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Mininaturlineartisch mit Biphase-Trägheitsantrieb für Präzision und Langzeitstabilität auf kleinstem Raum

Der integrierte piezoelektrische Biphase-Trägheitsantrieb (BIX) nutzt das Stick-Slip-Prinzip, um kleinste Bewegungen hochdynamisch umzusetzen, und erreicht Bewegungsgeschwindigkeiten von bis 14 mm/s. Mit einer kleinsten Schrittweite von 10 nm und einer Auflösung von bis zu 6 nm eignet sich der Miniaturlineartisch ideal für anspruchsvolle nanometergenaue Positionieranwendungen wie die Ausrichtung von optischen Komponenten für die Strahlmanipulation. Die integrierte selbsthemmende Mechanik gewährleistet eine positionsstabile Haltefunktion, was besonders bei langzeitstabilen Mess- und Ausrichtprozessen von Vorteil ist.
Kompaktes und flexibles Design
Mit seinen kompakten Abmessungen von nur 25 × 29 × 11 mm und dem stapelbaren Aufbau lässt sich der B‑421 BIX Miniaturlineartisch problemlos mit mehrachsigen Systemen kombinieren. Diese Flexibilität macht ihn zur idealen Lösung für komplexe Positionier- und Ausrichtungsanwendungen.
Hohe Belastbarkeit im Miniaturformat
Mit einer maximalen Antriebskraft von 2,5 N bewältigt der B‑421 BIX Lineartisch auch Aufgaben, bei denen präzise Bewegungen unter mechanischer Belastung gefragt sind. Die maximale Nutzkraft beträgt in XY-Richtung 0,5 kg und in Z-Richtung 0,15 kg. Die Ansteuerung erfolgt über den E-881 BIX Motion Controller, der optimal auf die Antriebstechnologie abgestimmt ist.
Für anspruchsvolle Hightech-Anwendungen
Mit Eigenschaften wie hohe Positioniergenauigkeit, hervorragende Auflösung und Langzeitstabilität auf kleinstem Raum erfüllt dieser Miniaturlineartisch die anspruchsvollsten Anforderungen komplexer Anwendungen in Industrie und Mikroskopie. Dabei positioniert der Tisch optische Elemente präzise für eine exakte Strahlformung und ‑lenkung. In der Halbleiterindustrie kommt diese Anwendung insbesondere in der Qualitätskontrolle von Mikrochips zum Einsatz. In der Mikroskopie ist die präzise Lichtführung eine zentrale Voraussetzung für moderne hochauflösende Verfahren wie die TIRF- oder STED-Mikroskopie.
Über Physik Instrumente (PI)
PI mit Hauptsitz in Karlsruhe ist Markt- und Technologieführer für hochpräzise Positioniertechnik und Piezoanwendungen in den Marktsegmenten Industrielle Automatisierung, Halbleiterindustrie, Photonik sowie Mikroskopie & Biowissenschaften. In enger Zusammenarbeit mit Kunden aus aller Welt verschieben die über 1.900 Spezialisten von PI seit mehr als 50 Jahren immer wieder die Grenzen des technisch Machbaren. Die Basis dafür bilden vielfältige Antriebstechnologien, eigenentwickelte Sensorik, Elektronik sowie Steuerungs- und Regelungstechnik. Das Angebot reicht von Komponenten über Subsysteme bis hin zu maßgeschneiderten Komplettlösungen. Über 560 erteilte und angemeldete Patente unterstreichen den technologischen Führungsanspruch des Unternehmens in der Präzisionspositionierung und Piezotechnologie. PI ist mit neun Fertigungsstandorten in Europa, Nordamerika und Asien sowie 16 Vertriebs- und Serviceniederlassungen weltweit vertreten.