C-815.VFxx Vakuumdurchführungen

Schnittstelle zwischen Luftseite und Hochvakuum (HV) bzw. Ultrahochvakuum (UHV)

Zubehör für vakuumgeeignete Positioniertische
Abschluss und Ausleitung aus Vakuumkammern
Vakuumkompatibel bis 10^-9 hPa

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C-815.VFU1

C-815.VF, Abmessungen in mm

C-815.VFU33, Abmessungen in mm

C-815.VFU11, Abmessungen in mm

C-815.VFU15, Abmessungen in mm

C-815.VFU6, Abmessungen in mm

C-815.VFU3, Abmessungen in mm

C-815.VFU1, Abmessungen in mm

C-815.VF9, Abmessungen in mm

C-815.VF26, Abmessungen in mm

C-815.VFU66, Abmessungen in mm

Vakuumdurchführungen sind die Schnittstelle zwischen Positionierer in einem Vakuumvolumen und Controller auf der Luftseite. Mit ihnen ist es möglich, Standard-Controller an Vakuumanwendungen anzubinden. Vakuumdurchführungen sind für verschiedene Anschlüsse und für eine unterschiedliche Anzahl von Kabeln verfügbar. Die Kabel sind nicht Teil des Lieferumfangs der Durchführungen.

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Datenblatt

Version / Datum

2019-12-17

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2019-12-17

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Version / Datum

2021-01-14

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Eigenschaften	V6-Durchführungen	V7- und V9-Durchführungen	Einheit
Dichtung	Fluorelastomer	Glaskeramik
Flansch	Aluminiumlegierung, gelb chromatiert	Edelstahl 316L
Prüfspannung	1000	500	V
Max. Strom pro Pin	5	5	A
Temperaturbereich	-40 bis 125	-200 bis 300	°C
Leckrate	< 5 × 10^-9	< 5 × 10^-10	mbar l/s He
Gesamtmasseverlust (TML)	< 1		%
Aufgefangene flüchtige kondensierbare Anteile (CVCM)	< 0,1		%

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C-815.VF

Vakuumdurchführung, D-Sub 15 (m/f), geeignet für Hochvakuum (bis 10^-6 hPa)

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C-815.VF26

Vakuumdurchführung, HD D-Sub 26 (m/f), geeignet für Hochvakuum (bis 10^-6 hPa)

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C-815.VF9

Vakuumdurchführung, D-Sub 9 (m/f), geeignet für Hochvakuum (bis 10^-6 hPa)

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C-815.VFU1

Vakuumdurchführung, CF40-Flansch, 1 × D-Sub 15 (m/m), geeignet für Hochvakuum (bis 10^-7 hPa) und Ultrahochvakuum (bis 10^-9 hPa)

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C-815.VFU3

Vakuumdurchführung, CF63-Flansch, 3 × D-Sub 15 (m/m), geeignet für Hochvakuum (bis 10^-7 hPa) und Ultrahochvakuum (bis 10^-9 hPa)

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C-815.VFU6

Vakuumdurchführung, CF100-Flansch, 6 × D-Sub 15 (m/m), geeignet für Hochvakuum (bis 10^-7 hPa) und Ultrahochvakuum (bis 10^-9 hPa)

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C-815.VFU15

Vakuumdurchführung, CF160-Flansch, 15 × D-Sub 15 (m/m), geeignet für Hochvakuum (bis 10^-7 hPa) und Ultrahochvakuum (bis 10^-9 hPa)

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C-815.VFU11

Vakuumdurchführung, CF63-Flansch, 1 × D-Sub 9 (m/m) und 1 × D-Sub 15 (m/m), geeignet für Hochvakuum (bis 10^-7 hPa) und Ultrahochvakuum (bis 10^-9 hPa)

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C-815.VFU33

Vakuumdurchführung, CF100-Flansch, 3 × D-Sub 9 (m/m) und 3 × D-Sub 15 (m/m), geeignet für Hochvakuum (bis 10^-7 hPa) und Ultrahochvakuum (bis 10^-9 hPa)

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C-815.VFU66

Vakuumdurchführung, CF160-Flansch, 6 × D-Sub 9 (m/m) und 6 × D-Sub 15 (m/m), geeignet für Hochvakuum (bis 10^-7 hPa) und Ultrahochvakuum (bis 10^-9 hPa)

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Sonderausführung auf Anfrage Anfrageliste