Linear Stage | Air Bearing | Precision | Linear Motor | PI

Hochleistungs-Nanopositioniertisch

Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung
Reinraumtauglich
Größe der Bewegungsplattform 210 mm × 210 mm
Stellwege 50 mm bis 750 mm
Auflösung bis 1 nm

Angebot / Bestellung

A-123, Abmessungen in mm

Produktübersicht

Die Tische der PIglide Serie verfügen über einen Servo-Linearmotorantrieb mit vorgespannten Luftlagern und integriertem optischen Linearencoder. Die Kombination dieser berührungslosen Baugruppen ergibt eine reibungslose Bewegungsplattform, die höchste Leistung, Qualität und Lebensdauer bietet.

Ein Hochleistungslinearmotor kann den Tisch zur Höchstgeschwindigkeit innerhalb weniger Millisekunden fahren und die hohe Tragfähigkeit ermöglicht Nutzlasten bis zu 60 kg. Die lateral entgegengesetzte, aktiv vorgespannte und luftgelagerte Konstruktion ermöglicht eine Montage in beliebiger Orientierung.

Zubehör und Optionen

Encoder
PIglide Filter und Druckregler
Ein- und mehrachsige Motion Controller
Pneumatische Ver- und Entriegelungsoption
XY-Aufbauten und individuelle Konfigurationen
Schleppkettenvarianten
Optionen mit Gegengwicht für vertikale (Z) Orientierung
Kundenspezifische Anpassungen verfügbar
Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung

Einsatzgebiete

PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.

Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.

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Datenblatt

Version / Datum

2024-06-19

pdf - 1 MB

Version / Datum

2024-06-19

pdf - 1 MB

Version / Datum

2021-01-15

pdf - 495 KB

Version / Datum

2019-07-18

pdf - 844 KB

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Wählen Sie einen Stellweg:

Bewegen	A-123.050A1	A-123.050B1	A-123.100A1	A-123.100B1	A-123.200A1	A-123.200B1	A-123.350A1	A-123.350B1	A-123.500A1	A-123.500B1	A-123.750A1	A-123.750B1	Toleranz
Aktive Achsen	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X
Stellweg in X	50 mm	50 mm	100 mm	100 mm	200 mm	200 mm	350 mm	350 mm	500 mm	500 mm	750 mm	750 mm
Beschleunigung in X, unbelastet	30 m/s²	30 m/s²	30 m/s²	30 m/s²	30 m/s²	30 m/s²	30 m/s²	30 m/s²	30 m/s²	30 m/s²	30 m/s²	30 m/s²	max.
Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet	1000 mm/s	1000 mm/s	1000 mm/s	1000 mm/s	1000 mm/s	1000 mm/s	1000 mm/s	1000 mm/s	1000 mm/s	1000 mm/s	1000 mm/s	1000 mm/s
Geradheit (Lineares Übersprechen in Y bei Bewegung in X)	± 0,25 µm	± 0,25 µm	± 0,25 µm	± 0,25 µm	± 0,25 µm	± 0,25 µm	± 0,5 µm	± 0,5 µm	± 0,75 µm	± 0,75 µm	± 1,5 µm	± 1,5 µm	max.
Ebenheit (Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in X)	± 0,25 µm	± 0,25 µm	± 0,25 µm	± 0,25 µm	± 0,25 µm	± 0,25 µm	± 0,5 µm	± 0,5 µm	± 0,75 µm	± 0,75 µm	± 1,5 µm	± 1,5 µm	max.
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X)	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 7,5 µrad	± 7,5 µrad	± 7,5 µrad	± 7,5 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 12,5 µrad	± 12,5 µrad	max.
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X)	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 7,5 µrad	± 7,5 µrad	± 7,5 µrad	± 7,5 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 12,5 µrad	± 12,5 µrad	max.
Positionieren	A-123.050A1	A-123.050B1	A-123.100A1	A-123.100B1	A-123.200A1	A-123.200B1	A-123.350A1	A-123.350B1	A-123.500A1	A-123.500B1	A-123.750A1	A-123.750B1	Toleranz
Positioniergenauigkeit in X, kalibriert	± 0,3 µm	± 0,3 µm	± 0,3 µm	± 0,3 µm	± 0,3 µm	± 0,3 µm	± 0,3 µm	± 0,3 µm	± 0,5 µm	± 0,5 µm	± 0,5 µm	± 0,5 µm	typ.
Positioniergenauigkeit in X, unkalibriert	± 1,5 µm	± 1,5 µm	± 1,5 µm	± 1,5 µm	± 2 µm	± 1,5 µm	± 3 µm	± 1,5 µm	± 3,5 µm	± 1,5 µm	± 5 µm	± 1,5 µm	typ.
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X	0,2 µm	0,2 µm	0,2 µm	0,2 µm	0,2 µm	0,2 µm	0,2 µm	0,2 µm	0,2 µm	0,2 µm	0,2 µm	0,2 µm	typ.
Referenzschalter	Encoder-Index	—	Encoder-Index	—	Encoder-Index	—	Encoder-Index	—	Encoder-Index	—	Encoder-Index	—
Endschalter	Hall-Effekt	—	Hall-Effekt	—	Hall-Effekt	—	Hall-Effekt	—	Hall-Effekt	—	Hall-Effekt	—
Integrierter Sensor	Inkrementeller Linearencoder	Absoluter Linearencoder	Inkrementeller Linearencoder	Absoluter Linearencoder	Inkrementeller Linearencoder	Absoluter Linearencoder	Inkrementeller Linearencoder	Absoluter Linearencoder	Inkrementeller Linearencoder	Absoluter Linearencoder	Inkrementeller Linearencoder	Absoluter Linearencoder
Sensorsignal	Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze	BiSS-C	Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze	BiSS-C	Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze	BiSS-C	Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze	BiSS-C	Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze	BiSS-C	Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze	BiSS-C
Sensorsignalperiode	20 µm	—	20 µm	—	20 µm	—	20 µm	—	20 µm	—	20 µm	—
Sensorauflösung	4,88 nm	1 nm	4,88 nm	1 nm	4,88 nm	1 nm	4,88 nm	1 nm	4,88 nm	1 nm	4,88 nm	1 nm
Antriebseigenschaften	A-123.050A1	A-123.050B1	A-123.100A1	A-123.100B1	A-123.200A1	A-123.200B1	A-123.350A1	A-123.350B1	A-123.500A1	A-123.500B1	A-123.750A1	A-123.750B1	Toleranz
Antriebstyp	Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor	Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor	Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor	Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor	Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor	Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor	Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor	Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor	Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor	Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor	Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor	Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor
Nennspannung	48 V	48 V	48 V	48 V	48 V	48 V	48 V	48 V	48 V	48 V	48 V	48 V
Spitzenspannung	80 V	80 V	80 V	80 V	80 V	80 V	80 V	80 V	80 V	80 V	80 V	80 V
Nennstrom, effektiv	4,4 A	4,4 A	4,4 A	4,4 A	4,4 A	4,4 A	4,4 A	4,4 A	4,4 A	4,4 A	4,4 A	4,4 A	typ.
Spitzenstrom, effektiv	15 A	15 A	15 A	15 A	15 A	15 A	15 A	15 A	15 A	15 A	15 A	15 A	typ.
Antriebskraft in positiver Bewegungsrichtung in X	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	typ.
Antriebskraft in negativer Bewegungsrichtung in X	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	87,5 N	typ.
Spitzenkraft in positiver Bewegungsrichtung in X	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N
Spitzenkraft in negativer Bewegungsrichtung in X	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N	298 N
Kraftkonstante	19,9 N/A	19,9 N/A	19,9 N/A	19,9 N/A	19,9 N/A	19,9 N/A	19,9 N/A	19,9 N/A	19,9 N/A	19,9 N/A	19,9 N/A	19,9 N/A
Widerstand Phase-Phase	3,6 Ω	3,6 Ω	3,6 Ω	3,6 Ω	3,6 Ω	3,6 Ω	3,6 Ω	3,6 Ω	3,6 Ω	3,6 Ω	3,6 Ω	3,6 Ω	typ.
Induktivität Phase-Phase	1,2 mH	1,2 mH	1,2 mH	1,2 mH	1,2 mH	1,2 mH	1,2 mH	1,2 mH	1,2 mH	1,2 mH	1,2 mH	1,2 mH
Gegen-EMK Phase-Phase	16 V·s/m	16 V·s/m	16 V·s/m	16 V·s/m	16 V·s/m	16 V·s/m	16 V·s/m	16 V·s/m	16 V·s/m	16 V·s/m	16 V·s/m	16 V·s/m	max.
Polteilung N-N	30 mm	30 mm	30 mm	30 mm	30 mm	30 mm	30 mm	30 mm	30 mm	30 mm	30 mm	30 mm
Mechanische Eigenschaften	A-123.050A1	A-123.050B1	A-123.100A1	A-123.100B1	A-123.200A1	A-123.200B1	A-123.350A1	A-123.350B1	A-123.500A1	A-123.500B1	A-123.750A1	A-123.750B1	Toleranz
Zulässige Druckkraft in Y	205 N	205 N	205 N	205 N	205 N	205 N	205 N	205 N	205 N	205 N	205 N	205 N	max.
Zulässige Druckkraft in Z	410 N	410 N	410 N	410 N	410 N	410 N	410 N	410 N	410 N	410 N	410 N	410 N	max.
Zulässiges Moment in θX	25 N·m	25 N·m	25 N·m	25 N·m	25 N·m	25 N·m	25 N·m	25 N·m	25 N·m	25 N·m	25 N·m	25 N·m	max.
Zulässiges Moment in θY	10 N·m	10 N·m	10 N·m	10 N·m	10 N·m	10 N·m	10 N·m	10 N·m	10 N·m	10 N·m	10 N·m	10 N·m	max.
Bewegte Masse in X, unbelastet	5000 g	5000 g	5000 g	5000 g	5000 g	5000 g	5000 g	500 g	5000 g	5000 g	5000 g	5000 g
Führung	Luftlager mit Luftvorspannung	Luftlager mit Luftvorspannung	Luftlager mit Luftvorspannung	Luftlager mit Luftvorspannung	Luftlager mit Luftvorspannung	Luftlager mit Luftvorspannung	Luftlager mit Luftvorspannung	Luftlager mit Luftvorspannung	Luftlager mit Luftvorspannung	Luftlager mit Luftvorspannung	Luftlager mit Luftvorspannung	Luftlager mit Luftvorspannung
Gesamtmasse	14000 g	14000 g	15500 g	15500 g	18000 g	18000 g	21500 g	21500 g	25000 g	25000 g	32000 g	32000 g
Material	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl	Aluminium, Edelstahl
Anschlüsse und Umgebung	A-123.050A1	A-123.050B1	A-123.100A1	A-123.100B1	A-123.200A1	A-123.200B1	A-123.350A1	A-123.350B1	A-123.500A1	A-123.500B1	A-123.750A1	A-123.750B1	Toleranz
Betriebstemperaturbereich	15 bis 25 °C	15 bis 25 °C	15 bis 25 °C	15 bis 25 °C	15 bis 25 °C	15 bis 25 °C	15 bis 25 °C	15 bis 25 °C	15 bis 25 °C	15 bis 25 °C	15 bis 25 °C	15 bis 25 °C
Anschluss	D-Sub 9W4 (m)	D-Sub 9W4 (m)	D-Sub 9W4 (m)	D-Sub 9W4 (m)	D-Sub 9W4 (m)	D-Sub 9W4 (m)	D-Sub 9W4 (m)	D-Sub 9W4 (m)	D-Sub 9W4 (m)	D-Sub 9W4 (m)	D-Sub 9W4 (m)	D-Sub 9W4 (m)
Sensoranschluss	D-Sub 15 (m)	D-Sub 15 (m)	D-Sub 15 (m)	D-Sub 15 (m)	D-Sub 15 (m)	D-Sub 15 (m)	D-Sub 15 (m)	D-Sub 15 (m)	D-Sub 15 (m)	D-Sub 15 (m)	D-Sub 15 (m)	D-Sub 15 (m)
Betriebsdruck	515 bis 585 kPa	515 bis 585 kPa	515 bis 585 kPa	515 bis 585 kPa	515 bis 585 kPa	515 bis 585 kPa	515 bis 585 kPa	515 bis 585 kPa	515 bis 585 kPa	515 bis 585 kPa	515 bis 585 kPa	515 bis 585 kPa
Luftdurchsatz	28 L/min	28 L/min	28 L/min	28 L/min	28 L/min	28 L/min	28 L/min	28 L/min	28 L/min	28 L/min	28 L/min	28 L/min	max.
Luftqualität	Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3	Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3	Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3	Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3	Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3	Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3	Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3	Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3	Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3	Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3	Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3	Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3
Empfohlene Controller / Treiber	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x

Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.

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Produktmitteilung

Version / Datum

2018-08-02

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Datenblatt

Version / Datum

2024-06-19

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2024-06-19

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Version / Datum

2021-01-15

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Version / Datum

2019-07-18

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Dokumentation

A-123 PIglide AT3 Motorisierter Linearversteller mit Luftlagermodul und Encoder

Version / Datum

2021-05-17

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Englisch

3-D-Modelle

Version / Datum

2020-04-13

zip - 22 MB

Angebot / Bestellung

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A-123.050A1

PIglide AT3 Lineartisch; Luftlager; 50 mm Stellweg; inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode; eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-123.050B1

PIglide AT3 Lineartisch; Luftlager; 50 mm Stellweg; absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung; eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-123.100A1

PIglide AT3 Lineartisch; Luftlager; 100 mm Stellweg; inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode; eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-123.100B1

PIglide AT3 Lineartisch; Luftlager; 100 mm Stellweg; absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung; eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-123.200A1

PIglide AT3 Lineartisch; Luftlager; 200 mm Stellweg; inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode; eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-123.200B1

PIglide AT3 Lineartisch; Luftlager; 200 mm Stellweg; absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung; eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-123.350A1

PIglide AT3 Lineartisch; Luftlager; 350 mm Stellweg; inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode; eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-123.350B1

PIglide AT3 Lineartisch; Luftlager; 350 mm Stellweg; absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung; eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-123.500A1

PIglide AT3 Lineartisch; Luftlager; 500 mm Stellweg; inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode; eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-123.500B1

PIglide AT3 Lineartisch; Luftlager; 500 mm Stellweg; absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung; eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-123.750A1

PIglide AT3 Lineartisch; Luftlager; 750 mm Stellweg; inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode; eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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A-123.750B1

PIglide AT3 Lineartisch; Luftlager; 750 mm Stellweg; absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung; eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V

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