Produktübersicht
Die Tische der PIglide Serie verfügen über einen Servo-Linearmotorantrieb mit vorgespannten Luftlagern und integriertem optischen Linearencoder. Die Kombination dieser berührungslosen Baugruppen ergibt eine reibungslose Bewegungsplattform, die die höchste Leistung, Qualität und Lebensdauer bietet.
Ein Hochleistungslinearmotor kann den Tisch zur Höchstgeschwindigkeit innerhalb weniger Millisekunden fahren. Die vorgespannte, luftgelagerte Konstruktion unterstützt eine Montage in jeder beliebigen Orientierung.
Zubehör und Optionen
Einsatzgebiete
PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.
Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.
| Bewegen | A-121.050A1 | A-121.050B1 | A-121.100A1 | A-121.100B1 | A-121.150A1 | A-121.150B1 | A-121.200A1 | A-121.200B1 | A-121.250A1 | A-121.250B1 | A-121.350A1 | A-121.350B1 | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X | X | X | X | X | X | X | X | X | X | X | X | |
| Stellweg in X | 50 mm | 50 mm | 100 mm | 100 mm | 150 mm | 150 mm | 200 mm | 200 mm | 250 mm | 250 mm | 350 mm | 350 mm | |
| Beschleunigung in X, unbelastet | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | max. |
| Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet | 500 mm/s | 500 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | |
| Geradheit (Lineares Übersprechen in Y bei Bewegung in X) | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1,25 µm | ± 1,25 µm | max. |
| Ebenheit (Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in X) | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1,25 µm | ± 1,25 µm | max. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X) | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 12,5 µrad | ± 12,5 µrad | ± 17,5 µrad | ± 17,5 µrad | max. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X) | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 12,5 µrad | ± 12,5 µrad | ± 17,5 µrad | ± 17,5 µrad | max. |
| Positionieren | A-121.050A1 | A-121.050B1 | A-121.100A1 | A-121.100B1 | A-121.150A1 | A-121.150B1 | A-121.200A1 | A-121.200B1 | A-121.250A1 | A-121.250B1 | A-121.350A1 | A-121.350B1 | Toleranz |
| Positioniergenauigkeit in X, kalibriert | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | typ. |
| Positioniergenauigkeit in X, unkalibriert | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 2 µm | ± 1,5 µm | ± 2 µm | ± 1,5 µm | ± 3 µm | ± 1,5 µm | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | 0,5 µm | 0,5 µm | 0,5 µm | 0,5 µm | 0,5 µm | 0,5 µm | 0,5 µm | 0,5 µm | 0,5 µm | 0,5 µm | 0,5 µm | 0,5 µm | typ. |
| Integrierter Sensor | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | |
| Sensorsignal | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | |
| Sensorsignalperiode | 20 µm | 20 µm | 20 µm | 20 µm | 20 µm | 20 µm | |||||||
| Sensorauflösung | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | |
| Antriebseigenschaften | A-121.050A1 | A-121.050B1 | A-121.100A1 | A-121.100B1 | A-121.150A1 | A-121.150B1 | A-121.200A1 | A-121.200B1 | A-121.250A1 | A-121.250B1 | A-121.350A1 | A-121.350B1 | Toleranz |
| Antriebstyp | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | |
| Nennspannung | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | |
| Spitzenspannung | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | |
| Nennstrom, effektiv | 1,2 A | 1,2 A | 1,2 A | 1,2 A | 1,2 A | 1,2 A | 1,2 A | 1,2 A | 1,2 A | 1,2 A | 1,2 A | 1,2 A | typ. |
| Spitzenstrom, effektiv | 3,5 A | 3,5 A | 3,5 A | 3,5 A | 3,5 A | 3,5 A | 3,5 A | 3,5 A | 3,5 A | 3,5 A | 3,5 A | 3,5 A | typ. |
| Antriebskraft in X | 11,1 N | 11,1 N | 11,1 N | 11,1 N | 11,1 N | 11,1 N | 11,1 N | 11,1 N | 11,1 N | 11,1 N | 11,1 N | 11,1 N | typ. |
| Spitzenkraft in X | 33,2 N | 33,2 N | 33,2 N | 33,2 N | 33,2 N | 33,2 N | 33,2 N | 33,2 N | 33,2 N | 33,2 N | 33,2 N | 33,2 N | |
| Kraftkonstante | 9,4 N/A | 9,4 N/A | 9,4 N/A | 9,4 N/A | 9,4 N/A | 9,4 N/A | 9,4 N/A | 9,4 N/A | 9,4 N/A | 9,4 N/A | 9,4 N/A | 9,4 N/A | |
| Widerstand Phase-Phase | 6,3 Ω | 6,3 Ω | 6,3 Ω | 6,3 Ω | 6,3 Ω | 6,3 Ω | 6,3 Ω | 6,3 Ω | 6,3 Ω | 6,3 Ω | 6,3 Ω | 6,3 Ω | typ. |
| Induktivität Phase-Phase | 1 mH | 1 mH | 1 mH | 1 mH | 1 mH | 1 mH | 1 mH | 1 mH | 1 mH | 1 mH | 1 mH | 1 mH | |
| Gegen-EMK Phase-Phase | 7,7 V·s/m | 7,7 V·s/m | 7,7 V·s/m | 7,7 V·s/m | 7,7 V·s/m | 7,7 V·s/m | 7,7 V·s/m | 7,7 V·s/m | 7,7 V·s/m | 7,7 V·s/m | 7,7 V·s/m | 7,7 V·s/m | max. |
| Polteilung N-N | 40 mm | 40 mm | 40 mm | 40 mm | 40 mm | 40 mm | 40 mm | 40 mm | 40 mm | 40 mm | 40 mm | 40 mm | |
| Mechanische Eigenschaften | A-121.050A1 | A-121.050B1 | A-121.100A1 | A-121.100B1 | A-121.150A1 | A-121.150B1 | A-121.200A1 | A-121.200B1 | A-121.250A1 | A-121.250B1 | A-121.350A1 | A-121.350B1 | Toleranz |
| Zulässige Druckkraft in Y | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | max. |
