A-110.050A1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 50 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110 PIglide LC Lineartisch mit Luftlager
Hochleistungs-Nanopositioniertisch mit günstigem Preis
- Ideal für Scan-Anwendungen oder hochpräzise Positionierung
- Reinraumtauglich
- Größe der Bewegungsplattform 160 mm × 200 mm
- Stellwege bis 400 mm
- Belastbarkeit bis 100 N
A-110.050, A-110.100, Abmessungen in mm
A-100.200, A-100.300, A-100.400, Abmessungen in mm
A-110 PIglide LC Lineartisch mit Luftlager
Produktbeschreibung
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Produktübersicht
PIglide Positioniersysteme besitzen einen magnetischen Linearmotor, magnetisch vorgespannte Luftlager und optische Linearencoder: Kontakt- und Reibungsfreie Bewegung für höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit.
Zubehör und Optionen
- Encoder
- PIglide Filter und Druckregler
- Ein- und mehrachsige Motion Controller
- XY-Aufbauten und individuelle Konfigurationen
- Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung
Einsatzgebiete
PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.
Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können.
Spezifikationen
Spezifikationen
Wählen Sie einen Stellweg:
| Bewegen | A-110.050A1 | A-110.050B1 | A-110.100A1 | A-110.100B1 | A-110.200A1 | A-110.200B1 | A-110.300A1 | A-110.300B1 | A-110.400A1 | A-110.400B1 | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X | X | X | X | X | X | X | X | X | X | |
| Stellweg in X | 50 mm | 50 mm | 100 mm | 100 mm | 200 mm | 200 mm | 300 mm | 300 mm | 400 mm | 400 mm | |
| Beschleunigung in X, unbelastet | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | 20 m/s² | max. |
| Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | 1000 mm/s | |
| Geradheit (Lineares Übersprechen in Y bei Bewegung in X) | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | max. |
| Ebenheit (Lineares Übersprechen in Z bei Bewegung in X) | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,75 µm | ± 0,75 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1 µm | max. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X) | ± 7,5 µrad | ± 7,5 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 17,5 µrad | ± 17,5 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | max. |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X) | ± 7,5 µrad | ± 7,5 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 17,5 µrad | ± 17,5 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | max. |
| Positionieren | A-110.050A1 | A-110.050B1 | A-110.100A1 | A-110.100B1 | A-110.200A1 | A-110.200B1 | A-110.300A1 | A-110.300B1 | A-110.400A1 | A-110.400B1 | Toleranz |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | ± 0,1 µm | typ. |
| Positioniergenauigkeit in X, kalibriert | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | ± 0,5 µm | typ. |
| Positioniergenauigkeit in X, unkalibriert | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 1,5 µm | ± 2 µm | ± 1,5 µm | ± 3 µm | ± 1,5 µm | ± 4 µm | ± 1,5 µm | typ. |
| Integrierter Sensor | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | Inkrementeller Linearencoder | Absoluter Linearencoder | |
| Sensorsignal | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | BiSS-C | |
| Sensorauflösung | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | 4,88 nm | 1 nm | |
| Sensorsignalperiode | 20 µm | 20 µm | 20 µm | 20 µm | 20 µm | ||||||
| Referenzschalter | Encoder-Index | Encoder-Index | Encoder-Index | Encoder-Index | Encoder-Index | ||||||
| Endschalter | Hall-Effekt | Hall-Effekt | Hall-Effekt | Hall-Effekt | Hall-Effekt | ||||||
| Antriebseigenschaften | A-110.050A1 | A-110.050B1 | A-110.100A1 | A-110.100B1 | A-110.200A1 | A-110.200B1 | A-110.300A1 | A-110.300B1 | A-110.400A1 | A-110.400B1 | Toleranz |
| Antriebstyp | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | |
| Nennspannung | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | 48 V | |
| Spitzenspannung | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | |
| Nennstrom, effektiv | 1,6 A | 1,6 A | 1,6 A | 1,6 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | 3,2 A | typ. |
| Spitzenstrom, effektiv | 4,2 A | 4,2 A | 4,2 A | 4,2 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | 6,9 A | typ. |
| Antriebskraft in negativer Bewegungsrichtung in X | 20 N | 20 N | 20 N | 20 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | typ. |
