P-611.3O
NanoCube® XYZ-Nanopositionierer; 120 µm × 120 µm × 120 µm Stellweg (ungeregelt) (X × Y × Z); ohne Sensor; D-Sub 25 (m)-Stecker; 1,5 m Kabellänge
P-611.3 NanoCube® XYZ-Nanopositionierer
Kompakter mehrachsiger Piezopositionierer für die Nanopositionierung und Faserjustage
- Stellweg bis 120 µm × 120 µm × 120 µm
- Ultrakompakt: 44 mm × 44 mm × 44 mm
- Auflösung bis 0,2 nm
- Schnelles Ansprechverhalten
- Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- Für schnelles Scannen
- Version mit integriertem Faserhalter
- Besonders kostengünstige Systeme
P-611.3 NanoCube® XYZ-Nanopositionierer
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Einsatzgebiete
- Photonik / integrierte Optik
- Mikromanipulation
- Biotechnologie
- Halbleitertests
- Faserpositionierung
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Spezifikationen
Spezifikationen
| Bewegen | P-611.3O | P-611.3OF | P-611.3S | P-611.3SF | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X Y Z | X Y Z | X Y Z | X Y Z | |
| Stellweg in X, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 120 µm | 120 µm | 120 µm | 120 µm | +20 / -0 % |
| Stellweg in Y, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 120 µm | 120 µm | 120 µm | 120 µm | +20 / -0 % |
| Stellweg in Z, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 120 µm | 120 µm | 120 µm | 120 µm | +20 / -0 % |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Y) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Z) | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z) | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X) | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Y) | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Stellweg in X | 100 µm | 100 µm | |||
| Stellweg in Y | 100 µm | 100 µm | |||
| Stellweg in Z | 100 µm | 100 µm | |||
| Linearitätsabweichung | 0,1 % | 0,1 % | typ. | ||
| Positionieren | P-611.3O | P-611.3OF | P-611.3S | P-611.3SF | Toleranz |
| Auflösung in X, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | typ. |
| Auflösung in Y, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | typ. |
| Auflösung in Z, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 10 nm | ± 10 nm | typ. | ||
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | ± 10 nm | ± 10 nm | typ. | ||
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | ± 10 nm | ± 10 nm | typ. | ||
| Integrierter Sensor | DMS, direkte Positionsmessung | DMS, direkte Positionsmessung | |||
| Systemauflösung in X | 1 nm | 1 nm | |||
| Systemauflösung in Y | 1 nm | 1 nm | |||
| Systemauflösung in Z | 1 nm | 1 nm | |||
| Antriebseigenschaften | P-611.3O | P-611.3OF | P-611.3S | P-611.3SF | Toleranz |
| Antriebstyp | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | |
| Elektrische Kapazität | 1,5 µF | 1,5 µF | 1,5 µF | 1,5 µF | ±20 % |
| Mechanische Eigenschaften | P-611.3O | P-611.3OF | P-611.3S | P-611.3SF | Toleranz |
| Steifigkeit | 0,3 N/µm | 0,3 N/µm | 0,3 N/µm | 0,3 N/µm | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, unbelastet | 350 Hz | 350 Hz | 350 Hz | 350 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 30 g | 270 Hz | 270 Hz | 270 Hz | 270 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 100 g | 180 Hz | 180 Hz | 180 Hz | 180 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, unbelastet | 220 Hz | 220 Hz | 220 Hz | 220 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 30 g | 185 Hz | 185 Hz | 185 Hz | 185 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 100 g | 135 Hz | 135 Hz | 135 Hz | 135 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, unbelastet | 250 Hz | 250 Hz | 250 Hz | 250 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 30 g | 230 Hz | 230 Hz | 230 Hz | 230 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 100 g | 200 Hz | 200 Hz | 200 Hz | 200 Hz | ±20 % |
| Zulässige Druckkraft in X | 15 N | 15 N | 15 N | 15 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Y | 15 N | 15 N | 15 N | 15 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 15 N | 15 N | 15 N | 15 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in X | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Y | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Z | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Führung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | |
| Gesamtmasse | 320 g | 320 g | 320 g | 320 g | ±5 % |
| Material | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | |
| Anschlüsse und Umgebung | P-611.3O | P-611.3OF | P-611.3S | P-611.3SF | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | |
| Anschluss | D-Sub 25-polig (m) | D-Sub 25-polig (m) | D-Sub 25-polig (m) | D-Sub 25-polig (m) | |
| Kabellänge | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | ±10 mm |
| Empfohlene Controller / Treiber | E-503, E-505, E-663, E-664, E-727 | E-503, E-505, E-663, E-664, E-727 | E-503, E-505, E-663, E-664, E-727 | E-503, E-505, E-663, E-664, E-727 | |
| Sensoranschluss | D-Sub 25-polig (m) | D-Sub 25-polig (m) |
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Adapterkabel mit LEMO-Steckern für Sensoren und Betriebsspannung erhältlich.
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Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ253
P-611 Nanopositioniersysteme mit DMS-Sensor / ohne Sensor
Version / Datum
1.2.2 2022-08-24
pdf - 3 MB
Version / Datum
1.2.2 2022-08-24
pdf - 3 MB
Dokumentation
Auspackanweisung P611T0006
Auspacken und Handhabung von P-611 Positionierern
Version / Datum
2018-01-24
pdf - 768 KB
Englisch
3-D-Modelle
3-D-Modelle
P-611.3x 3D-Modell
zip - 187 KB
Angebot / Bestellung
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P-611.3OF
NanoCube® XYZ-Nanopositionierer; 120 µm × 120 µm × 120 µm Stellweg (ungeregelt) (X × Y × Z); ohne Sensor; integrierter Faserhalter; D-Sub 25 (m)-Stecker; 1,5 m Kabellänge
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NanoCube® XYZ-Nanopositionierer; 100 µm × 100 µm × 100 µm Stellweg (X × Y × Z); DMS, direkte Positionsmessung; D-Sub 25 (m)-Stecker; 1,5 m Kabellänge
P-611.3SF
NanoCube® XYZ-Nanopositionierer; 100 µm × 100 µm × 100 µm Stellweg (X × Y × Z); DMS, direkte Positionsmessung; integrierter Faserhalter; D-Sub 25 (m)-Stecker; 1,5 m Kabellänge
