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N-331.xxU Vakuumgeeigneter PICMAWalk Schreitantrieb

OEM-Schreitantrieb für dauerhafte Anwendungen mit bis zu 12 mm/s Geschwindigkeit und 50 N Antriebskraft

  • Vakuumgeeignet bis 10-9 hPa
  • Robuster und industriell nutzbarer Schreitantrieb mit ​P​I​C​M​A​® Technologie für extreme Langlebigkeit
  • Schnellster und stärkster Antrieb in seiner Größenklasse
  • Präzises, nanometergenaues Positionieren von Lasten bis zu 5 kg
  • Plug and Play dank PI-eigener Controller-Technologie
N-331.xxU Vakuumgeeigneter PICMAWalk Schreitantrieb
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Einsatzgebiete

  • Bewegung in starken Magnetfeldern und im Vakuum
  • Industrielle Präzisionspositionierung
  • Halbleitertechnik
  • Halbleitertests
  • Wafer-Inspektion
  • Lithografie
  • Nanoimprint
  • Nanometrologie

Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen

N-331.xxU PICMAWalk Schreitantriebe sind vakuumtauglich gestaltet. Für den Betrieb unter starken Magnetfeldern werden Sonderversionen der Antriebe angeboten. Piezoschreitantriebe können auch in Reinräumen oder in Umgebungen mit harter ​u​l​t​r​a​v​i​o​l​e​t​t​e​r Strahlung eingesetzt werden.

Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Die PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.

Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben

Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer.

Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder

Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht.

 

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt N-331.xxU

Version / Datum
2023-12-11
pdf - 768 KB
Version / Datum
2023-12-11
pdf - 769 KB

Downloads

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt N-331.xxU

Version / Datum
2023-12-11
pdf - 768 KB
Version / Datum
2023-12-11
pdf - 769 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ271

N-331 Piezoelektrischer Schreitantrieb PICMAWalk

Version / Datum
1.1.5 2023-11-24
pdf - 2 MB
Englisch

3-D-Modelle

3-D-Modelle

N-331.24U 3-D-Modell

Version / Datum
2023-05-11
zip - 412 KB

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