Produktübersicht
Der hochpräzise PIglide IS XY Planarscanner mit Luftlager besitzt eine flache Bauform und ist eine Alternative zu gestapelten XY-Tischen. Der kompakte Aufbau spart Platz in Maschinen mit begrenztem Bauraum.
PIMag® magnetischer Direktantrieb
3-phasige magnetische Direktantriebe verzichten auf mechanische Bauteile im Antriebsstrang, sie übertragen die Antriebskraft direkt und reibungsfrei auf die Bewegungsplattform. Die Antriebe erreichen hohe Geschwindigkeiten und Beschleunigungen. Eisenlose Motoren eignen sich besonders für Positionieraufgaben mit höchsten Ansprüchen an Präzision, da es keine unerwünschten Wechselwirkungen mit den Permanentmagneten gibt. Dies ermöglicht einen gleichmäßigen Lauf auch bei niedrigsten Geschwindigkeiten, gleichzeitig treten keine Vibrationen bei hohen Geschwindigkeiten auf. Nichtlinearitäten im Regelverhalten werden vermieden und jede beliebige Position kann einfach geregelt werden. Die Antriebskraft ist frei einstellbar.
Der Betrieb mit Digitalcontrollern von führenden Herstellern bietet fortschrittliche Regelalgorithmen zur Verbesserung der Dynamik und Führungsfehlerkompensation.
Zubehör und Optionen
Einsatzgebiete
PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen, wie z.B. Inspektionsysteme, Laserbeschriftung, Mikroskopie oder Scanning.
| Bewegen | A-311.DA1 | A-311.DB1 | A-311.AA1 | A-311.AB1 | A-311.BA1 | A-311.BB1 | A-311.CA1 | A-311.CB1 | A-311.FB1 | A-311.GB1 | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X ǀ Y | X ǀ Y | X ǀ Y | X ǀ Y | X ǀ Y | X ǀ Y | X ǀ Y | X ǀ Y | X ǀ Y | X ǀ Y | |
| Stellweg in X | 50 mm | 50 mm | 100 mm | 100 mm | 150 mm | 150 mm | 200 mm | 200 mm | 300 mm | 300 mm | |
| Stellweg in Y | 50 mm | 50 mm | 100 mm | 100 mm | 150 mm | 150 mm | 200 mm | 200 mm | 300 mm | 400 mm | |
| Beschleunigung in X, unbelastet | 27,5 m/s² | 27,5 m/s² | 27,5 m/s² | 27,5 m/s² | 27,5 m/s² | 27,5 m/s² | 27,5 m/s² | 27,5 m/s² | 10 m/s² | 10 m/s² | max. |
| Beschleunigung in Y, unbelastet | 15 m/s² | 15 m/s² | 13 m/s² | 13 m/s² | 11 m/s² | 11 m/s² | 10 m/s² | 10 m/s² | 10 m/s² | 10 m/s² | max. |
| Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | |
| Maximale Geschwindigkeit in Y, unbelastet | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | |
| Orthogonalität | ± 12,5 µrad | ± 12,5 µrad | ± 12,5 µrad | ± 12,5 µrad | ± 12,5 µrad | ± 12,5 µrad | ± 12,5 µrad | ± 12,5 µrad | ± 5 µrad | ± 25 µrad | typ. |
| Geradheitsabweichung E_XY (Geradheit) | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | max. |
| Geradheitsabweichung E_YX (Geradheit) | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | max. |
| Geradheitsabweichung E_ZX (Ebenheit) | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | max. |
| Geradheitsabweichung E_ZY (Ebenheit) | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,25 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | max. |
| Winkelabweichung E_AY (Nicken) | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 12,5 µrad | ± 12,5 µrad | ± 17,5 µrad | ± 17,5 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 40 µrad | ± 20 µrad | max. |
| Winkelabweichung E_BX (Nicken) | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 12,5 µrad | ± 12,5 µrad | ± 17,5 µrad | ± 17,5 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 40 µrad | ± 20 µrad | max. |
| Winkelabweichung E_CX (Gieren) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 7,5 µrad | ± 7,5 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 20 µrad | ± 10 µrad | max. |
| Winkelabweichung E_CY (Gieren) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 7,5 µrad | ± 7,5 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 20 µrad | ± 10 µrad | max. |
| Positionieren | A-311.DA1 | A-311.DB1 | A-311.AA1 | A-311.AB1 | A-311.BA1 | A-311.BB1 | A-311.CA1 | A-311.CB1 | A-311.FB1 | A-311.GB1 | Toleranz |
| Positioniergenauigkeit in X, kalibriert | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | typ. |
| Positioniergenauigkeit in X, unkalibriert | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 2 µm | ± 2 µm | ± 2,5 µm | ± 2,5 µm | — | — | typ. |
| Positioniergenauigkeit in Y, kalibriert | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | ± 0,2 µm | typ. |
| Positioniergenauigkeit in Y, unkalibriert | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 2 µm | ± 2 µm | ± 2,5 µm | ± 2,5 µm | — | — | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | typ. |
