C-815.VFxx Vakuumdurchführungen
Schnittstelle zwischen Luftseite und Hochvakuum (HV) bzw. Ultrahochvakuum (UHV)
- Zubehör für vakuumgeeignete Positioniertische
- Abschluss und Ausleitung aus Vakuumkammern
- Vakuumkompatibel bis 10-9 hPa
Anbindung von Standard-Controllern an Vakuumanwendungen
Vakuumdurchführungen sind die Schnittstelle zwischen Positionierer in einem Vakuumvolumen und Controller auf der Luftseite. Mit ihnen ist es möglich, Standard-Controller an Vakuumanwendungen anzubinden. Vakuumdurchführungen sind für verschiedene Anschlüsse und für eine unterschiedliche Anzahl von Kabeln verfügbar. Die Kabel sind nicht Teil des Lieferumfangs der Durchführungen.
Spezifikationen
Spezifikationen
Eigenschaften | V6-Durchführungen | V7- und V9-Durchführungen | Einheit |
---|---|---|---|
Dichtung | Fluorelastomer | Glaskeramik | |
Flansch | Aluminiumlegierung, gelb chromatiert | Edelstahl 316L | |
Prüfspannung | 1000 | 500 | V |
Max. Strom pro Pin | 5 | 5 | A |
Temperaturbereich | -40 bis 125 | -200 bis 300 | °C |
Leckrate | < 5 × 10-9 | < 5 × 10-10 | mbar l/s He |
Gesamtmasseverlust (TML) | < 1 | % | |
Aufgefangene flüchtige kondensierbare Anteile (CVCM) | < 0,1 | % |
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