P-611.20
XY-Nanopositionierer; 120 µm × 120 µm Stellweg (ungeregelt) (X × Y); LEMO-Stecker; 1,5 m Kabellänge
P-611.XZ • P-611.2 XZ- und XY-Nanopositionierer
Kompakter zweiachsiger Piezo-Nanopositionierer
- Kompakt: Grundfläche 44 mm × 44 mm
- Stellweg bis 120 µm × 120 µm
- Auflösung bis 0,2 nm
- Besonders kostengünstige Systeme (Mechanik und Controller)
- Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- Auch als Linear- und Hubtisch und als XYZ-Version erhältlich
P-611.2S, Abmessungen in mm
P-611.XZS, Abmessungen in mm
P-611.XZ • P-611.2 XZ- und XY-Nanopositionierer
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Einsatzgebiete
- Interferometrie
- Mikroskopie
- Nanopositionierung
- Biotechnologie
- Prüfverfahren und Qualitätssicherung
- Photonik
- Faserpositionierung
- Halbleitertechnik
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Spezifikationen
Spezifikationen
Wählen Sie einen Stellweg:
| Bewegen | P-611.20 | P-611.2S | P-611.XZ0 | P-611.XZS | Toleranz |
|---|---|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X ǀ Y | X ǀ Y | X ǀ Z | X ǀ Z | |
| Stellweg in X, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 120 µm | 120 µm | 120 µm | 120 µm | +20 % / -0 % |
| Stellweg in Y, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | 120 µm | 120 µm | — | — | +20 % / -0 % |
| Stellweg in Z, ungeregelt, bei -20 bis 120 V | — | — | 120 µm | 120 µm | +20 % / -0 % |
| Linearitätsabweichung | — | 0,1 % | — | 0,1 % | typ. |
| Winkelabweichung E_AY (Nicken) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Winkelabweichung E_BX (Nicken) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Winkelabweichung E_CX (Gieren) | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | typ. |
| Winkelabweichung E_CY (Gieren) | ± 10 µrad | ± 10 µrad | — | — | typ. |
| Stellweg in X | — | 100 µm | — | 100 µm | |
| Stellweg in Y | — | 100 µm | — | — | |
| Winkelabweichung E_AZ | — | — | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Winkelabweichung E_BZ | — | — | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Stellweg in Z | — | — | — | 100 µm | |
| Positionieren | P-611.20 | P-611.2S | P-611.XZ0 | P-611.XZS | Toleranz |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | — | ± 10 nm | — | ± 10 nm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | — | ± 10 nm | — | — | typ. |
| Auflösung, ungeregelt | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | 0,2 nm | typ. |
| Integrierter Sensor | — | DMS, indirekte Positionsmessung | — | DMS, indirekte Positionsmessung | |
| Systemauflösung | — | 2 nm | — | 2 nm | typ. |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Z | — | — | — | ± 10 nm | typ. |
| Antriebseigenschaften | P-611.20 | P-611.2S | P-611.XZ0 | P-611.XZS | Toleranz |
| Antriebstyp | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | |
| Elektrische Kapazität | 1,5 µF | 1,5 µF | 1,5 µF | 1,5 µF | ±20 % |
| Mechanische Eigenschaften | P-611.20 | P-611.2S | P-611.XZ0 | P-611.XZS | Toleranz |
| Steifigkeit in X | 0,2 N/µm | 0,2 N/µm | 0,2 N/µm | 0,2 N/µm | ±20 % |
| Steifigkeit in Y | 0,2 N/µm | 0,2 N/µm | — | — | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, unbelastet | 345 Hz | 345 Hz | 365 Hz | 365 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 30 g | 270 Hz | 270 Hz | 280 Hz | 280 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in X, belastet mit 100 g | 180 Hz | 180 Hz | 185 Hz | 185 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, unbelastet | 270 Hz | 270 Hz | — | — | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 30 g | 225 Hz | 225 Hz | — | — | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Y, belastet mit 100 g | 165 Hz | 165 Hz | — | — | ±20 % |
| Zulässige Druckkraft in X | 15 N | 15 N | 15 N | 15 N | max. |
| Zulässige Druckkraft in Y | 15 N | 15 N | — | — | max. |
| Zulässige Druckkraft in Z | 15 N | 15 N | 15 N | 15 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in X | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Zulässige Zugkraft in Y | 10 N | 10 N | — | — | max. |
| Gesamtmasse | 235 g | 235 g | 270 g | 270 g | ±5 % |
| Material | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | Aluminium, Stahl | |
| Steifigkeit in Z | — | — | 0,35 N/µm | 0,35 N/µm | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, unbelastet | — | — | 340 Hz | 340 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 30 g | — | — | 295 Hz | 295 Hz | ±20 % |
| Resonanzfrequenz in Z, belastet mit 100 g | — | — | 230 Hz | 230 Hz | ±20 % |
| Zulässige Zugkraft in Z | — | — | 10 N | 10 N | max. |
| Anschlüsse und Umgebung | P-611.20 | P-611.2S | P-611.XZ0 | P-611.XZS | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | -20 bis 80 °C | |
| Anschluss | LEMO FFA.00.250.CTAC22 | LEMO FFA.00.250.CTAC22 | LEMO FFA.00.250.CTAC22 | LEMO FFA.00.250.CTAC22 | |
| Kabellänge | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | 1,5 m | ±10 mm |
| Empfohlene Controller/Treiber | E-503, E-505, E-663, E-664, E-727 | E-503, E-505, E-663, E-664, E-727 | E-503, E-505, E-663, E-664, E-727 | E-503, E-505, E-663, E-664, E-727 | |
| Sensoranschluss | — | LEMO FFA.0S.304.CLAC32 | — | LEMO FFA.0S.304.CLAC32 |
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
Downloads
Produktmitteilung
Produktmitteilung
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
Version / Datum
2021-04-19
pdf - 377 KB
Englisch
Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ253
P-611 Nanopositioniersysteme mit DMS-Sensor / ohne Sensor
Version / Datum
1.2.2 2022-08-24
pdf - 3 MB
Version / Datum
1.2.2 2022-08-24
pdf - 3 MB
Dokumentation
Auspackanweisung P611T0006
Auspacken und Handhabung von P-611 Positionierern
Version / Datum
2018-01-24
pdf - 768 KB
Englisch
3-D-Modelle
3-D-Modelle
P-611.XY • P-611.2 3D-Modell
zip - 370 KB
Angebot / Bestellung
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P-611.2S
XY-Nanopositionierer; 100 µm × 100 µm Stellweg (X × Y); DMS, indirekte Positionsmessung; LEMO-Stecker; 1,5 m Kabellänge
P-611.XZ0
XZ-Nanopositionierer; 120 µm × 120 µm Stellweg (ungeregelt) (X × Z); LEMO-Stecker; 1,5 m Kabellänge
P-611.XZS
XZ-Nanopositionierer; 100 µm × 100 µm Stellweg (X × Z); DMS, indirekte Positionsmessung; LEMO-Stecker; 1,5 m Kabellänge
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