A-361 PIglide luftgelagerter XY-Rotationstisch
Hohe Leistungsfähigkeit • Reinraumtauglich • Niedrige Bauhöhe
- Stellweg in X- und Y-Richtung ±2,5 mm
- Rotationsbereich ±1 °
- Belastbarkeit bis 3 Kg
- Durchmesser der Bewegungsplattform 200 mm
- Gesamthöhe 40 mm
- Integriertes Vakuumspannsystem
- Reibungsfreier Betrieb, Luftlager arretierbar
Produktübersicht
A-361 ist ein luftgelagerter Kreuz- und Rotationstisch mit Direktantrieb. Ausgelegt als parallelkinematisches Mehrachssystem, macht die Plattform sowohl Bewegungen in X- und Y-Richtung als auch Drehbewegungen um die Z-Achse. Dieser Tisch bietet ultrahohe Präzision bei sehr niedriger Bauhöhe. Die Kombination der berührungslosen Komponenten ergibt reibungslose Bewegungen. Dadurch bietet der A-361 nicht nur ultrahohe Präzision, sondern auch sehr hohe Leistung und hohe Lebensdauer. Da der A-361 bei Bedarf arretiert werden kann, bietet er eine hervorragende Positionsstabilität.
Der A-361 kann auf einem A-523 Hub-Kipptisch montiert werden. Dadurch erhalten Sie ein kompaktes System mit 6 Freiheitsgraden.
Zubehör und Optionen
- Luftfilter und Druckregler
- Kompatible A-8xx Kabel
- A-8xx Mehrachs-Controller
- Integriertes Vakuumspannsystem
Einsatzgebiete
Der Tisch ist ideal geeignet für viele hochpräzise Anwendungen, wie Wafer-Inspektion, Faserpositionierung, Optikpositionierung, Flachbildschirm-Inspektion, maskenlose Lithographie und Ultra-LED-Herstellung. Der berührungslose Aufbau ist ideal geeignet für Anwendungen im Reinraum.
Spezifikationen
Spezifikationen
Positionieren | A-361.AA100 | Toleranz |
---|---|---|
Kleinste Schrittweite in X, Y (2) | < 30 nm | typ. |
Kleinste Schrittweite in θZ (2) | < 0,5 µrad | typ. |
Positioniergenauigkeit in X, Y, kalibriert (3) | ± 0,2 µm | max. |
Positioniergenauigkeit in θZ, kalibriert (3) | ± 5 µrad | max. |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in X, Y | 0,2 µm | max. |
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in θZ | 4 µrad | max. |
Integrierter Sensor | 3 × inkrementell, optisch | |
Sensorsignal | Sin/Cos, 1 V Spitze-Spitze (differenziell) | |
Sensorsignalperiode | 80 µm, 20 nm bei 4096-facher Interpolation |
Antriebseigenschaften | A-361.AA100 | Toleranz |
---|---|---|
Antriebstyp | Voice-Coil (X-Achse: 1 ×,Y-Achse: 2 ×) | |
Busspannung | 48 V DC nom., 48 V DC max. | |
Dauerstrom | 0,5 A | max. |
Spitzenstrom | 1,5 A | max. |
Dauerkraft | 6 N | max. |
Spitzenkraft | 19,2 N | max. |
Kraftkonstante | 11,7 N/A | typ. |
Widerstand Phase-Phase | 25 Ω | typ. |
Induktivität Phase-Phase | 8,8 mH | typ. |
Gegen-EMK Phase-Phase | 12 V·s/m | typ. |
Polteilung N-N | N/A |
Anschlüsse und Umgebung | A-361.AA100 | Toleranz |
---|---|---|
Anschluss | HD D-Sub 44 (m) | |
Luftanschluss | Steckverbinder für Einhandbedienung, für Schlauch mit 4 mm Außendurchmesser | |
Vakuumanschluss | Steckverbinder für Einhandbedienung, für Schlauch mit 6 mm Außendurchmesser | |
Betriebsdruck (5) | 447 bis 517 kPa | |
Luftdurchsatz | 28 L/min | max. |
Luftqualität | Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573–1 Klasse 1, Ölfrei - ISO 8573–1 Klasse 1, Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573–1 Klasse 3 |
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