Auflösung im Subnanometerbereich mit Hochgeschwindigkeits-XYZ-Positionierung erreichen

Piezonanopositionierer der nächsten Generation für Scanning, Alignment und Metrologie

  • Steigern Sie die Produktivität mit einem Verfahrweg von bis zu 300 µm sowie Einschwingzeiten von weniger als 10 ms.

  • Sorgen Sie für unübertroffene Genauigkeit mit einer Linearität von 99,97 % und einer Wiederholgenauigkeit von 2 nm.

  • Beschleunigen Sie den Projekterfolg durch die schnelle Lieferung ausgewählter Modelle.

 
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PIMars XYZ-Piezopositionierer setzen neue Maßstäbe in Sachen Präzision für Scanning, Alignment und Metrologie Sie verbinden Subnanometerauflösung mit hoher Steifigkeit und dynamischem Ansprechverhalten und bieten damit die Genauigkeit und Geschwindigkeit, die für die Forschung und Fertigung der nächsten Generation erforderlich sind.

Aysenur Ünal, PI Product Manager, Piezo Systems and Actuators

Sechs wesentliche Vorteile von Nanopositionierern für Präzisionsanwendungen

  • Ultrapräzise Bewegung und einfache Integration: Auflösung im Subnanometerbereich, Linearität von 99,97 % und langfristige Stabilität dank kapazitiver Sensoren. Exzellente Scanebenheit (±30 nm Geradheit und Ebenheit bei Z-Bewegung) und die kompakte Bauweise sorgen für höchste Genauigkeit planarer Bewegungen und eine einfache Integration, selbst in beengten Platzverhältnissen.
  • Vielseitiger optischer Zugang: Die freie Apertur unterstützt Durchlicht- und Strahlausrichtungsaufgaben und ermöglicht so einen flexiblen Einsatz in Photonik- und Mikroskopieanwendungen.
  • Maximale Stabilität: Spielfreie Flexurführungen sorgen für verschleißfreie, reibungsfreie Bewegungen mit hoher Steifigkeit sowie für Robustheit gegenüber Stößen, Vibrationen und Temperaturänderungen.
  • Hohe Dynamik: Piezoelektrische Antriebe mit paralleler Positionsmessung ermöglichen eine Echtzeit-Übersprechkompensation und eine Bahntreue im Nanometerbereich bei Hochgeschwindigkeitsanwendungen. Dies trägt zur Steigerung des Ertrags, zur Verbesserung der Qualitätskontrolle und zur Kostensenkung in Forschung und Industrie bei.
  • Außergewöhnliche Langlebigkeit: Vollisolierte PICMA® Piezoaktoren halten bis zu zehnmal länger als herkömmliche Aktoren und haben sich in über 100 Milliarden Zyklen als äußerst zuverlässig erwiesen.
  • Schnelle Verfügbarkeit: Die Modelle P-561, P-562 und P-563 sind bei außergewöhnlich kurzen Lieferzeiten unmittelbar verfügbar.

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  • Kompatibilitätsprüfung für Platzbedarf und Stellwege
  • Virtuelle Messungen, um Spezifikationen vorab zu prüfen

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Technische Details zu 3-Achs-Piezonanopositionierer im Überblick

  • Spezifikationstabellen
  • Technische Zeichnungen und Bilder
  • Verfügbare Varianten

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FAQ

Unsere XYZ-Nanopositionierer sind ideal beispielsweise für die folgenden Anwendungen, die höchste Präzision erfordern:
 

  • Mikroskopie & Biowissenschaften: superauflösende, konfokale und AFM-Bildgebung, Z-Stacking, Live-Zell-Studien und Bionanotechnologie. Die hervorragende Scanebenheit sorgt für scharfe 3D-Bilder.
  • Nanotechnologie: präzise Manipulation und Montage von Nanostrukturen für Forschungs- und Industrieanwendungen.
  • Photonik und Optik: Faser- und optische Ausrichtung, Interferometrie und optische Präzisionsausrichtung. Die zentrale Apertur unterstützt Durchlicht- und Strahlausrichtungsaufgaben.
  • Halbleiter und Metrologie: Waferinspektion, Lithografie, Maskenausrichtung und Defekterkennung, bei denen Nanometerpräzision und hohe Dynamik unerlässlich sind.

XYZ-Positionierer bieten Verfahrwege von 45, 100, 200 und 300 µm und können dadurch die Bereiche Scanning, Waferpositionierung und Interferometrie abdecken.

Dank automatischer Konfiguration, schnellem Komponentenaustausch und der von PI angebotenen Komplettlösung mit Piezocontrollern, Software und Bibliotheken ist die Integration ganz einfach. Das kompakte Design ermöglicht zudem eine einfache Installation selbst in beengten Platzverhältnissen.

Geregelte kapazitive Sensoren überwachen kontinuierlich die tatsächliche Position und kompensieren auf aktive Weise Hysterese und Kriechen. So wird eine wiederholbare Genauigkeit im Subnanometerbereich erzielt.

Nanopositioniertische sind das Rückgrat moderner Forschung und Fertigung. Sie ermöglichen die für Durchbrüche in der Halbleitertechnik, Photonik und Bionanotechnologie unverzichtbare Präzision, Stabilität und Geschwindigkeit im Subnanometerbereich.

Ja. Dank des Aufbaus ohne Polymere und Schmiermittel ist eine geringe Ausgasung sichergestellt, sodass sie sich ideal für Hoch- und Ultrahochvakuum bis zu 10⁻⁹ hPa eignen. PIMars Positioniertische sind mit bis zu sechs Achsen für komplexe, mehrdimensionale Positionierungen sowie in vakuum- und kryokompatiblen Ausführungen erhältlich. Die genauen Lieferzeiten werden auf Anfrage mitgeteilt.

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