| Zulässiges Moment in θX | 5 N·m | 5 N·m | 5 N·m | 5 N·m | 5 N·m | 5 N·m | 5 N·m | 5 N·m | 5 N·m | 5 N·m | 5 N·m | 5 N·m | max. |
| Zulässiges Moment in θY | 8,3 N·m | 8,3 N·m | 8,3 N·m | 8,3 N·m | 8,3 N·m | 8,3 N·m | 8,3 N·m | 8,3 N·m | 8,3 N·m | 8,3 N·m | 8,3 N·m | 8,3 N·m | max. |
| Bewegte Masse in X, unbelastet | 1200 g | 1200 g | 1200 g | 1200 g | 1200 g | 1200 g | 1200 g | 1200 g | 1200 g | 1200 g | 1200 g | 1200 g | |
| Führung | Luftlagerführung mit Luft-Vorspannung | Luftlagerführung mit Luft-Vorspannung | Luftlagerführung mit Luft-Vorspannung | Luftlagerführung mit Luft-Vorspannung | Luftlagerführung mit Luft-Vorspannung | Luftlagerführung mit Luft-Vorspannung | Luftlagerführung mit Luft-Vorspannung | Luftlagerführung mit Luft-Vorspannung | Luftlagerführung mit Luft-Vorspannung | Luftlagerführung mit Luft-Vorspannung | Luftlagerführung mit Luft-Vorspannung | Luftlagerführung mit Luft-Vorspannung | |
| Gesamtmasse | 3500 g | 3500 g | 4200 g | 4200 g | 4500 g | 4500 g | 5200 g | 5200 g | 5700 g | 5700 g | 6800 g | 6800 g | |
| Material | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | |
| Anschlüsse und Umgebung | A-121.050A1 | A-121.050B1 | A-121.100A1 | A-121.100B1 | A-121.150A1 | A-121.150B1 | A-121.200A1 | A-121.200B1 | A-121.250A1 | A-121.250B1 | A-121.350A1 | A-121.350B1 | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | |
| Anschluss | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | |
| Sensoranschluss | D-Sub 15-polig (m) | D-Sub 15-polig (m) | D-Sub 15-polig (m) | D-Sub 15-polig (m) | D-Sub 15-polig (m) | D-Sub 15-polig (m) | D-Sub 15-polig (m) | D-Sub 15-polig (m) | D-Sub 15-polig (m) | D-Sub 15-polig (m) | D-Sub 15-polig (m) | D-Sub 15-polig (m) | |
| Betriebsdruck | 450 bis 520 (65 bis 75 psi) kPa | 450 bis 520 (65 bis 75 psi) kPa | 450 bis 520 (65 bis 75 psi) kPa | 450 bis 520 (65 bis 75 psi) kPa | 450 bis 520 (65 bis 75 psi) kPa | 450 bis 520 (65 bis 75 psi) kPa | 450 bis 520 (65 bis 75 psi) kPa | 450 bis 520 (65 bis 75 psi) kPa | 450 bis 520 (65 bis 75 psi) kPa | 450 bis 520 (65 bis 75 psi) kPa | 450 bis 520 (65 bis 75 psi) kPa | 450 bis 520 (65 bis 75 psi) kPa | |
| Luftdurchsatz | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | max. |
| Luftqualität | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | |
| Empfohlene Controller / Treiber | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x |
A-121 PIglide AT1 Motorisierter Linearversteller mit Luftlagermodul und Encoder
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PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 50 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 500 mm/s maximale Geschwindigkeit; Inkrementeller Linearencoder, 20 µm Sensorsignalperiode, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze
PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 50 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 500 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 100 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Inkrementeller Linearencoder, 20 µm Sensorsignalperiode, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze
PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 100 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 150 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Inkrementeller Linearencoder, 20 µm Sensorsignalperiode, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze
PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 150 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 200 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Inkrementeller Linearencoder, 20 µm Sensorsignalperiode, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze
PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 200 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 250 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Inkrementeller Linearencoder, 20 µm Sensorsignalperiode, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze
PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 250 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 350 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Inkrementeller Linearencoder, 20 µm Sensorsignalperiode, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze
PIglide AT1 Lineartisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 350 mm Stellweg; 100 N Belastbarkeit; 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
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Der Magnetantrieb kann eine luftgelagerte bewegte Plattform innerhalb weniger Nanometer linear oder weniger Bogensekunden rotatorisch positionieren.
Magnetische Direktantriebe bieten vor allem hinsichtlich Verschleiß und Dynamik Vorteile gegenüber klassischen spindelbasierten Lösungen.
