Piezo-Scannerrohr; piezoaktorischer Antrieb; L 30 mm × OD 6,35 mm × ID 5,35 mm; ±16 µm XY-Auslenkung; ±4,5 µm axiale Auslenkung; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa
PT230 Piezo-Scannerrohre
Hochdynamischer Betrieb mit geringen Lasten
- Laterale und axiale Bewegung
- Sub-nm-Auflösung
- Ideal für OEM-Anwendungen
- Flexibel durch zahlreiche Ausführungsvarianten
- UHV-kompatibel bis 10-9 hPa
Piezoaktor / Scannerrohr
Betriebsspannung bipolar bis ±250 V. Vierfach segmentierte Elektroden für axiale und XY-Auslenkung. Monolithischer piezokeramischer Aktor mit minimalen geometrischen Toleranzen. UHV-kompatibel bis 10-9 hPa. Kurze Lieferzeiten.
Sonderausführungen mit geänderten Spezifikationen
- Materialien
- Spannungsbereich, Auslenkung
- Toleranzen
- Applizierte Sensoren
- Erweiterter Temperaturbereich
- Segmentierung der Elektroden, Umkontakte, umlaufende Isolierstege
- Nichtmagnetisch
Mögliche Abmessungen
- Länge L max. 70 mm
- Außendurchmesser OD 2 bis 80 mm
- Innendurchmesser ID 0,8 bis 74 mm
- Min. Wanddicke 0,30 mm
Einsatzgebiete
Industrie und Forschung, UHV-Umgebung bis 10-9 hPa. Für Mikrodosierung, Mikromanipulation, Scanning-Mikroskopie (AFM, STM, etc.), Faserstrecker.
Spezifikationen
Spezifikationen
Bewegen | PT230.14 | PT230.24 | PT230.94 | Toleranz |
---|---|---|---|---|
Max. axiale Auslenkung | ± 4,5 µm | ± 4,5 µm | ± 4,5 µm | |
Max. XY-Auslenkung | ± 16 µm | ± 10 µm | ± 35 µm | |
Antriebseigenschaften | PT230.14 | PT230.24 | PT230.94 | Toleranz |
Aktortyp | Piezo-Scannerrohr | Piezo-Scannerrohr | Piezo-Scannerrohr | |
Betriebsspannung | ±250 V | ±250 V | ±250 V | |
Anzahl Verstärkerkanäle | 4 | 4 | 4 | |
Elektrische Kapazität pro Verstärkerkanal | 4,5 nF | 6,9 nF | 2,1 nF | ±20 % |
Mechanische Eigenschaften | PT230.14 | PT230.24 | PT230.94 | Toleranz |
Querschnitt | ringförmig | ringförmig | ringförmig | |
Piezomaterial | PIC255 | PIC255 | PIC255 | |
Länge | 30 mm | 30 mm | 30 mm | ±0,2 mm |
Außendurchmesser | 6,35 mm | 10 mm | 3,2 mm | ±0,05 mm |
Innendurchmesser | 5,35 mm | 9 mm | 2,2 mm | ±0,05 mm |
Anschlüsse und Umgebung | PT230.14 | PT230.24 | PT230.94 | Toleranz |
Vakuumklasse | 10⁻⁹ hPa | 10⁻⁹ hPa | 10⁻⁹ hPa | |
Empfohlene Controller / Treiber | E-413.2 - E-413.6 | E-413.2 - E-413.6 | E-413.2 - E-413.6 |
Maximale Auslenkung: Bei Ansteuerung mit +250 V / -250 V an gegenüberliegenden Elektroden.
Elektrische Kapazität: Gemessen bei 1 Vpp, 1 kHz, RT.
Piezokeramik: Ausheizbar im kurzgeschlossenen Zustand bis 150 °C.
Innenelektrode: GND. Außenelektroden: Dünnfilm (CuNi, Au); innen: eingebrannte Silberelektroden.
Sonderausführungen auf Anfrage.
Downloads
Datenblatt
Dokumentation
Benutzerhandbuch A000T0047
Handhabung und elektrische Kontaktierung von Piezokomponenten
Angebot / Bestellung
Fordern Sie ein unverbindliches Angebot über gewünschte Stückzahlen, Preise und Lieferzeiten an oder beschreiben Sie Ihre gewünschte Modifikation.
Piezo-Scannerrohr; piezoaktorischer Antrieb; L 30 mm × OD 10 mm × ID 9 mm; ±10 µm XY-Auslenkung; ±4,5 µm axiale Auslenkung; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa
Piezo-Scannerrohr; piezoaktorischer Antrieb; L 30 mm × OD 3,2 mm × ID 2,2 mm; ±35 µm XY-Auslenkung; ±4,5 µm axiale Auslenkung; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa