Einsatzgebiete
Die Vakuumvariante des H-811 lässt sich aufgrund des kleinen Formfaktors gut in Vakuumkammern einbauen. Mit seiner hohen Genauigkeit kann der H-811.I2V komplexe Ausrichtprozesse äußerst präzise und effizient ausführen. Hier trägt er wesentlich dazu bei, die Produktivität komplexer Fertigungs- oder Messverfahren zu steigern.
Hohe Dynamik bei äußerster Zuverlässigkeit
Aufgrund des parallelkinematischen Designs kann der Hexapod Bewegungen in 6 Achsen in äußerst kompakter Bauform ausführen. Durch den Einsatz bürstenloser DC-Motoren und durch seine steife mechanische Konstruktion bietet der H-811 die Dynamik, die für aktive Ausrichtungsanwendungen erforderlich ist, selbst wenn externe Störungen (z. B. bei Klebeprozessen) auftreten. Umfangreiche Softwaretools bieten Unterstützung, indem sie die Systemabstimmung vereinfachen und automatische Routinen für die Ausrichtung auf ein externes analoges Steuersignal bereitstellen.
Bewegungssimulation zum Schutz des Gesamtsystems
Die Software PIVirtualMove, die kostenfrei heruntergeladen werden kann, simuliert den Stellweg, die Ausrichtung und die zulässigen Kräfte und Momente des H-811, um eine optimale Systemkonfiguration zu ermöglichen. Dabei wird sowohl der gewählte Drehpunkt als auch der Lastschwerpunkt berücksichtigt.
Work- und Tool-Koordinatensysteme sowie ein Emulationstool sind in dem kostenfreien Softwarepaket enthalten, das zum Lieferumfang des Hexapod-Controllers gehört. Die bereitgestellten Tools helfen, kritische Komponenten wie z. B. optische oder photonische Bauteile zu schützen.
| Bewegen | H-811.I2V | Toleranz |
|---|---|---|
| Aktive Achsen | X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ | |
| Stellweg in X | ± 17 mm | |
| Stellweg in Y | ± 16 mm | |
| Stellweg in Z | ± 6,5 mm | |
| Rotationsbereich in θX | ± 10 ° | |
| Rotationsbereich in θY | ± 10 ° | |
| Rotationsbereich in θZ | ± 21 ° | |
| Maximale Geschwindigkeit in X | 10 mm/s | |
| Empfohlene Geschwindigkeit in X | 5 mm/s | |
| Maximale Geschwindigkeit in Y | 10 mm/s | |
| Empfohlene Geschwindigkeit in Y | 5 mm/s | |
| Maximale Geschwindigkeit in Z | 10 mm/s | |
| Empfohlene Geschwindigkeit in Z | 5 mm/s | |
| Maximale Winkelgeschwindigkeit in θX | 250 mrad/s | |
| Empfohlene Winkelgeschwindigkeit in θX | 120 mrad/s | |
| Maximale Winkelgeschwindigkeit in θY | 250 mrad/s | |
| Empfohlene Winkelgeschwindigkeit in θY | 120 mrad/s | |
| Maximale Winkelgeschwindigkeit in θZ | 250 mrad/s | |
| Empfohlene Winkelgeschwindigkeit in θZ | 120 mrad/s | |
| Positionieren | H-811.I2V | Toleranz |
| Kleinste Schrittweite in X | 0,2 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in Y | 0,2 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in Z | 0,08 µm | typ. |
| Kleinste Schrittweite in θX | 2,5 µrad | typ. |
| Kleinste Schrittweite in θY | 2,5 µrad | typ. |
| Kleinste Schrittweite in θZ | 5 µrad | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | ± 0,15 µm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | ± 0,15 µm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | ± 0,06 µm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θX | ± 2 µrad | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θY | ± 2 µrad | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in θZ | ± 3 µrad | typ. |
| Umkehrspiel in X | 0,2 µm | typ. |
| Umkehrspiel in Y | 0,2 µm | typ. |
| Umkehrspiel in Z | 0,06 µm | typ. |
| Umkehrspiel in θX | 2 µrad | typ. |
| Umkehrspiel in θY | 2 µrad | typ. |
| Umkehrspiel in θZ | 4 µrad | typ. |
| Antriebseigenschaften | H-811.I2V | Toleranz |
| Antriebstyp | Bürstenloser DC-Motor | |
| Mechanische Eigenschaften | H-811.I2V | Toleranz |
| Steifigkeit in X | 0,7 N/µm | |
| Steifigkeit in Y | 0,7 N/µm | |
| Steifigkeit in Z | 8 N/µm | |
| Maximale Nutzlast, beliebige Ausrichtung | 2,5 kg | |
| Maximale Nutzlast, horizontale Ausrichtung | 5 kg | |
| Maximale Haltekraft, passiv, beliebige Ausrichtung | 2,5 N | |
| Maximale Haltekraft, passiv, horizontale Ausrichtung | 15 N | |
| Gesamtmasse | 2,2 kg | |
| Material | Edelstahl, Aluminium | |
| Anschlüsse und Umgebung | H-811.I2V | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | 0 bis 50 °C | |
| Vakuumklasse | 10⁻⁶ ǀ hPa | |
| Maximale Ausheiztemperatur | 80 °C | |
| Anschluss Datenübertragung | HD D-Sub 78 (m) | |
| Anschluss Versorgungsspannung | LEMO | |
| Kabellänge | 2 m | |
| Kabel-Außendurchmesser Versorgungsspannung | 4,7 mm | |
| Minimaler Kabel-Biegeradius bei Festinstallation, Versorgungsspannung | 50 mm | |
| Kabel-Außendurchmesser Datenübertragung | 6,6 mm | |
| Minimaler Kabel-Biegeradius bei Festinstallation, Datenübertragung | 70 mm | |
| Empfohlene Controller/Treiber | C-887.5x |
Die Fixkabel des H-811.I2V sind nicht schleppkettentauglich.
Hinweis zu Kabel-Außendurchmesser Datenübertragung: Der Anschluss zur Datenübertragung besteht aus 2 Kabeln, die in einen Stecker münden. Der angegebene Durchmesser gilt pro Kabel.
Luftseitige Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden.
Bei Dauerbetrieb im Vakuum kann aufgrund von Wärmeentwicklung gegebenenfalls eine Einschränkung der Betriebsparameter erforderlich sein.
Bei der Vermessung der Positionsspezifikationen wird die typische Geschwindigkeit verwendet. Die Daten werden als Messprotokoll mit dem Produkt ausgeliefert und bei PI vorgehalten.
Die maximalen Stellwege der einzelnen Koordinaten (X, Y, Z, θX, θY, θZ) sind voneinander abhängig. Die Daten für jede Achse zeigen jeweils ihren maximalen Stellweg, wenn alle anderen Achsen auf der Nullposition des Nominalstellweges stehen und das werkseitige Koordinatensystem verwendet wird, beziehungsweise wenn der Pivotpunkt auf 0,0,0 gesetzt ist.
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
H-811 Miniatur-Hexapoden
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Miniatur-Hexapod; BLDC-Motor; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa; 5 kg Nutzlast; 10 mm/s Geschwindigkeit; 2 m Kabellänge (vakuumseitig); Durchführungen. Luftseitige Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden.
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EtherCAT Netzwerke integrieren PI-Controller als Slave. ACS Motion Controller können als EtherCAT Master oder untergeordnet in einer bestehenden Busarchitektur eingebunden werden.
In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Dadurch können die dynamischen Eigenschaften der Achsen identisch ausgelegt und die bewegte Masse stark reduziert werden.
Sorgfältige Handhabung und adäquate Räumlichkeiten: PI verfügt nicht nur über die Ausstattung zur Qualifizierung von Materialien, Komponenten und Endprodukten, sondern auch über langjährige Erfahrung im Bereich der HV- und UHV-Positioniersysteme.
Bewegungssimulatoren haben höhere Anforderungen an die Dynamik der Bewegung (Shaker).
Hexapoden sind Systeme für die Bewegung und Positionierung von Lasten in sechs Freiheitsgraden – in drei translatorischen Achsen und drei rotatorischen Achsen.
Der Vorteil eines Parallelkinematik-Mehrachsensystem ist, dass es kompakter gebaut werden kann, da nur es nur eine bewegte Plattform gibt.
Investigation of the structural properties of thin films under high-vacuum conditions.
Sample Manipulators in High-Vacuum
At Diamond Light Source, UK, beamline I07 is a high-resolution X-ray diffraction beamline dedicated to investigate the structure of surfaces and interfaces.
At DESY in Hamburg, the P05 Imaging Beamline is operated by the HZG.
