M-971 Motorized OEM XY Stage
Günstiger Preis bei hohen Stückzahlen
- Kreuztisch für preissensible Anwendungen
- Präzise Schrittmotoren
- Kreuzrollenführungen
- Hall-Effekt-End- und Referenzschalter
Kreuztisch für den preissensiblen OEM-Markt
Der M-971 wird in Systeme für Inspektion, Lithographie oder Biotechnologie integriert und ist auf die optische Mikroskopie optimiert. Er wurde speziell auf die Anforderungen preissensibler OEM-Märkte hin entwickelt. Die Basis dafür bilden bewährte und kostenoptimierte Komponenten:
- Die Führungsbauweise mit mehreren kurzen Kreuzrollenführungen verteilt die Last gleichmäßig auf eine große Oberfläche und sorgt für hohe Steifigkeit und gute Ablaufgenauigkeit.
- Der Antriebsstrang basiert auf einem weit verbreiteten Lineartisch von PI. Seine Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer zeigen sich seit Jahren im Einsatz.
- Durch den Einsatz von Schrittmotoren kann auf Encoder verzichtet und ein einfacher Schrittmotorcontroller verwendet werden. Der Kreuztisch verfügt über Endschalter und Referenzschalter, um schnelle und präzise Referenzierung und Sicherheit im Betrieb zu gewährleisten.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen und Positionieren | Einheit | Toleranz | M-971.01 |
---|---|---|---|
Aktive Achsen | X, Y | ||
Stellweg in X | mm | 50 | |
Stellweg in Y | mm | 25 | |
Systemauflösung in X | nm | 2,5 | |
Systemauflösung in Y | nm | 2,5 | |
Kleinste Schrittweite in X | µm | typ. | 0,2 |
Kleinste Schrittweite in Y | µm | typ. | 0,2 |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X | µm | typ. | 1 |
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y | µm | typ. | 1 |
Umkehrspiel in X | µm | typ. | 6 |
Umkehrspiel in Y | µm | typ. | 6 |
Geschwindigkeit in X | mm/s | max. | 10 |
Geschwindigkeit in Y | mm/s | max. | 10 |
Referenzschalter | Hall-Effekt | ||
Wiederholgenauigkeit des Referenzschalters | µm | typ. | 1 |
Endschalter | Hall-Effekt | ||
Rotatorisches Übersprechen in θY bei Bewegung in X | µrad | typ. | ±50 |
Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in X | µrad | typ. | ±50 |
Rotatorisches Übersprechen in θX bei Bewegung in Y | µrad | typ. | ±50 |
Rotatorisches Übersprechen in θZ bei Bewegung in Y | µrad | typ. | ±50 |
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