A-322 Base
PIglide HS Planarscanner, Luftlager, 3-Phasen-Linearmotoren, Absolute Linearencoder, Stellweg bis zu 500 mm × 500 mm (bitte in der Anfrageliste spezifizieren)
A-322 PIglide HS Planarscanner mit Luftlager
XY-Positioniersystem mit 1 nm Auflösung
- Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung
- Reinraumtauglich
- Stellwege bis 500 mm × 1000 mm
- Belastbarkeit bis 245 N
- Auflösung bis 1 nm, Geschwindigkeit bis 2 m/s
- Drei Leistungsklassen: Base, Plus, und Ultra
A-322 Base
A-322 PIglide HS Planarscanner mit Luftlager
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PIglide XY-Positioniersystem der Referenzklasse
Der PIglide HS Planarscanner besitzt magnetische Linearmotoren, Vakuum-Vorspannung und Absolutencoder: Kontakt- und Reibungsfreie Bewegung für höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit.
Das Positioniersystem wurde ausgelegt, um sowohl die Durchsatzrate zu maximieren als auch die höchste Präzision zu gewährleisten. Die flexible Ankopplung der Brückenachse zur Portalachse ermöglicht eine laterale Entkopplung ohne auf die Gesamtsteifigkeit des Systems zu verzichten.
Das A-322 ist mit branchenführenden Controllern und Antriebsreglern von ACS gekoppelt, die eine hervorragende Servoleistung, fortschrittliche Regelalgorithmen zur Verbesserung der dynamischen Leistung und Fehlerkompensation sowie eine breite Palette von Softwareentwicklungswerkzeugen bieten.
Die A-322-Serie ist ein Ausgangspunkt für Anpassungen. Kritische Kernkomponenten wie Linearmotoren, Messsysteme und Luftlager-Baugruppen wurden bereits entwickelt, getestet und haben ihre Fähigkeiten unter Beweis gestellt. Je nach Anwendung und Anforderungen des Kunden bildet eine Variante der A-322-Serie den idealen Ausgangspunkt für eine maßgeschneiderte ultrapräzise Lösung.
3 Leistungs- und Preisklassen:
- Base: XY-Gantry-Bauweise mit 3 Standard-Linearmotoren.
- Plus: XY-Gantry-Bauweise mit 3 flüssigkeitsgekühlten Hochleistungs-Linearmotoren. Für Anwendungen mit hoher Einschaltdauer und hohen Beschleunigungen.
- Ultra: XY-Dual-Gantry-Bauweise mit 4 flüssigkeitsgekühlten Hochleistungs-Linearmotoren. Sowohl die X- als auch die Y-Achse besitzen je 2 Linearmotoren und 2 Linearencoder. Diese Bauweise verbessert die Positioniergenauigkeit, Wiederholbarkeit und Fehlerkompensation, besonders bei Lasten mit großen Abmessungen.
Absolutencoder
Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden.
PIMag® magnetischer Direktantrieb
3-phasige magnetische Direktantriebe verzichten auf mechanische Bauteile im Antriebsstrang, sie übertragen die Antriebskraft direkt und reibungsfrei auf die Bewegungsplattform. Die Antriebe erreichen hohe Geschwindigkeiten und Beschleunigungen. Eisenlose Motoren eignen sich besonders für Positionieraufgaben mit höchsten Ansprüchen an Präzision, da es keine unerwünschten Wechselwirkungen mit den Permanentmagneten gibt. Dies ermöglicht einen gleichmäßigen Lauf auch bei niedrigsten Geschwindigkeiten, gleichzeitig treten keine Vibrationen bei hohen Geschwindigkeiten auf. Nichtlinearitäten im Regelverhalten werden vermieden und jede beliebige Position kann einfach geregelt werden. Die Antriebskraft ist frei einstellbar.
Zubehör und Optionen
- PIglide Filter und Druckregler
- Zusätzliche Achsen
- Unterbauten
- Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung
- Aufnahmen für zusätzliche Positionierer, wie Kippplattformen oder 6-Achs-Positionierer mit Piezoantrieben.
Lange Lebensdauer, reinraumtaugliche Schleppketten
Der A-322 verfügt über hochwertige, langlebige Flachbandkabel und Pneumatikschläuche. Umfangreiche Forschungs- und Entwicklungsarbeiten haben zu einem optimierten Kabelmanagement-System geführt, das Millionen von wartungsfreien Zyklen ermöglicht. Eine Teflonummantelung sorgt für geringe Partikelbildung.
Einsatzgebiete
PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.
Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Positionierer ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.
