P-616.3C
Parallelkinematischer NanoCube® Nanopositionierer; 100 µm × 100 µm × 100 µm Stellweg (X × Y × Z); kapazitiv, direkte Positionsmessung; D-Sub 25W3 (m); 1,5 m Kabellänge
P-616 NanoCube® Nanopositionierer
Kompakter parallelkinematischer Nanopositionierer für Faserjustage und Scanning-Mikroskopie
- Parallelkinematisches Design für höchste Steifigkeiten in allen Raumrichtungen
- Hochdynamische Bewegungen mit Lasten bis zu 100 g durch hohe Resonanzfrequenzen
- Innovatives Produktdesign durch eine einzige, flexibel einsetzbare Montageplattform
- Einziger auf dem Markt verfügbarer Nanopositionierer mit ID-Chip-Funktionalität
- Kleinster und leichtester NanoCube® am Markt mit 100 µm Stellweg
P-616.3C, Abmessungen in mm.
P-616 NanoCube® Nanopositionierer
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Einsatzgebiete
- Faserpositionierung und -ausrichtung
- Scanning-Mikroskopie
- 2-Photonen-Polymerisation
- Nanotechnologie und Nanofertigung
- Photonik / integrierte Optik
- Mikromanipulation
- Probenpositionierung
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch
Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.
Hochdynamischer Mehrachsbetrieb durch Parallelkinematik
In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Die minimale Massenträgheit und die identische Auslegung aller Achsen erlauben eine schnelle, dynamische und dennoch präzise Bewegung.
Spezifikationen
Spezifikationen
Wählen Sie einen Stellweg:
| Bewegen | P-616.3C | Toleranz |
|---|---|---|
| Aktive Achsen | X ǀ Y ǀ Z | |
| Stellweg in X | 100 µm | |
| Stellweg in Y | 100 µm | |
| Stellweg in Z | 100 µm | |
| Stellweg in X, ungeregelt | 110 µm | ±20 % |
| Stellweg in Y, ungeregelt | 110 µm | ±20 % |
| Stellweg in Z, ungeregelt | 110 µm | ±20 % |
| Linearitätsabweichung in X | 0,03 % | typ. |
| Linearitätsabweichung in Y | 0,03 % | typ. |
| Linearitätsabweichung in Z | 0,03 % | typ. |
| Positionieren | P-616.3C | Toleranz |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | 10 nm | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | 20 nm | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | 10 nm | typ. |
| Auflösung in X, ungeregelt | 0,3 nm | typ. |
| Auflösung in Y, ungeregelt | 0,3 nm | typ. |
| Auflösung in Z, ungeregelt | 0,3 nm | typ. |
| Integrierter Sensor | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | |
| Systemauflösung in X | 0,4 nm | |
| Systemauflösung in Y | 0,4 nm | |
| Systemauflösung in Z | 0,4 nm | |
| Antriebseigenschaften | P-616.3C | Toleranz |
| Antriebstyp | PICMA® | |
| Elektrische Kapazität in X | 1,5 µF | ±20 % |
| Elektrische Kapazität in Y | 1,5 µF | ±20 % |
| Elektrische Kapazität in Z | 1,5 µF | ±20 % |
| Mechanische Eigenschaften | P-616.3C | Toleranz |
| Steifigkeit in X | 0,5 N/µm | ±20 % |
| Steifigkeit in Y | 0,5 N/µm | ±20 % |
| Steifigkeit in Z | 0,5 N/µm | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, unbelastet | 700 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 38 g | 380 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 100 g | 250 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, unbelastet | 700 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 38 g | 380 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 100 g | 250 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, unbelastet | 700 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 38 g | 380 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 100 g | 250 Hz | ±20 % |
| Zulässige Druckkraft in X | 15 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Y | 15 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 15 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in X | 9 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Y | 9 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Z | 9 N | max. |
| Zulässiges Moment in θX | 0,4 N·m | max. |
| Zulässiges Moment in θY | 0,4 N·m | max. |
| Zulässiges Moment in θZ | 0,4 N·m | max. |
| Bewegte Masse in X, unbelastet | 21 g | |
| Bewegte Masse in Y, unbelastet | 21 g | |
| Bewegte Masse in Z, unbelastet | 21 g | |
| Führung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | |
| Gesamtmasse | 400 g | |
| Masse ohne Kabel | 125 g | |
| Material | Aluminium, Stahl | |
| Anschlüsse und Umgebung | P-616.3C | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 °C | |
| ID-Chip | Ja | |
| Anschluss | D-Sub 25W3 (m) | |
| Kabellänge | 1,5 m | |
| Empfohlene Controller / Treiber | E-503, E-663, E-712, E-727 |
Die bidirektionale Wiederholgenauigkeit bezieht sich auf einen 10-%-Schritt und ist ein 1 Sigma-Wert.
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
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Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch F603T0003
F-603.41 / F-603.42 / F-603.43 Fiber holders for P-616-type (NanoCube®) piezo positioners
Version / Datum
2018-12-03
pdf - 793 KB
Englisch
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ268
P-616 NanoCube® XYZ-Nanopositionierer
Version / Datum
1.2.0 2024-04-04
pdf - 1 MB
Version / Datum
1.2.0 2024-04-04
pdf - 1 MB
3-D-Modelle
3-D-Modelle
P-616.3C 3D-Modell
zip - 342 KB
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Technologie
PICMA® Technologie
Hohe Zuverlässigkeit und überlegene Lebensdauer durch das patentierte Herstellungsverfahren für Multilayer-Aktoren.
Vakuum
Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.
Flexure Festkörpergelenke
Festkörpergelenksführungen von PI führen den Piezoaktor und dienen der geradlinigen Bewegung ohne Verkippung oder seitlichen Versatz.
Digitale Motion Controller
Digitale Controller haben gegenüber analogen Verstärkerelektroniken Vorteile, die vor allem bei hochpräzisen Positionieraufgaben zum Tragen kommen.
Kapazitive Sensoren
Präzision und Reproduzierbarkeit sind undenkbar ohne Einsätze höchstauflösender Messverfahren. Hier bieten kapazitive Sensoren die besten Ergebnisse.
Piezopositioniersysteme mit paralleler Kinematik
Der Vorteil eines Parallelkinematik-Mehrachsensystem ist, dass es kompakter gebaut werden kann, da nur es nur eine bewegte Plattform gibt.