| Antriebskraft in positiver Bewegungsrichtung in X | 20 N | 20 N | 20 N | 20 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | 39 N | typ. |
| Spitzenkraft in negativer Bewegungsrichtung in X | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | |
| Spitzenkraft in positiver Bewegungsrichtung in X | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | 85 N | |
| Kraftkonstante | 4,1 N/A | 4,1 N/A | 4,1 N/A | 4,1 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | 12,3 N/A | |
| Widerstand Phase-Phase | 11 Ω | 11 Ω | 11 Ω | 11 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | 3,6 Ω | typ. |
| Induktivität Phase-Phase | 6 mH | 6 mH | 6 mH | 6 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | 1,24 mH | |
| Gegen-EMK Phase-Phase | 10 V·s/m | 10 V·s/m | 10 V·s/m | 10 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | 10,1 V·s/m | max. |
| Polteilung N-N | 33,6 mm | 33,6 mm | 33,6 mm | 33,6 mm | 24 mm | 24 mm | 24 mm | 24 mm | 24 mm | 24 mm | |
| Mechanische Eigenschaften | A-110.050A1 | A-110.050B1 | A-110.100A1 | A-110.100B1 | A-110.200A1 | A-110.200B1 | A-110.300A1 | A-110.300B1 | A-110.400A1 | A-110.400B1 | Toleranz |
| Führung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | Luftlagerführung mit magnetischer Vorspannung | |
| Bewegte Masse in X, unbelastet | 2500 g | 2500 g | 2500 g | 2500 g | 2600 g | 2600 g | 2600 g | 2600 g | 2600 g | 2600 g | |
| Zulässige Druckkraft in Z | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | max. |
| Gesamtmasse | 6300 g | 6300 g | 7500 g | 7500 g | 11000 g | 11000 g | 12000 g | 12000 g | 14000 g | 14000 g | |
| Material | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | |
| Anschlüsse und Umgebung | A-110.050A1 | A-110.050B1 | A-110.100A1 | A-110.100B1 | A-110.200A1 | A-110.200B1 | A-110.300A1 | A-110.300B1 | A-110.400A1 | A-110.400B1 | Toleranz |
| Anschluss | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | D-Sub 9W4 (m) | |
| Sensoranschluss | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | D-Sub 15-pol (m) | |
| Betriebsdruck | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | 515 bis 585 kPa | |
| Luftdurchsatz | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | 28 L/min | max. |
| Luftqualität | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | |
| Empfohlene Controller / Treiber | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | |
| Betriebstemperaturbereich | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C | 15 bis 25 °C |
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Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification A-xxx.*C1
Version / Datum
2018-08-02
pdf - 71 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch A110D0001
A-110 PIglide LC Linearversteller mit Luftlager
Version / Datum
2021-05-11
pdf - 1 MB
Englisch
3-D-Modelle
3-D-Modelle
A-110 3D-Modell
zip - 9 MB
Whitepaper
Whitepaper
Luftlager: Wann sie in Ihrer Bewegungsapplikation verwendet und wann sie vermieden werden sollten
Nicht alle Positioniertische sind gleich aufgebaut. Autor: Matt Reck, PI
Version / Datum
WP4003 2015-09
pdf - 3 MB
Englisch
Angebot / Bestellung
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A-110.050B1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 50 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110.100A1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 100 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110.100B1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 100 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110.200A1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 200 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110.200B1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 200 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110.300A1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 300 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110.300B1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 300 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110.400A1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 400 mm Stellweg, inkrementeller Linearencoder mit sin/cos-Signalübertragung, 20 µm Sensorsignalperiode, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
A-110.400B1
PIglide LC Lineartisch, Luftlager, 400 mm Stellweg, absoluter Linearencoder mit BiSS-C-Signalübertragung, 1 nm Sensorauflösung, eisenloser 3-Phasen-Linearmotor, 48 V
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Kompatible Elektroniken
Kompatibles Zubehör
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