Produktübersicht
A-523 ist ein luftgelagerter Hub-Kipptisch mit Direktantrieb. Ausgelegt als parallelkinematisches Mehrachssystem, macht die Plattform sowohl Hub- als auch Kippbewegungen. Dieser Tisch bietet höchste Präzision bei niedriger Bauhöhe. Die Kombination der berührungslosen Baugruppen ergibt eine reibungslose Bewegungsplattform, die höchste Leistung, Qualität und Lebensdauer bietet.
Wenn der A-523 zusammen mit einem Controller der Reihen A-81x oder A-82x bezogen wird, übernimmt PI die Konfiguration und Verkabelung des Hub-Kipptisches, mit angewandter Servo-Optimierung und unter Last. Sie erhalten ein komplettes, sofort einsatzbereites Positioniersystem.
Zubehör und Optionen
Einsatzgebiete
Der Hub-Kipptisch ist ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen, wie Wafer-Inspektion, Faserpositionierung, Optikpositionierung, Flachbildschirm-Inspektion, Maskenlose Lithographie und Ultra-LED-Herstellung. Der berührungslose Aufbau ist ideal geeignet für Anwendungen im Reinraum.
| Bewegen | A-523.25005B3 | Toleranz |
|---|---|---|
| Aktive Achsen | Z ǀ θX ǀ θY | |
| Stellweg in Z | 5 mm | |
| Rotationsbereich in θX | 2 ° | |
| Rotationsbereich in θY | 1,6 ° | |
| Beschleunigung in Z, unbelastet | 10 m/s² | max. |
| Maximale Geschwindigkeit in Z, unbelastet | 200 mm/s | |
| Gieren (Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Z) | ± 25 µrad | typ. |
| Neigen (Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in Z) | ± 25 µrad | typ. |
| Positionieren | A-523.25005B3 | Toleranz |
| Kleinste Schrittweite in Z | 0,01 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in θX | 0,06 µrad | typ. |
| Kleinste Schrittweite in θY | 0,06 µrad | typ. |
| Positioniergenauigkeit in Z, kalibriert | ± 0,5 µm | typ. |
| Positioniergenauigkeit in θX, unkalibriert | ± 15 µrad | typ. |
| Positioniergenauigkeit in θY, unkalibriert | ± 15 µrad | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | 0,25 µm | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in θX | 8 µrad | typ. |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in θY | 8 µrad | typ. |
| Integrierter Sensor | Absoluter Linearencoder | |
| Sensorsignal | BiSS-C | |
| Sensorauflösung | 1 nm | |
| Antriebseigenschaften | A-523.25005B3 | Toleranz |
| Antriebstyp | Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor | |
| Nennspannung | 24 V | |
| Spitzenspannung | 60 V | |
| Nennstrom, effektiv | 1,4 A | typ. |
| Spitzenstrom, effektiv | 2,8 A | typ. |
| Kraftkonstante | 5,9 N/A | |
| Widerstand Phase-Phase | 5,2 Ω | typ. |
| Induktivität Phase-Phase | 1 mH | |
| Gegen-EMK Phase-Phase | 4,2 V·s/m | max. |
| Polteilung N-N | 19,66 mm | |
| Mechanische Eigenschaften | A-523.25005B3 | Toleranz |
| Zulässige Druckkraft in Z | 80 N | max. |
| Führung | Luftlager mit Luftvorspannung | |
| Gesamtmasse | 8200 g | |
| Material | Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl | |
| Anschlüsse und Umgebung | A-523.25005B3 | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | +15 bis +25 °C | |
| Anschluss | HD D-Sub 26 (m) | |
| Luftanschluss | Steckverbinder für Einhandbedienung, für Schlauch mit 6 mm Außendurchmesser | |
| Betriebsdruck | 515 bis 585 (75 bis 85 psi) kPa | |
| Luftdurchsatz | 84 L/min | max. |
| Luftqualität | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1 ǀ Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 | |
| Empfohlene Controller / Treiber | A-814 (vier Achsen), A-82x (4 / 6 / 8 Achsen) |
Hinweis zu Stellweg und Rotationsbereichen: Der Stellweg in Z und die Rotationsbereiche in θX und θY hängen zusammen. Die Angaben in der Tabelle zeigen für jede Achse den maximalen Stellweg, wenn alle anderen Achsen an der Referenzposition stehen. Hat eine Achse ihre Maximalposition erreicht, ist eine Bewegung der anderen Achsen nicht möglich.
Hinweis zu Beschleunigung und Geschwindigkeit: Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand.
Hinweis zur Positioniergenauigkeit: Die kalibrierte Genauigkeit kann nur mit Controller-gesteuerter Fehlerkompensation erreicht werden. Der Tisch muss mit einem Controller von PI geordert werden, um diese Werte zu erreichen. Genauigkeitswerte gehen von kurzfristiger Dauer aus und berücksichtigen die Langzeitfolgen des thermischen Drifts auf den Tisch nicht.
Hinweis zur kleinsten Schrittweite: Steht in direktem Zusammenhang mit der Systemstabilität (Servozittern); diese ist vom verwendeten Servoantrieb abhängig. Die Positionsstabilität kann durch den Einsatz von ServoBoostTM PLUS auf einem ACS SPiiPlus Controller verbessert werden.
Hinweis zu Nenn-, Spitzenspannung und Nenn-, Spitzenstrom: Die angegebenen Werte gelten pro Motor. Der Tisch enthält drei Motoren.
Hinweis zur zulässigen Druckkraft: Geht von einem Betriebsdruck der Luftlager von 480 kPa aus. Der Tisch ist nur für den horizontalen Betrieb ausgelegt.
Hinweis zum Betriebsdruck: Zum Schutz des Tischs gegen Schäden wird empfohlen, einen Luftdrucksensor an den E-Stop-Eingang des Controllers anzuschließen.
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
A-523 PIglide Hub-Kipptisch mit Luftlager
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PIglide hochpräziser Hub-Kipptisch mit Luftlager; Eisenloser 3-Phasen-Linearmotor; 5 mm Stellweg; 2 ° × 1,6 ° Rotationswinkel (θX × θY); 80 N Belastbarkeit; 200 mm/s maximale Geschwindigkeit; Absoluter Linearencoder, 1 nm Sensorauflösung, BiSS-C
