6-Achsen-System der Präzisionsklasse
Parallelkinematischer Aufbau für sechs Freiheitsgrade, dadurch wesentlich kompakter und steifer als Seriellkinematik-Systeme, höhere Dynamik, keine bewegten Kabel: Höhere Zuverlässigkeit, reduzierte Reibung. Geeignet für Vakuumumgebung bis 10-6 hPa.
Kompakt durch gefaltetes Antriebsdesign
PIVirtualMove
Die Simulationssoftware simuliert die Grenzen des Arbeitsraums und der Belastbarkeit eines Hexapoden. Damit kann bereits vor einer Kaufentscheidung überprüft werden, ob ein bestimmtes Hexapod-Modell die auftretenden Lasten, Kräfte und Momente in einer Anwendung aufnehmen kann. Das Simulationstool berücksichtigt dazu die Lage und die Bewegung des Hexapoden, sowie die Position des Pivotpunkts und verschiedene Bezugskoordinatensysteme.
Einsatzgebiete
Industrie und Forschung. Für Mikromanipulation, Biotechnologie, Halbleiterfertigung
| Bewegen | H-824.D2V | H-824.G2V | Toleranz |
|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ | X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ | |
| Stellweg in X | ± 22,5 mm | ± 22,5 mm | |
| Stellweg in Y | ± 22,5 mm | ± 22,5 mm | |
| Stellweg in Z | ± 12,5 mm | ± 12,5 mm | |
| Rotationsbereich in θX | ± 7,5 ° | ± 7,5 ° | |
| Rotationsbereich in θY | ± 7,5 ° | ± 7,5 ° | |
| Rotationsbereich in θZ | ± 12,5 ° | ± 12,5 ° | |
| Maximale Geschwindigkeit in X | 12,5 mm/s | 0,5 mm/s | |
| Maximale Geschwindigkeit in Y | 12,5 mm/s | 0,5 mm/s | |
| Maximale Geschwindigkeit in Z | 12,5 mm/s | 0,5 mm/s | |
| Maximale Winkelgeschwindigkeit in θX | 135 mrad/s | 5,5 mrad/s | |
| Maximale Winkelgeschwindigkeit in θY | 135 mrad/s | 5,5 mrad/s | |
| Maximale Winkelgeschwindigkeit in θZ | 135 mrad/s | 5,5 mrad/s | |
| Typische Geschwindigkeit in X | 5 mm/s | 0,2 mm/s | |
| Typische Geschwindigkeit in Y | 5 mm/s | 0,2 mm/s | |
| Typische Geschwindigkeit in Z | 5 mm/s | 0,2 mm/s | |
| Typische Winkelgeschwindigkeit in θX | 28 mrad/s | 2,3 mrad/s | |
| Typische Winkelgeschwindigkeit in θY | 28 mrad/s | 2,3 mrad/s | |
| Typische Winkelgeschwindigkeit in θZ | 28 mrad/s | 2,3 mrad/s | |
| Positionieren | H-824.D2V | H-824.G2V | Toleranz |
| Kleinste Schrittweite in X | 2 µm | 0,3 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in Y | 2 µm | 0,3 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in Z | 1 µm | 0,3 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in θX | 12 µrad | 3,5 µrad | typ. |
| Kleinste Schrittweite in θY | 12 µrad | 3,5 µrad | typ. |
| Kleinste Schrittweite in θZ | 14 µrad | 3,5 µrad | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 0,5 µm | ± 0,4 µm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | ± 0,5 µm | ± 0,4 µm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | ± 0,15 µm | ± 0,1 µm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θX | ± 3 µrad | ± 2 µrad | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θY | ± 3 µrad | ± 2 µrad | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θZ | ± 2,5 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| Umkehrspiel in X | 3 µm | 5 µm | typ. |
| Umkehrspiel in Y | 3 µm | 5 µm | typ. |
| Umkehrspiel in Z | 1,5 µm | 1,5 µm | typ. |
| Umkehrspiel in θX | 20 µrad | 30 µrad | typ. |
| Umkehrspiel in θY | 20 µrad | 30 µrad | typ. |
