M-105 Mikrostelltisch
XY(Z)-Kombinationen, hohe Führungsgenauigkeit, optionaler Piezofeinantrieb
- Stellweg bis 18 mm
- Edelstahlkonstruktion
- XY- und XYZ-Kombinationen
- Option: PiezoMike mit Auflösung 10 nm
- Optionale Motorantriebe
Die M-105-Lineartische sind in verschiedenen Konfigurationen verfügbar und ermöglichen Stellwege von bis zu 18 mm. Sie werden mit Kreuzrollenlagern geführt, die eine Führungsgenauigkeit von besser als 2 µm ermöglichen. Zur Unterdrückung von Umkehrspiel ist die Bewegungsplattform mit Federn gegen die Präzisions-Mikrometerschraube vorgespannt.
Bei der XYZ-Ausführung ist die Z-Achse mit einem Adapterwinkel so montiert, dass die Last in Richtung der Federvorspannung wirkt.
Einsatzgebiete
Händische Probenmanipulation.
Spezifikationen
Spezifikationen
M-105.10 | M-105.1P** | Einheit | Toleranz | |
---|---|---|---|---|
Stellbereich | 18 | 18 | mm | |
Piezostellweg | – | 30 | µm | |
Kleinste Schrittweite (Piezoantrieb) | – | 0,01 | µm | |
Kleinste Schrittweite (Mikrometerschraube)* | 1 | 1 | µm | |
Umkehrspiel | 2 | 2 | µm | |
Geradheit | 2 | 2 | µm | |
Ebenheit | 2 | 2 | µm | |
Belastbarkeit | 100 | 100 | N | max. |
Druck- / Zugkraft | 20 / 4 | 20 / 4 | N | max. |
Querkraft | 25 | 25 | N | max. |
Antrieb | Mikrometerschraube | P-854.00 | ||
Spindelsteigung (grob / fein) | 0,5 / – | 0,5 / – | mm | |
Masse | 0,32 | 0,38 | kg | |
Gehäusematerial | St | St | ||
Empfohlene Piezoverstärker | – | E-610, E-500 System |
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