P-753 LISA Linearaktor und Positioniertisch

Dynamisch und positionsstabil

Geführter Stelltisch und Aktor zugleich
Stellweg bis 38 µm
Auflösung 0,1 nm
Besonders schnelles Ansprechverhalten durch Direktantrieb
Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren

Angebot / Bestellung

P-753.1, Abmessungen in mm. Max. Drehmoment an den M2,5-Gewinden: 0,3 Nm.

P-753.2, Abmessungen in mm. Max. Drehmoment an den M2,5-Gewinden: 0,3 Nm.

P-753.3, Abmessungen in mm. Max. Drehmoment an den M2,5-Gewinden: 0,3 Nm.

Einsatzgebiete

Scanning-Mikroskopie
Messtechnik
Prüfverfahren und Qualitätssicherung
Photonik
Faserpositionierung

Überragende Lebensdauer dank PICMA^® Piezoaktoren

Die PICMA^® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA^® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren

Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.

Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen

Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.

Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung

Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.

Höhere Steifigkeit und Dynamik durch PICMA^® Direktantrieb

Piezonanopositionierer mit PICMA^® Direktantrieb haben keine mechanische Übersetzung. Dies ermöglicht schnelle Ansprechgeschwindigkeiten sowie die höchste erreichbare Steifigkeit und Dynamik im Piezoantriebsbereich.

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Datenblatt

Version / Datum

2024-07-18

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2024-07-18

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Version / Datum

2019-01-14

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Version / Datum

2019-04-01

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Wählen Sie einen Stellweg:

Bewegen	P-753.11C	P-753.1CD	P-753.21C	P-753.2CD	P-753.31C	P-753.3CD	Toleranz
Aktive Achsen	X	X	X	X	X	X
Stellweg in X	15 µm	15 µm	30 µm	30 µm	38 µm	38 µm
Linearitätsabweichung, geregelt	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	0,03 %	typ.
Winkelabweichung E_BX (Nicken)	± 5 µrad	± 5 µrad	± 7 µrad	± 7 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	typ.
Winkelabweichung E_CX (Gieren)	± 5 µrad	± 5 µrad	± 7 µrad	± 7 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	typ.
Positionieren	P-753.11C	P-753.1CD	P-753.21C	P-753.2CD	P-753.31C	P-753.3CD	Toleranz
Integrierter Sensor	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung	Kapazitiv, direkte Positionsmessung
Systemauflösung in X	0,1 nm	0,1 nm	0,2 nm	0,2 nm	0,25 nm	0,25 nm
Antriebseigenschaften	P-753.11C	P-753.1CD	P-753.21C	P-753.2CD	P-753.31C	P-753.3CD	Toleranz
Antriebstyp	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Elektrische Kapazität in X	1,5 µF	1,5 µF	3,1 µF	3,1 µF	4,6 µF	4,6 µF	±20 %
Mechanische Eigenschaften	P-753.11C	P-753.1CD	P-753.21C	P-753.2CD	P-753.31C	P-753.3CD	Toleranz
Steifigkeit in X	45 N/µm	45 N/µm	24 N/µm	24 N/µm	16 N/µm	16 N/µm	±20 %
Resonanzfrequenz in X, unbelastet	5600 Hz	5600 Hz	3700 Hz	3700 Hz	2900 Hz	2900 Hz	±20 %
Resonanzfrequenz in X, belastet mit 200 g	2500 Hz	2500 Hz	1700 Hz	1700 Hz	1400 Hz	1400 Hz	±20 %
Zulässige Druckkraft in X	100 N	100 N	100 N	100 N	100 N	100 N	max.
Zulässige Druckkraft in Z	80 N	80 N	90 N	90 N	100 N	100 N	max.
Zulässige Zugkraft in X	20 N	20 N	20 N	20 N	20 N	20 N	max.
Führung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung	Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung
Gesamtmasse	160 g	160 g	215 g	215 g	260 g	260 g	±5 %
Material	Stahl	Stahl	Stahl	Stahl	Stahl	Stahl
Anschlüsse und Umgebung	P-753.11C	P-753.1CD	P-753.21C	P-753.2CD	P-753.31C	P-753.3CD	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C	-20 bis 80 °C
Anschluss	LEMO LVPZT	D-Sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	D-Sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	D-Sub 7W2 (m)
Sensoranschluss	LEMO für kapazitive Sensoren	—	LEMO für kapazitive Sensoren	—	LEMO für kapazitive Sensoren	—
Kabellänge	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	1,5 m	+50 / -0 mm
Empfohlene Controller / Treiber	E-625, E-709.1C1L, E-754	E-625, E-709.1C1L, E-754	E-625, E-709.1C1L, E-754	E-625, E-709.1C1L, E-754	E-625, E-709.1C1L, E-754	E-625, E-709.1C1L, E-754

Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.

Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.

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Produktmitteilung

Version / Datum

2021-04-19

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Datenblatt

Version / Datum

2024-07-18

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