N-331.20U NEU!
Vakuumgeeigneter PICMAWalk Schreitantrieb, 55 mm Stellweg (ungeregelt); 50 N Antriebskraft, 12 mm/s maximale Geschwindigkeit; vakuumkompatibel bis 10-9 hPa; 1 m Kabellänge
NEU
N-331.xxU Vakuumgeeigneter PICMAWalk Schreitantrieb
OEM-Schreitantrieb für dauerhafte Anwendungen mit bis zu 12 mm/s Geschwindigkeit und 50 N Antriebskraft
- Vakuumgeeignet bis 10-9 hPa
- Robuster und industriell nutzbarer Schreitantrieb mit PICMA® Technologie für extreme Langlebigkeit
- Schnellster und stärkster Antrieb in seiner Größenklasse
- Präzises, nanometergenaues Positionieren von Lasten bis zu 5 kg
- Plug and Play dank PI-eigener Controller-Technologie
N-33x-Antriebe können Schritte von weniger als 5 nm ausführen. Gemessen wurde mit einem Interferometer.
N-331.2xU, Abmessungen in mm.
N-331.xxU Vakuumgeeigneter PICMAWalk Schreitantrieb
Produktbeschreibung
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Einsatzgebiete
- Bewegung in starken Magnetfeldern und im Vakuum
- Industrielle Präzisionspositionierung
- Halbleitertechnik
- Halbleitertests
- Wafer-Inspektion
- Lithografie
- Nanoimprint
- Nanometrologie
Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen
N-331.xxU PICMAWalk Schreitantriebe sind vakuumtauglich gestaltet. Für den Betrieb unter starken Magnetfeldern werden Sonderversionen der Antriebe angeboten. Piezoschreitantriebe können auch in Reinräumen oder in Umgebungen mit harter ultravioletter Strahlung eingesetzt werden.
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben
Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.
Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder
Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.
Spezifikationen
Spezifikationen
Wählen Sie einen Stellweg:
| Bewegen | N-331.20U | N-331.24U | Toleranz |
|---|---|---|---|
| Aktive Achsen | X | X | |
| Stellweg in X, ungeregelt | 55 mm | 55 mm | ±0,5 mm |
| Stellweg in X (Analogbetrieb) | 20 µm | 20 µm | typ. |
| Betriebsfrequenz im Vollschrittbetrieb | 0,6 kHz | 0,6 kHz | |
| Geschwindigkeit (100 % Ansteuerung, Vollschrittbetrieb) | 12 mm/s | 12 mm/s | max. |
| Geschwindigkeit (100 % Ansteuerung, Nanoschrittbetrieb) | 10 mm/s | 10 mm/s | max. |
| Stellweg in X | 50 mm | ||
| Positionieren | N-331.20U | N-331.24U | Toleranz |
| Kleinste Schrittweite in X | 0,01 µm | 0,01 µm | typ. |
| Auflösung in X, ungeregelt | 0,02 nm | 0,02 nm | typ. |
| Integrierter Sensor | Inkrementeller Linearencoder | ||
| Systemauflösung in X | 4 nm | ||
| Antriebseigenschaften | N-331.20U | N-331.24U | Toleranz |
| Antriebstyp | PICMAWalk | PICMAWalk | |
| Betriebsspannung | -20 bis 120 V | -20 bis 120 V | |
| Antriebskraft in positiver Bewegungsrichtung in X | 50 N | 50 N | min. |
| Antriebskraft in negativer Bewegungsrichtung in X | 50 N | 50 N | min. |
| Mechanische Eigenschaften | N-331.20U | N-331.24U | Toleranz |
| Haltekraft in X, passiv | 60 N | 60 N | min. |
| Bewegte Masse in X, unbelastet | 140 g | 140 g | |
| Gesamtmasse | 610 g | 610 g | |
| Material | Aluminium, Edelstahl | Aluminium, Edelstahl | |
| Laufleistung bei 10E-9 hPa, 15% Einschaltdauer | > 2 km | > 2 km | |
| Anschlüsse und Umgebung | N-331.20U | N-331.24U | Toleranz |
| Betriebstemperaturbereich | 0 bis 50 °C | 0 bis 50 °C | |
| Vakuumklasse | 10⁻⁹ hPa | 10⁻⁹ hPa | |
| Anschluss | LEMO FGJ.2B.319.CLLD52 | LEMO FGJ.2B.319.CLLD52 | |
| Kabellänge | 1 m | 1 m | |
| Empfohlene Controller / Treiber | E-712.1AN • E-712.2AN • E 712.3AN | E-712.1AN • E-712.2AN • E 712.3AN |
Stellweg in X, ungeregelt: Von einem mechanischen Anschlag des Läufers zum anderen mechanischen Anschlag, nur in ungeregeltem Betrieb
Geschwindigkeit (100 % Ansteuerung, Vollschrittbetrieb): Abhängig vom Controller, der Last und den Regelparametern; Controller hier: E-712.AN. Für längere Positioniervorgänge sollte der Linearaktor mit diesem Controller bei einer Geschwindigkeit unter 3 mm/s betrieben werden.
Betriebsfrequenz im Vollschrittbetrieb: Bei Betrieb mit Digitalcontroller mit 25 W Spitzenausgangsleistung
Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).
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Datenblatt
Dokumentation
Dokumentation
Benutzerhandbuch PZ271
N-331 Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk
Version / Datum
1.1.5 2023-11-24
pdf - 2 MB
Englisch
3-D-Modelle
3-D-Modelle
N-331.24U 3-D-Modell
Version / Datum
2023-05-11
zip - 412 KB
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N-331.24U NEU!
Vakuumgeeigneter PICMAWalk Schreitantrieb, 50 mm Stellweg; 50 N Antriebskraft, 12 mm/s maximale Geschwindigkeit; Inkrementeller Linearencoder; vakuumkompatibel bis 10-9 hPa; 1 m Kabellänge
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