Piezo-Scannerrohr; piezoaktorischer Antrieb; L 30 mm × OD 6,35 mm × ID 5,35 mm; ±16 µm XY-Auslenkung; ±4,5 µm axiale Auslenkung; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa
PT230 Piezo-Scannerrohre
Hochdynamischer Betrieb mit geringen Lasten
- Laterale und axiale Bewegung
- Subnanometer-Auflösung
- Ideal für OEM-Anwendungen
- Flexibel durch zahlreiche Ausführungsvarianten
- UHV-kompatibel bis 10-9 hPa
Piezoaktor / Scannerrohr
Betriebsspannung bipolar bis ±250 V. Vierfach segmentierte Elektroden für axiale und XY-Auslenkung. Monolithischer piezokeramischer Aktor mit minimalen geometrischen Toleranzen. UHV-kompatibel bis 10-9 hPa. Kurze Lieferzeiten.
Sonderausführungen mit geänderten Spezifikationen
- Materialien
- Spannungsbereich, Auslenkung
- Toleranzen
- Applizierte Sensoren
- Erweiterter Temperaturbereich
- Segmentierung der Elektroden, Umkontakte, umlaufende Isolierstege
- Nichtmagnetisch
Mögliche Abmessungen
- Länge L max. 70 mm
- Außendurchmesser OD 2 bis 80 mm
- Innendurchmesser ID 0,8 bis 74 mm
- Min. Wanddicke 0,30 mm
Einsatzgebiete
Industrie und Forschung, UHV-Umgebung bis 10-9 hPa. Für Mikrodosierung, Mikromanipulation, Scanning-Mikroskopie (AFM, STM, etc.), Faserstrecker.
Spezifikationen
Spezifikationen
| Bewegen | PT230.14 | PT230.24 | PT230.94 | Toleranz |
|---|---|---|---|---|
| Max. axiale Auslenkung | ± 4,5 µm | ± 4,5 µm | ± 4,5 µm | |
| Max. XY-Auslenkung | ± 16 µm | ± 10 µm | ± 35 µm | |
| Antriebseigenschaften | PT230.14 | PT230.24 | PT230.94 | Toleranz |
| Aktortyp | Piezo-Scannerrohr | Piezo-Scannerrohr | Piezo-Scannerrohr | |
| Betriebsspannung | ±250 V | ±250 V | ±250 V | |
| Anzahl Verstärkerkanäle | 4 | 4 | 4 | |
| Elektrische Kapazität pro Verstärkerkanal | 4,5 nF | 6,9 nF | 2,1 nF | ±20 % |
| Mechanische Eigenschaften | PT230.14 | PT230.24 | PT230.94 | Toleranz |
| Querschnitt | ringförmig | ringförmig | ringförmig | |
| Piezomaterial | PIC255 | PIC255 | PIC255 | |
| Länge | 30 mm | 30 mm | 30 mm | ±0,2 mm |
| Außendurchmesser | 6,35 mm | 10 mm | 3,2 mm | ±0,05 mm |
| Innendurchmesser | 5,35 mm | 9 mm | 2,2 mm | ±0,05 mm |
| Anschlüsse und Umgebung | PT230.14 | PT230.24 | PT230.94 | Toleranz |
| Vakuumklasse | 10⁻⁹ ǀ hPa | 10⁻⁹ ǀ hPa | 10⁻⁹ ǀ hPa | |
| Empfohlene Controller/Treiber | E-413.2 - E-413.6 | E-413.2 - E-413.6 | E-413.2 - E-413.6 |
Maximale Auslenkung: Bei Ansteuerung mit +250 V / -250 V an gegenüberliegenden Elektroden.
Elektrische Kapazität: Gemessen bei 1 Vpp, 1 kHz, RT.
Piezokeramik: Ausheizbar im kurzgeschlossenen Zustand bis 150 °C.
Innenelektrode: GND. Außenelektroden: Dünnfilm (CuNi, Au); innen: eingebrannte Silberelektroden.
Sonderausführungen auf Anfrage.
Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft. Beachten Sie, dass sich einige Produkteigenschaften mit zunehmender Betriebsdauer verschlechtern können.
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch A000T0047
Handhabung und elektrische Kontaktierung von Piezokomponenten
Angebot / Bestellung
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Piezo-Scannerrohr; piezoaktorischer Antrieb; L 30 mm × OD 10 mm × ID 9 mm; ±10 µm XY-Auslenkung; ±4,5 µm axiale Auslenkung; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa
Piezo-Scannerrohr; piezoaktorischer Antrieb; L 30 mm × OD 3,2 mm × ID 2,2 mm; ±35 µm XY-Auslenkung; ±4,5 µm axiale Auslenkung; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa
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