Vakuumgeeigneter Präzisionshubtisch; 2-Phasen-Schrittmotor; 26 mm Stellweg; 55 N Belastbarkeit; 7,5 mm/s maximale Geschwindigkeit; Kugelumlaufspindel; Inkrementeller Linearencoder, 20 µm Sensorsignalperiode, Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze; vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
L-310 V6 Vakuumgeeigneter Präzisionshubtisch
Kompakt kombinierbar mit Linear- und Drehtischen
- Vakuumgeeignet bis zu 10-6 hPa
- Stellweg 26 mm (1")
- Hochauflösender Encoder
- Schrittmotor
- Spielfreie Kugelumlaufspindel
- Belastbarkeit bis 5,5 kg
Hubtisch der Präzisionsklasse
Hohe Führungsgenauigkeit und Steifigkeit durch Kugelumlaufspindel und Kreuzrollenführungen. Grundprofil aus entspanntem Aluminium für hohe Stabilität. 2-Phasen-Schrittmotor für hohes Drehmoment auch bei kleinen Geschwindigkeiten und hohe Auflösung. Kontaktlose End- und Referenzschalter (Hall-Effekt). Referenzschalter mit Richtungserkennung in der Mitte des Stellwegs. Integrierter Linearencoder, zentrisch montiert.
Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder
Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.
Reduziertes Ausgasen speziell für den Einsatz in Vakuumumgebung
Insbesondere die Schmierung der Führung und der Spindel ist mit einem besonders ausgasarmen Stoff durchgeführt. Damit kann eine Ausheiztemperatur bis 80 °C erreicht werden. Durch diese und weitere Modifikationen der PI Vakuumklasse V6 kann dieser Positionierer bei bis zu 10-6 hPa verwendet werden.
Einsatzgebiete
Vakuumkammern. Forschung. Beamline-Instrumentierung. Mikroskopie. Elektronikmontage und -inspektion.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen | L-310.021211V6 | Toleranz |
---|---|---|
Aktive Achsen | Z | |
Stellweg in Z | 26 mm | |
Maximale Geschwindigkeit in Z, unbelastet | 7,5 mm/s | |
Geradheitsabweichung E_XZ | ± 3 µm | typ. |
Geradheitsabweichung E_YZ | ± 3 µm | typ. |
Winkelabweichung E_AZ | ± 150 µrad | typ. |
Winkelabweichung E_BZ | ± 150 µrad | typ. |
Positionieren | L-310.021211V6 | Toleranz |
Kleinste Schrittweite in Z | 0,05 µm | typ. |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | ± 0,05 µm | typ. |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | 0,4 µm | typ. |
Referenzschalter | Hall-Effekt, Öffner, 5 V, NPN | |
Wiederholgenauigkeit des Referenzschalters | 2 µm | |
Endschalter | Hall-Effekt, Öffner, 5 V, NPN | |
Integrierter Sensor | Inkrementeller Linearencoder | |
Sensorsignal | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze | |
Sensorsignalperiode | 20 µm | |
Antriebseigenschaften | L-310.021211V6 | Toleranz |
Antriebstyp | 2-Phasen-Schrittmotor | |
Nennspannung | 24 V | |
Spitzenspannung | 48 V | |
Motorauflösung | 200 Vollschritte/U | |
Antriebskraft in positiver Bewegungsrichtung in Z | 55 N | typ. |
Antriebskraft in negativer Bewegungsrichtung in Z | 55 N | typ. |
Mechanische Eigenschaften | L-310.021211V6 | Toleranz |
Zulässige Druckkraft in X | 100 N | max. |
Zulässige Druckkraft in Y | 50 N | max. |
Zulässige Druckkraft in Z | 55 N | max. |
Zulässiges Moment in θX | 40 N·m | max. |
Zulässiges Moment in θY | 80 N·m | max. |
Zulässiges Moment in θZ | 80 N·m | max. |
Haltekraft in Z, passiv | 50 N | |
Bewegte Masse in Z, unbelastet | 900 g | |
Spindeltyp | Kugelumlaufspindel | |
Spindelsteigung | 1 mm | |
Führung | Kreuzrollenführung | |
Gesamtmasse | 2600 g | |
Material | Aluminium eloxiert | |
Anschlüsse und Umgebung | L-310.021211V6 | Toleranz |
Betriebstemperaturbereich | 5 bis 40 °C | |
Vakuumklasse | 10⁻⁶ ǀ hPa | |
Anschluss | HD D-Sub 26 (m) | |
Sensoranschluss | D-Sub 9 (m) | |
Empfohlene Controller / Treiber | C-663.12 C-885 mit C-663.12C885 Modularer ACS Controller |
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
User Manual L310T0005
L-310.021211V6
3-D-Modelle
3D-Modell L-310.021211V6
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Vakuum
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Drehende Elektromotoren
Die drehenden Elektromotoren, wie zum Beispiel DC- oder Schrittmotoren, werden in Verbindung mit Spindel- oder Schneckenantrieb eingesetzt.