| Referenzschalter | Encoder-Index | — | Encoder-Index | — | Encoder-Index | — | Encoder-Index | — | — | — | |
| Endschalter | Hall-Effekt, Schließer, 5 V bis 24 V, Open Collector | — | Hall-Effekt, Schließer, 5 V bis 24 V, Open Collector | — | Hall-Effekt, Schließer, 5 V bis 24 V, Open Collector | — | Hall-Effekt, Schließer, 5 V bis 24 V, Open Collector | — | — | — | |
| Integrierter Sensor | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Absoluter Linearencoder | |
| Sensorsignal | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | BiSS-C | BiSS-C | |
| Sensorsignalperiode | 20 µm | — | 20 µm | — | 20 µm | — | 20 µm | — | — | — | |
| Sensorauflösung | 1,2 nm | 1 nm | 1,2 nm | 1 nm | 1,2 nm | 1 nm | 1,2 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm | |
| Antriebseigenschaften | A-311.DA1 | A-311.DB1 | A-311.AA1 | A-311.AB1 | A-311.BA1 | A-311.BB1 | A-311.CA1 | A-311.CB1 | A-311.FB1 | A-311.GB1 | Toleranz |
| Antriebstyp | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | |
| Nennspannung | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | |
| Spitzenspannung | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 300 V | 80 V | |
| Nennstrom, effektiv | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | 2,9 A | 3,2 A | typ. |
| Spitzenstrom, effektiv | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | 10 A | 6,9 A | typ. |
| Antriebskraft in X | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 58 N | 39 N | typ. |
| Antriebskraft in Y | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 58 N | 39 N | typ. |
| Spitzenkraft in X | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 200 N | 85 N | |
| Spitzenkraft in Y | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 200 N | 85 N | |
| Kraftkonstante | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 19,9 N/A | 12,3 N/A | |
| Widerstand Phase-Phase | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 5,6 Ω | 3,6 Ω | typ. |
| Induktivität Phase-Phase | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,8 mH | 1,24 mH | |
| Gegen-EMK Phase-Phase | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 16 V·s/m | 10,1 V·s/m | max. |
| Polteilung N-N | 30 mm | 30 mm | 30 mm | 30 mm | 30 mm | 30 mm | 30 mm | 30 mm | 30 mm | 30 mm | |
| Mechanische Eigenschaften | A-311.DA1 | A-311.DB1 | A-311.AA1 | A-311.AB1 | A-311.BA1 | A-311.BB1 | A-311.CA1 | A-311.CB1 | A-311.FB1 | A-311.GB1 | Toleranz |
| Zulässige Druckkraft in Z | 147 N | 147 N | 147 N | 147 N | 147 N | 147 N | 147 N | 147 N | 147 N | 147 N | max. |
| Bewegte Masse in X, unbelastet | 3000 g | 3000 g | 3000 g | 3000 g | 3000 g | 3000 g | 3000 g | 3000 g | 4000 g | 4000 g | |
| Bewegte Masse in Y, unbelastet | 5500 g | 5500 g | 6500 g | 6500 g | 7500 g | 7500 g | 8500 g | 8500 g | 8500 g | 8500 g | |
| Führung | Luftlager mit Luftvorspannung | Luftlager mit Luftvorspannung | Luftlager mit Luftvorspannung | Luftlager mit Luftvorspannung | Luftlager mit Luftvorspannung | Luftlager mit Luftvorspannung | Luftlager mit Luftvorspannung | Luftlager mit Luftvorspannung | Luftlager mit Vakuum-Vorspannung | Luftlager mit Vakuum-Vorspannung | |
| Gesamtmasse | 14500 g | 14500 g | 18500 g | 18500 g | 22500 g | 22500 g | 27500 g | 27500 g | 48000 g | 55000 g | |
| Material | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | |
| Anschlüsse und Umgebung | A-311.DA1 | A-311.DB1 | A-311.AA1 | A-311.AB1 | A-311.BA1 | A-311.BB1 | A-311.CA1 | A-311.CB1 | A-311.FB1 | A-311.GB1 | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | +15 bis +25 °C | |
| Anschluss | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 3W3 (m) | D-Sub 3W3 (m) | |
| Sensoranschluss | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | |
| Betriebsdruck | 415 bis 485 (60 bis 70 psi) kPa | 415 bis 485 (60 bis 70 psi) kPa | 415 bis 485 (60 bis 70 psi) kPa | 415 bis 485 (60 bis 70 psi) kPa | 415 bis 485 (60 bis 70 psi) kPa | 415 bis 485 (60 bis 70 psi) kPa | 415 bis 485 (60 bis 70 psi) kPa | 415 bis 485 (60 bis 70 psi) kPa | 415 bis 485 (60 bis 70 psi) kPa | 415 bis 485 (60 bis 70 psi) kPa | |
| Luftdurchsatz | 56 L/min | 56 L/min | 56 L/min | 56 L/min | 56 L/min | 56 L/min | 56 L/min | 56 L/min | 56 L/min | 56 L/min | max. |
| Luftqualität | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | |
| Empfohlene Controller / Treiber | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x |
Hinweis zu Geradheits- und Winkelabweichung: Abhängig von der Ebenheit der Oberfläche, auf der der Tisch montiert ist.
