P-752.11C
Hochpräziser Nanopositioniertisch; 15 µm Stellweg; kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO-Stecker; 1,5 m Kabellänge
P-752 Hochpräziser Nanopositioniertisch
Hochdynamischer und stabiler Piezoscanner mit extremer Führungsgenauigkeit
- Auflösung 0,1 nm
- Schnelles Ansprechverhalten
- Stellweg bis 35 µm
- Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
- Reibungsfreie Festkörperführungen für sehr hohe Ablaufgenauigkeit
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Ansprechverhalten eines P-752.11C bei Rechteckansteuerung mit 3-nm-Amplitude. Sub-nm Auflösung, Stabilität und bidirektionale Wiederholbarkeit sind deutlich zu sehen. Controller: E-501.00, E 503.00, E-509.C1; Servoregeleinstellung: 240 Hz Bandbreite.
P-752.1xx, Abmessungen in mm
P-752.2xx, Abmessungen in mm
P-752 Hochpräziser Nanopositioniertisch
Produktbeschreibung
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Einsatzgebiete
- Scanning-Mikroskopie
- Messtechnik
- Prüfverfahren und Qualitätssicherung
- Photonik
- Faserpositionierung
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch
Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers.
Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung
Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.
Spezifikationen
Spezifikationen
Wählen Sie einen Stellweg:
| Bewegen | P-752.11C | P-752.1CD | P-752.21C | P-752.2CD | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X | X | X | X | |
| Stellweg in X | 15 µm | 15 µm | 30 µm | 30 µm | |
| Stellweg in X, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 20 µm | 20 µm | 35 µm | 35 µm | +20 / -0 % |
| Linearitätsabweichung in X | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | 0,03 % | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X) | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 1 µrad | typ. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X) | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 1 µrad | typ. |
| Positionieren | P-752.11C | P-752.1CD | P-752.21C | P-752.2CD | Toleranz |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 1 nm | ± 1 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | typ. |
| Auflösung in X, ungeregelt | 0,1 nm | 0,1 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | typ. |
| Integrierter Sensor | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | Kapazitiv, direkte Positionsmessung | |
| Systemauflösung in X | 0,1 nm | 0,1 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | |
| Antriebseigenschaften | P-752.11C | P-752.1CD | P-752.21C | P-752.2CD | Toleranz |
| Antriebstyp | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | |
| Elektrische Kapazität in X | 2,1 µF | 2,1 µF | 3,7 µF | 3,7 µF | ±20 % |
| Mechanische Eigenschaften | P-752.11C | P-752.1CD | P-752.21C | P-752.2CD | Toleranz |
| Steifigkeit in X | 30 N/µm | 30 N/µm | 20 N/µm | 20 N/µm | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, unbelastet | 3200 Hz | 3200 Hz | 2100 Hz | 2100 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 300 g | 980 Hz | 980 Hz | 600 Hz | 600 Hz | ±20 % |
| Zulässige Druckkraft in X | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 30 N | 30 N | 30 N | 30 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in X | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Führung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | Festkörpergelenksführung mit Hebelübersetzung | |
| Gesamtmasse | 250 g | 250 g | 350 g | 350 g | ±5 % |
| Material | Stahl | Stahl | Stahl | Stahl | |
| Anschlüsse und Umgebung | P-752.11C | P-752.1CD | P-752.21C | P-752.2CD | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | |
| Anschluss | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | D-Sub 7W2 (m) | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | D-Sub 7W2 (m) | |
| Sensoranschluss | LEMO FFA.00.250.CTLC31 | LEMO FFA.00.250.CTLC31 | |||
| Kabellänge | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | +50 / -0 mm |
| Empfohlene Controller / Treiber | E-505, E-610, E-625, E-754 | E-505, E-610, E-625, E-754 | E-505, E-610, E-625, E-754 | E-505, E-610, E-625, E-754 |
Wiederholgenauigkeit: Typisch, voller Stellweg.
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Downloads
Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
User Manual P752T0002
P-752 High Precision Nanopositioning Stage
Version / Datum
2018-06-27
pdf - 785 KB
Englisch
3-D-Modelle
3-D-Modelle
P-752 3D-Modell
Version / Datum
2017-10-12
zip - 213 KB
Angebot / Bestellung
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P-752.1CD
Hochpräziser Nanopositioniertisch; 15 µm Stellweg; kapazitiv, direkte Positionsmessung; D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge
P-752.21C
Hochpräziser Nanopositioniertisch; 30 µm Stellweg; kapazitiv, direkte Positionsmessung; LEMO-Stecker; 1,5 m Kabellänge
P-752.2CD
Hochpräziser Nanopositioniertisch; 30 µm Stellweg; kapazitiv, direkte Positionsmessung; D-Sub 7W2 (m); 1,5 m Kabellänge
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