A-110.050A1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 50 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110 PIglide LC Lineartisch mit Luftlager
Hochleistungs-Nanopositioniertisch mit günstigem Preis
- Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung
- Reinraumtauglich
- Größe der Bewegungsplattform 160 mm × 200 mm
- Stellwege bis 400 mm
- Belastbarkeit bis 100 N
A-110.050, A-110.100, Abmessungen in mm
A-110.200, A-110.300, A-110.400, Abmessungen in mm
A-110 PIglide LC Lineartisch mit Luftlager
Produktbeschreibung
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Produktübersicht
PIglide Positioniersysteme besitzen einen magnetischen Linearmotor, magnetisch vorgespannte Luftlager und optische Linearencoder: Kontakt- und Reibungsfreie Bewegung für höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit.
Zubehör und Optionen
- Encoder
- PIglide Filter und Druckregler
- Ein- und mehrachsige Motion Controller
- XY-Aufbauten und individuelle Konfigurationen
- Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung
Einsatzgebiete
PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.
Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.
Spezifikationen
Spezifikationen
Wählen Sie einen Stellweg:
| Bewegen | A-110.050A1 | A-110.050B1 | A-110.100A1 | A-110.100B1 | A-110.200A1 | A-110.200B1 | A-110.300A1 | A-110.300B1 | A-110.400A1 | A-110.400B1 | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X | X | X | X | X | X | X | X | X | X | |
| Stellweg in X | 50 mm | 50 mm | 100 mm | 100 mm | 200 mm | 200 mm | 300 mm | 300 mm | 400 mm | 400 mm | |
| Beschleunigung in X, unbelastet | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | max. |
| Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | |
| Geradheitsabweichung in Y (Geradheit) | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | max. |
| Geradheitsabweichung in Z (Ebenheit) | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | max. |
| Winkelabweichung um Y (Nicken) | ± 7,5 µrad | ± 7,5 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 17,5 µrad | ± 17,5 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | max. |
| Winkelabweichung um Z (Gieren) | ± 7,5 µrad | ± 7,5 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 17,5 µrad | ± 17,5 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | max. |
| Positionieren | A-110.050A1 | A-110.050B1 | A-110.100A1 | A-110.100B1 | A-110.200A1 | A-110.200B1 | A-110.300A1 | A-110.300B1 | A-110.400A1 | A-110.400B1 | Toleranz |
| Positioniergenauigkeit in X, kalibriert | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | typ. |
| Positioniergenauigkeit in X, unkalibriert | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 2 µm | ± 1,5 µm | ± 3 µm | ± 1,5 µm | ± 4 µm | ± 1,5 µm | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | 0,1 µm | typ. |
| Referenzschalter | Encoder-Index | — | Encoder-Index | — | Encoder-Index | — | Encoder-Index | — | Encoder-Index | — | |
| Endschalter | Hall-Effekt | — | Hall-Effekt | — | Hall-Effekt | — | Hall-Effekt | — | Hall-Effekt | — | |
| Integrierter Sensor | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | |
| Sensorsignal | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | |
| Sensorsignalperiode | 20 µm | — | 20 µm | — | 20 µm | — | 20 µm | — | 20 µm | — | |
| Sensorauflösung | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | |
| Antriebseigenschaften | A-110.050A1 | A-110.050B1 | A-110.100A1 | A-110.100B1 | A-110.200A1 | A-110.200B1 | A-110.300A1 | A-110.300B1 | A-110.400A1 | A-110.400B1 | Toleranz |
| Antriebstyp | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | |
| Nennspannung | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | |
| Spitzenspannung | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | |
| Nennstrom, effektiv | 1,6 A | 1,6 A | 1,6 A | 1,6 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | typ. |
| Spitzenstrom, effektiv | 4,2 A | 4,2 A | 4,2 A | 4,2 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | typ. |
| Antriebskraft in positiver Bewegungsrichtung in X | 20 N | 20 N | 20 N | 20 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | typ. |
| Antriebskraft in negativer Bewegungsrichtung in X | 20 N | 20 N | 20 N | 20 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | typ. |
| Spitzenkraft in positiver Bewegungsrichtung in X | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | |
| Spitzenkraft in negativer Bewegungsrichtung in X | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | |
| Kraftkonstante | 4,1 N/A | 4,1 N/A | 4,1 N/A | 4,1 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | |
| Widerstand Phase-Phase | 11 Ω | 11 Ω | 11 Ω | 11 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | typ. |
| Induktivität Phase-Phase | 6 mH | 6 mH | 6 mH | 6 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | |
| Gegen-EMK Phase-Phase | 10 V·s/m | 10 V·s/m | 10 V·s/m | 10 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | max. |
| Polteilung N-N | 33,6 mm | 33,6 mm | 33,6 mm | 33,6 mm | 24 mm | 24 mm | 24 mm | 24 mm | 24 mm | 24 mm | |
| Mechanische Eigenschaften | A-110.050A1 | A-110.050B1 | A-110.100A1 | A-110.100B1 | A-110.200A1 | A-110.200B1 | A-110.300A1 | A-110.300B1 | A-110.400A1 | A-110.400B1 | Toleranz |
| Zulässige Druckkraft in Z | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | max. |
| Bewegte Masse in X, unbelastet | 2500 g | 2500 g | 2500 g | 2500 g | 2600 g | 2600 g | 2600 g | 2600 g | 2600 g | 2600 g | |
| Führung | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | Luftlager mit magnetischer Vorspannung | |
| Gesamtmasse | 6300 g | 6300 g | 7500 g | 7500 g | 11000 g | 11000 g | 12000 g | 12000 g | 14000 g | 14000 g | |
| Material | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | |
| Anschlüsse und Umgebung | A-110.050A1 | A-110.050B1 | A-110.100A1 | A-110.100B1 | A-110.200A1 | A-110.200B1 | A-110.300A1 | A-110.300B1 | A-110.400A1 | A-110.400B1 | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | |
| Anschluss | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | |
| Sensoranschluss | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | D-Sub 15 (m) | |
| Betriebsdruck | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | |
| Luftdurchsatz | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | max. |
| Luftqualität | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | |
| Empfohlene Controller/Treiber | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x |
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
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Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification A-xxx.*C1
Version / Datum
2018-08-02
pdf - 71 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch A110D0001
A-110 PIglide LC Linearversteller mit Luftlager
Version / Datum
2021-05-11
pdf - 1 MB
Englisch
3-D-Modelle
3-D-Modelle
A-110 3D-Modell
zip - 9 MB
Whitepaper
Whitepaper
Luftlager: Wann sie in Ihrer Bewegungsapplikation verwendet und wann sie vermieden werden sollten
Nicht alle Positioniertische sind gleich aufgebaut. Autor: Matt Reck, PI
Version / Datum
WP4003 2015-09
pdf - 3 MB
Englisch
Angebot / Bestellung
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A-110.050B1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 50 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110.100A1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 100 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110.100B1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 100 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110.200A1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 200 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110.200B1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 200 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110.300A1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 300 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110.300B1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 300 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
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PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 400 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
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PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 400 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
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PIglide Luftlager-Technologie
Der Magnetantrieb kann eine luftgelagerte bewegte Plattform innerhalb weniger Nanometer linear oder weniger Bogensekunden rotatorisch positionieren.
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Magnetische Direktantriebe bieten vor allem hinsichtlich Verschleiß und Dynamik Vorteile gegenüber klassischen spindelbasierten Lösungen.