Hinweis zu Geschwindigkeit und Beschleunigung: Kann durch die Nutzlast, den Controller oder den Antrieb begrenzt werden.
Hinweis zur zulässigen Druckkraft: Geht davon aus, dass der Lastenschwerpunkt mittig und nicht höher als 50 mm über der Bewegungsplattform liegt. Tisch ist nur für den horizontalen Betrieb ausgelegt.
Hinweis zur Sensorauflösung: Geht von einer 4096-fachen Interpolation aus. Kontaktieren Sie PI für den Einsatz anderer Faktoren.
Hinweis zur Positioniergenauigkeit: Verbesserte Genauigkeit möglich durch Controller-gesteuerte Fehlerkompensation. Der Tisch muss mit einem Controller von PI geordert werden, um diese Werte zu erreichen. Genauigkeitswerte gehen von kurzfristiger Dauer aus und berücksichtigen die Langzeitfolgen des thermischen Drifts auf den Tisch nicht.
Hinweis zum Betriebsdruck: Zum Schutz des Tischs gegen Schäden wird empfohlen, einen Luftdrucksensor an den Motion-Stop-Eingang des Controllers anzuschließen.
Alle Spezifikationen gelten pro Achse, sofern nicht anders beschrieben.
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
A-311.FX1/.GX1 PIglide: XY-Planarscanner mit Luftlager
A-311 PIglide IS: XY-Planarscanner mit Luftlager
Nicht alle Positioniertische sind gleich aufgebaut. Autor: Matt Reck, PI
Fordern Sie ein unverbindliches Angebot über gewünschte Stückzahlen, Preise und Lieferzeiten an oder beschreiben Sie Ihre gewünschte Modifikation.
PIglide IS Planarscanner mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 50 mm × 50 mm Stellweg (X × Y); 147 N Belastbarkeit; 2000 mm/s × 2000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Inkrementeller Linearencoder, 20 µm Sensorsignalperiode, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze
PIglide IS Planarscanner mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 50 mm × 50 mm Stellweg (X × Y); 147 N Belastbarkeit; 2000 mm/s × 2000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
PIglide IS Planarscanner mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 100 mm × 100 mm Stellweg (X × Y); 147 N Belastbarkeit; 2000 mm/s × 2000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Inkrementeller Linearencoder, 20 µm Sensorsignalperiode, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze
PIglide IS Planarscanner mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 100 mm × 100 mm Stellweg (X × Y); 147 N Belastbarkeit; 2000 mm/s × 2000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
PIglide IS Planarscanner mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 150 mm × 150 mm Stellweg (X × Y); 147 N Belastbarkeit; 2000 mm/s × 2000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Inkrementeller Linearencoder, 20 µm Sensorsignalperiode, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze
PIglide IS Planarscanner mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 150 mm × 150 mm Stellweg (X × Y); 147 N Belastbarkeit; 2000 mm/s × 2000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
PIglide IS Planarscanner mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 200 mm × 200 mm Stellweg (X × Y); 147 N Belastbarkeit; 2000 mm/s × 2000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Inkrementeller Linearencoder, 20 µm Sensorsignalperiode, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze
PIglide IS Planarscanner mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 200 mm × 200 mm Stellweg (X × Y); 147 N Belastbarkeit; 2000 mm/s × 2000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
PIglide IS Planarscanner mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 300 mm × 300 mm Stellweg (X × Y); 147 N Belastbarkeit; 1000 mm/s × 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
PIglide IS Planarscanner mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 300 mm × 400 mm Stellweg (X × Y); 147 N Belastbarkeit; 1000 mm/s × 1000 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
Erhalten Sie innerhalb kürzester Zeit per E-Mail oder Telefon eine Rückmeldung zu Ihren Fragen von einem PI Vertriebsingenieur.
Der Magnetantrieb kann eine luftgelagerte bewegte Plattform innerhalb weniger Nanometer linear oder weniger Bogensekunden rotatorisch positionieren.
Magnetische Direktantriebe bieten vor allem hinsichtlich Verschleiß und Dynamik Vorteile gegenüber klassischen spindelbasierten Lösungen.