| Umkehrspiel in θZ | 60 µrad | 45 µrad | typ. |
| Antriebseigenschaften | H-824.D2V | H-824.G2V | Toleranz |
| Antriebstyp | DC-Motor | DC-Getriebemotor | |
| Nennspannung | 24 V | 24 V | |
| Mechanische Eigenschaften | H-824.D2V | H-824.G2V | Toleranz |
| Steifigkeit in X | 1,7 N/µm | 1,7 N/µm | |
| Steifigkeit in Y | 1,7 N/µm | 1,7 N/µm | |
| Steifigkeit in Z | 7 N/µm | 7 N/µm | |
| Maximale Nutzlast, beliebige Ausrichtung | 1,25 kg | 2,5 kg | |
| Maximale Nutzlast, horizontale Ausrichtung | 2,5 kg | 5 kg | |
| Maximale Haltekraft, passiv, beliebige Ausrichtung | 5 N | 25 N | |
| Maximale Haltekraft, passiv, horizontale Ausrichtung | 15 N | 50 N | |
| Gesamtmasse | 8 kg | 8 kg | |
| Material | Aluminium | Aluminium | |
| Anschlüsse und Umgebung | H-824.D2V | H-824.G2V | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | -10 bis 50 °C | -10 bis 50 °C | |
| Vakuumklasse | 10⁻⁶ ǀ hPa | 10⁻⁶ ǀ hPa | |
| Maximale Ausheiztemperatur | 80 °C | 80 °C | |
| Anschluss Datenübertragung | HD D-Sub 78 (m) | HD D-Sub 78 (m) | |
| Anschluss Versorgungsspannung | LEMO | LEMO | |
| Kabellänge | 2 m | 2 m | |
| Empfohlene Controller / Treiber | C-887.5x | C-887.5x |
Bei Dauerbetrieb im Vakuum können sich aufgrund von Wärmeentwicklung gegebenenfalls Einschränkungen der Betriebsparameter ergeben.
Luftseitige Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden.
Sonderausführungen auf Anfrage.
Bei der Vermessung der Positionsspezifikationen wird die typische Geschwindigkeit verwendet. Die Daten werden als Messprotokoll mit dem Produkt ausgeliefert und bei PI vorgehalten.
Die maximalen Stellwege der einzelnen Koordinaten (X, Y, Z, θX, θY, θZ) sind voneinander abhängig. Die Daten für jede Achse zeigen jeweils ihren maximalen Stellweg, wenn alle anderen Achsen auf der Nullposition des Nominalstellweges stehen und das werkseitige Koordinatensystem verwendet wird, beziehungsweise wenn der Pivotpunkt auf 0,0,0 gesetzt ist.
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
H-824 Kompakter Hexapod-Mikroroboter
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Kompakter Hexapod-Mikroroboter, Direktantrieb, 12,5 mm/s, 2,5 kg Last, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa, D-Sub-Stecker, Kabelsatz 2 m vakuumseitig, Durchführung. Luftseitige Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden.
Kompakter Hexapod-Mikroroboter, getriebeübersetzt, 0,5 mm/s, 5 kg Last, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa, D-Sub-Stecker, Kabelsatz 2 m vakuumseitig, Durchführung. Luftseitige Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden.
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EtherCAT Netzwerke integrieren PI-Controller als Slave. ACS Motion Controller können als EtherCAT Master oder untergeordnet in einer bestehenden Busarchitektur eingebunden werden.
Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.
Hexapoden sind Systeme für die Bewegung und Positionierung, Justierung und Verschiebung von Lasten in sechs Achsen im Raum, linear und rotatorisch.
Sample Manipulators in High-Vacuum
At Diamond Light Source, UK, beamline I07 is a high-resolution X-ray diffraction beamline dedicated to investigate the structure of surfaces and interfaces.
At DESY in Hamburg, the P05 Imaging Beamline is operated by the HZG.