Spezifikationen
Spezifikationen
Modell | Einheit | A-322 Base | A-322 Plus | A-322 Ultra |
|---|---|---|---|---|
Präzision/Dynamik | Standard/Standard | Standard/Hoch | Hoch/Hoch | |
Bewegen | ||||
Stellweg Brückenachse | mm | 350; 500 | 350; 500 | 350; 500 |
Stellweg Portalachse | mm | 350; 500 | 350; 500; 750 | 350; 500; 750; 1000 |
Größe der Bewegungsplattform | 250 × 268 | 250 × 268 | 250 × 318 | |
Führung | Luftlager, mit Vakuum-Vorspannung | Luftlager, mit Vakuum-Vorspannung | Luftlager, mit Vakuum-Vorspannung | |
Integrierter Sensor | Absoluter Linearencoder, BiSS-C, Stahl-Maßverkörperung | Absoluter Linearencoder, BiSS-C, Stahl-Maßverkörperung | Absoluter Linearencoder, BiSS-C, Stahl-Maßverkörperung | |
Sensorauflösung | nm | 1 | 1 | 1 |
Belastbarkeit | kg | 15 | 20 | 30 |
Bidirektionale Wiederholbarkeit (2) | µm | ±0,15 | ±0,15 | ±0,05 |
Positioniergenauigkeit, kalibriert (2) | µm | ±0,35 | ±0,35 | ±0,2 |
Geradheit (2) | µm | 1 | 1 | 0,5 |
Ebenheit | µm | 2 | 2 | 2 |
Neigen | µrad | 10 | 10 | 10 |
Gieren (2) | µrad | 5 | 5 | 2 |
XY-Orthogonalität | µrad | 5 | 5 | 2 |
Max. Geschwindigkeit, unbelastet (3) | m/s | 0,5 | 1 | 1 |
Max. Beschleunigung, unbelastet (3) | m/s² | 10 | 20 | 20/15 (Brücken-/Portalachse) |
Positionsstabilität | nm | ±30 | ±30 | ±30 |
Bewegte Masse, Brückenachse | kg | 14 | 14 | 20 |
Bewegte Masse, Portalachse | kg | abhängig vom Stellweg der Brückenachse: 350 mm: 40 kg 500 mm: 44 kg | abhängig vom Stellweg der Brückenachse: 350 mm: 53 kg 500 mm: 56 kg | abhängig vom Stellweg der Brückenachse: 350 mm: 70 kg 500 mm: 75 kg |
(1) Geht von einem Betriebsdruck der Luftlager von 550 kPa aus. Der Lastenschwerpunkt darf nicht mehr als 50 mm von der Oberfläche der Bewegungsplattform entfernt liegen.
(2) Setzt Controller-gesteuerte Fehlerkompensation voraus. Positionierer muss mit Controller von PI / ACS geordert werden. Werte gehen von kurzfristiger Dauer aus und berücksichtigen die Langzeitfolgen des thermischen Drifts auf den Positionierer nicht.
(3) Abhängig vom gewählten Motor, Leistungsfähigkeit des Controllers, Einschaltdauer, Last und weiteren anwendungsspezifischen Parametern. Beschleunigung, Einschaltdauer und Bewegungsprofil sollten mit einem PI-Anwendungsingenieur abgestimmt werden.
Gesamtgewicht ist abhängig von der kundenspezifischen Granitbasis.
Werte bespielhaft für einen Stellweg von 500 mm × 500 mm. Kontaktieren Sie PI für exakte Spezifikationen bei anderen Stellwegen.
Antriebseigenschaften (pro Motor) | Einheit | A-322 Base Brücken-/Portalachse | A-322 Plus Brücken-/Portalachse | A-322 Ultra Brücken-/Portalachse |
|---|---|---|---|---|
Anzahl Motoren | 1× Brücken-, 2× Portalachse | 1× Brücken-, 2× Portalachse | 2× Brücken-, 2× Portalachse | |
Nennspannung, DC | V | 70/70 | 70/70 | 70/70 |
Spitzenspannung, DC | V | 300/300 | 300/300 | 300/300 |
Nennkraft | N | 87/87 | 140/140 | 87/140 |
Spitzenkraft | N | 300/300 | 480/480 | 300/480 |
Kraftkonstante, effektiv | N/A | 19,9/19,9 | 27,5/27,5 | 19,9/27,5 |
Nennstrom, effektiv | A | 4,4/4,4 | 5,1/5,1 | 4,4/5,1 |
Spitzenstrom, effektiv | A | 15/15 | 17,5/17,5 | 15/17,5 |
Gegen-EMK, Phase-Phase | V·s/m | 16/16 | 22,5/22,5 | 16/22,5 |
Widerstand, Phase-Phase | Ω | 3,6/3,6 | 2,6/2,6 | 3,6/2,6 |
Induktivität, Phase-Phase | mH | 1,2/1,2 | 2,0/2,0 | 1,2/2,0 |
Kühlsystem | – | Wasser, 20°C, 2 bis 3 l/min | Wasser, 20°C, 2 bis 3 l/min |
Sonstiges | alle A-322 |
|---|---|
Betriebsdruck | 550 ±35 kPa (80 ±5 psi) |
Luftdurchsatz | Mit externer Vakuum-Versorgung: 56 l/min (2 SCFM) Mit intern generiertem Vakuum: 112 l/min (4 SCFM) |
Vakuum | 74,66 kPa (560 mmHg), 14 l/min (0,5 SCFM) |
Luftqualität | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573‑1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573‑1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573‑1 Klasse 3 |
Materialien | Granitbasis Hartbeschichtetes Aluminium Vernickelte Stahl-Seitenschienen Befestigungsmaterial aus Edelstahl |
Empfohlene Controller | A-81x, A-82x |
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Datenblatt
Whitepaper
Whitepaper
Luftlager: Wann sie in Ihrer Bewegungsapplikation verwendet und wann sie vermieden werden sollten
Nicht alle Positioniertische sind gleich aufgebaut. Autor: Matt Reck, PI
Version / Datum
WP4003 2015-09
pdf - 3 MB
Englisch
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A-322 Plus
PIglide HS Planarscanner, Luftlager, Flüssigkeitsgekühlte Hochleistungs-3-Phasen-Linearmotoren, Absolute Linearencoder, Stellweg bis zu 500 mm × 750 mm (bitte in der Anfrageliste spezifizieren)
A-322 Ultra
PIglide HS Planarscanner, XY-Dual-Gantry-Bauweise, Luftlager, Flüssigkeitsgekühlte Hochleistungs-3-Phasen-Linearmotoren, Absolute Linearencoder, Stellweg bis zu 500 mm × 1000 mm (bitte in der Anfrageliste spezifizieren)
