in X, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 120 µm | 120 µm | 120 µm | 120 µm | +20 % / -0 % |
| Stellweg in Y, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 120 µm | 120 µm | 120 µm | 120 µm | +20 % / -0 % |
| Stellweg in Z, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 120 µm | 120 µm | 120 µm | 120 µm | +20 % / -0 % |
| Linearitätsabweichung | — | — | 0,1 % | 0,1 % | typ. |
| Winkelabweichung E_AY (Nicken) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Winkelabweichung E_AZ | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Winkelabweichung E_BX (Nicken) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Winkelabweichung E_BZ | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Winkelabweichung E_CX (Gieren) | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | typ. |
| Winkelabweichung E_CY (Gieren) | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Positionieren | P-611.3O | P-611.3OF | P-611.3S | P-611.3SF | Toleranz |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | — | — | ± 10 nm | ± 10 nm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | — | — | ± 10 nm | ± 10 nm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | — | — | ± 10 nm | ± 10 nm | typ. |
| Auflösung in X, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | typ. |
| Auflösung in Y, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | typ. |
| Auflösung in Z, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | typ. |
| Integrierter Sensor | — | — | DMS, direkte Positionsmessung | DMS, direkte Positionsmessung | |
| Systemauflösung in X | — | — | 1 nm | 1 nm | |
| Systemauflösung in Y | — | — | 1 nm | 1 nm | |
| Systemauflösung in Z | — | — | 1 nm | 1 nm | |
| Antriebseigenschaften | P-611.3O | P-611.3OF | P-611.3S | P-611.3SF | Toleranz |
| Antriebstyp | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | |
| Elektrische Kapazität | 1,5 µF | 1,5 µF | 1,5 µF | 1,5 µF | ±20 % |
| Mechanische Eigenschaften | P-611.3O | P-611.3OF | P-611.3S | P-611.3SF | Toleranz |
| Steifigkeit | 0,3 N/µm | 0,3 N/µm | 0,3 N/µm | 0,3 N/µm | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, unbelastet | 350 Hz | 350 Hz | 350 Hz | 350 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 30 g | 270 Hz | 270 Hz | 270 Hz | 270 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 100 g | 180 Hz | 180 Hz | 180 Hz | 180 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, unbelastet | 220 Hz | 220 Hz | 220 Hz | 220 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 30 g | 185 Hz | 185 Hz | 185 Hz | 185 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 100 g | 135 Hz | 135 Hz | 135 Hz | 135 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, unbelastet | 250 Hz | 250 Hz | 250 Hz | 250 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 30 g | 230 Hz | 230 Hz | 230 Hz | 230 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 100 g | 200 Hz | 200 Hz | 200 Hz | 200 Hz | ±20 % |
| Zulässige Druckkraft in X | 15 N | 15 N | 15 N | 15 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Y | 15 N | 15 N | 15 N | 15 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 15 N | 15 N | 15 N | 15 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in X | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Y | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Z | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Führung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | |
| Gesamtmasse | 320 g | 320 g | 320 g | 320 g | ±5 % |
| Material | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | |
| Anschlüsse und Umgebung | P-611.3O | P-611.3OF | P-611.3S | P-611.3SF | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | |
| Anschluss | D-Sub 25 (m) | D-Sub 25 (m) | D-Sub 25 (m) | D-Sub 25 (m) | |
| Sensoranschluss | — | — | D-Sub 25 (m) | D-Sub 25 (m) | |
| Kabellänge | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | ±10 mm |
| Empfohlene Controller/Treiber | E-503, E-505, E-663, E-664, E-727 | E-503, E-505, E-663, E-664, E-727 | E-503, E-505, E-663, E-664, E-727 | E-503, E-505, E-663, E-664, E-727 |
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Adapterkabel mit LEMO-Steckern für Sensoren und Betriebsspannung erhältlich.
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
Downloads
Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ253
P-611 Nanopositioniersysteme mit DMS-Sensor / ohne Sensor
Version / Datum
1.2.2 2022-08-24
pdf - 3 MB
Version / Datum
1.2.2 2022-08-24
pdf - 3 MB
Dokumentation
Auspackanweisung P611T0006
Auspacken und Handhabung von P-611 Positionierern
Version / Datum
2018-01-24
pdf - 768 KB
Englisch
3-D-Modelle
3-D-Modelle
P-611.3x 3D-Modell
zip - 187 KB
Angebot / Bestellung
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P-611.3OF
NanoCube® XYZ-Nanopositionierer; 120 µm × 120 µm × 120 µm Stellweg (ungeregelt) (X × Y × Z); ohne Sensor; integrierter Faserhalter; D-Sub 25 (m)-Stecker; 1,5 m Kabellänge
P-611.3S
NanoCube® XYZ-Nanopositionierer; 100 µm × 100 µm × 100 µm Stellweg (X × Y × Z); DMS, direkte Positionsmessung; D-Sub 25 (m)-Stecker; 1,5 m Kabellänge
P-611.3SF
NanoCube® XYZ-Nanopositionierer; 100 µm × 100 µm × 100 µm Stellweg (X × Y × Z); DMS, direkte Positionsmessung; integrierter Faserhalter; D-Sub 25 (m)-Stecker; 1,5 m Kabellänge
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